微焊点强度力学测试设备制造技术

本发明专利技术公开了一种微焊点强度力学测试设备，包括：用于实现空间X轴方向上运动的X轴组件、用于实现空间Y轴方向上运动的Y轴组件、用于实现空间Z轴方向上运动的Z轴组件、用于微焊点强度测试的力学传感器模组和用于力学测试的测试工具；其中，所述测试工具安装于所述力学传感器模组；所述力学传感器模组安装于由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴末端，XYZ三轴任意一轴的移动均带动所述力学传感器模组在相应轴的方向上移动，该方案可以实现力学测试传感器在三维空间移动及测试，极大提高测试的灵活性增强设备的应用领域和应用面。增强设备的应用领域和应用面。增强设备的应用领域和应用面。

【技术实现步骤摘要】
微焊点强度力学测试设备


[0001]本专利技术涉及测试
，特别涉及一种半导体微焊点强度力学测试设备。

技术介绍

[0002]现有市场上的半导体微焊点强度力学测试设备，力学传感器只能实现垂直方向移动，仅适用于小尺寸产品的测试，应用面较窄。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的是提出一种微焊点强度力学测试设备，可实现力学测试传感器在三维空间移动及测试，极大提高测试的灵活性，增强设备的应用领域和应用面。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了一种微焊点强度力学测试设备，包括：用于实现空间X轴方向上运动的X轴组件、用于实现空间Y轴方向上运动的Y轴组件、用于实现空间Z轴方向上运动的Z轴组件、用于微焊点强度测试的力学传感器模组和用于力学测试的测试工具；其中，所述测试工具安装于所述力学传感器模组；所述力学传感器模组安装于由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴末端，XYZ三轴任意一轴的移动均带动所述力学传感器模组在相应轴的方向上移动。
[0005]其中，所述微焊点强度力学测试设备还包括：基座，由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴固定在所述基座上。
[0006]其中，所述Y轴组件固定在所述基座上，所述X轴组件与所述Y轴组件滑动连接，所述Z轴组件与所述X轴组件滑动连接。
[0007]其中，所述Y轴组件包括：固定端、设置在所述固定端上与所述固定端滑动连接的Y轴滑块、Y轴滑块连接板，所述Y轴组件的固定端与所述基座的台面固定连接；所述X轴组件通过所述Y轴滑块连接板与所述Y轴滑块固定连接。
[0008]其中，所述X轴组件包括固定端、活动端、X轴安装竖板、拖链线槽、X轴滑块连接板，所述X轴组件的固定端与X轴安装竖板固定连接，所述X轴安装竖板通过所述Y轴滑块连接板与Y轴滑块固定连接；所述拖链线槽与X轴安装竖板固定连接；所述Z轴组件通过所述X轴滑块连接板与所述X轴组件的活动端固定连接。
[0009]其中，所述Z轴组件包括固定端、Z轴滑块、Z轴丝杆、Z轴滑块连接板，所述Z轴组件的固定端包括Z轴底板、Z轴电机安装座、Z轴电机、Z轴支撑座、Z轴导轨；
[0010]所述Z轴组件的固定端通过所述X轴滑块连接板与X轴组件的活动端固定连接；
[0011]所述Z轴丝杆两端穿架于所述Z轴支撑座内，中间穿过所述Z轴滑块，一端与所述Z轴电机连接，中间部分与两个所述Z轴支撑座滚动连接，与Z轴滑块通过丝杆螺母滚动连接；
[0012]所述Z轴滑块与Z轴组件的固定端，通过Z轴导轨滑动连接；所述Z轴滑块连接板与所述Z轴滑块固定连接；
[0013]所述力学传感器模组与所述Z轴滑块连接板固定连接。
[0014]其中，所述微焊点强度力学测试设备还包括：测试定位CCD组，所述测试定位CCD组
与所述Z轴滑块连接板固定连接。
[0015]其中，所述微焊点强度力学测试设备还包括：测试拍照显微镜组，所述测试拍照显微镜组与所述Z轴组件的固定端固定连接。
[0016]本专利技术的有益效果是：提供一种微焊点强度力学测试设备，包括：用于实现空间X轴方向上运动的X轴组件、用于实现空间Y轴方向上运动的Y轴组件、用于实现空间Z轴方向上运动的Z轴组件、用于微焊点强度测试的力学传感器模组和用于力学测试的测试工具；其中，所述测试工具安装于所述力学传感器模组；所述力学传感器模组安装于由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴末端，XYZ三轴任意一轴的移动均带动所述力学传感器模组在相应轴的方向上移动，该方案可以实现力学测试传感器在三维空间移动及测试，极大提高测试的灵活性增强设备的应用领域和应用面。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0018]图1为本专利技术微焊点强度力学测试设备焊点强度测试设备的结构示意图。
[0019]附图标号
[0020]Y轴组件1/2，Y轴滑块3，Y轴滑块连接板4，X轴安装竖板5，拖链线槽6，X轴组件7，测试拍照显微镜组8，测试头传感器组9，测试定位CCD组10，Z轴滑块连接板11，Z轴滑块12，Z轴导轨13，Z轴支撑座14，Z轴丝杆15，Z轴底板17、Z轴电机安装座16、Z轴电机18，X轴滑块连接板19。
[0021]本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]请参照图1，本专利技术提出一种微焊点强度力学测试设备，包括：用于实现空间X轴方向上运动的X轴组件7、用于实现空间Y轴方向上运动的Y轴组件1/2、用于实现空间Z轴方向上运动的Z轴组件、用于微焊点强度测试的力学传感器模组和用于力学测试的测试工具；其中，所述测试工具安装于所述力学传感器模组的底板；所述力学传感器模组安装于由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴末端，XYZ三轴任意一轴的移动均带动所述力学传感器模组在相应轴的方向上移动。
[0024]其中，所述力学传感器模组包括：测试头传感器组9和力学传感器，所述力学传感器安装于所述测试头传感器组9的测试头挂架上，所述测试工具安装于所述力学传感器上。
[0025]其中，所述微焊点强度力学测试设备还包括：基座，由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴固定在所述基座上。
[0026]其中，所述Y轴组件1/2固定在所述基座上，所述X轴组件7与所述Y轴组件1/2滑动连接，所述Z轴组件与所述X轴组件7滑动连接。
[0027]其中，所述Y轴组件1/2包括：固定端、设置在所述固定端上与所述固定端滑动连接的Y轴滑块3、Y轴滑块连接板4，所述Y轴组件1/2的固定端与所述基座的台面固定连接；所述X轴组件7通过所述Y轴滑块连接板4与所述Y轴滑块3固定连接。
[0028]其中，所述X轴组件7包括固定端、活动端、X轴安装竖板5、拖链线槽6、X轴滑块连接板19，所述X轴组件7的固定端与X轴安装竖板5固定连接，所述X轴安装竖板5通过所述Y轴滑块连接板4与Y轴滑块3固定连接；所述拖链线槽与X轴安装竖板5固定连接；所述Z轴组件通过所述X轴滑块连接板19与所述X轴组件7的活动端固定连接。
[0029]其中，所述Z轴组件包括固定端、Z轴滑块12、Z轴丝杆15、Z轴滑块连接板11，所述Z轴组件的固定端包括Z轴底板17、Z轴电机安装座16、Z轴电机18、Z轴支撑座14、Z轴导轨13；
[0030]所述Z轴组件的固定端通过所述X轴滑块连接板19与X轴组件7的活动端固定连接；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微焊点强度力学测试设备，其特征在于，包括：用于实现空间X轴方向上运动的X轴组件、用于实现空间Y轴方向上运动的Y轴组件、用于实现空间Z轴方向上运动的Z轴组件、用于微焊点强度测试的力学传感器模组和用于力学测试的测试工具；其中，所述测试工具安装于所述力学传感器模组；所述力学传感器模组安装于由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴末端，XYZ三轴任意一轴的移动均带动所述力学传感器模组在相应轴的方向上移动。2.根据权利要求1所述的微焊点强度力学测试设备，其特征在于，所述微焊点强度力学测试设备还包括：基座，由所述X、Y、Z三轴组成的坐标轴固定在所述基座上。3.根据权利要求2所述的微焊点强度力学测试设备，其特征在于，所述Y轴组件固定在所述基座上，所述X轴组件与所述Y轴组件滑动连接，所述Z轴组件与所述X轴组件滑动连接。4.根据权利要求3所述的微焊点强度力学测试设备，其特征在于，所述Y轴组件包括：固定端、设置在所述固定端上与所述固定端滑动连接的Y轴滑块、Y轴滑块连接板，所述Y轴组件的固定端与所述基座的台面固定连接；所述X轴组件通过所述Y轴滑块连接板与所述Y轴滑块固定连接。5.根据权利要求4所述的微焊点强度力学测试设备，其特征在于，所述X轴组件包括固定端、活动端、X轴安装竖板、拖链线槽、X轴滑块连接板，所述X轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：宾伟雄，
申请(专利权)人：深圳市德瑞茵精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：