本发明专利技术涉及匀胶显影机领域，具体是涉及一种新型匀胶显影机，包括：箱体，调控装置，吸气风机，具有吸气软管，送气风机，具有送气软管，气体加热加湿装置，所述调控装置具有多个温湿调控组件，箱体上设有多个温湿调控组件，每个温湿调控组件均包括：升降机构和温湿调控机构，该温湿调控机构包括外筒和气体输送机构以及辅助调控机构，辅助调控机构上设有温湿感应机构，本发明专利技术通过吸气风机和送气风机与调控装置的配合，实现了每个点的热气和湿气输出和输入，通过温湿感应机构，实现了对每个点温湿度的感应，保证了每个点能够在调控后保持温湿度一致，保证了每个点均能循环输入和输出气体的同时还实现了各个点对温湿度的把控保持一致。同时还实现了各个点对温湿度的把控保持一致。同时还实现了各个点对温湿度的把控保持一致。
【技术实现步骤摘要】
一种新型匀胶显影机
[0001]本专利技术涉及匀胶显影机领域，具体是涉及一种新型匀胶显影机。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，光刻和显影是两个重要的步骤，显影过程在显影机上完成，显影过程就是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分取出或保留下来的过程，现有的匀胶显影机对于其内部各个点的温度和湿度无法做到保持一致，无法使其箱体内部达到恒温恒湿的效果，目前的匀胶显影机在冷却除湿方面，是通过一个装置对于箱体内部整体进行冷却除湿，对于各个点来说，未能完全的达到冷却除湿的效果。
[0003]现有的中国专利CN201921368772.5一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置，包括安装在涂胶腔室内的吸盘和冷板，吸盘固定安装在转轴上，所述冷板可调节安装在吸盘的下端且对应转轴设有转轴穿透的圆孔，冷板下端通过托架固定安装在支架上并与升降气缸连接，升降气缸通过支架带动冷板的升降，冷板内设有循环降温的水道，水道通过进液管和出液管与冷却液供应箱连通。
[0004]根据上述的专利来看，对于匀胶显影机的温度通过水冷却进行降温，这样会产生很多的湿气，还没有对湿气进行调控的机构，这对于各个点的温湿度无法做到保持一致，因此，目前，需要一种能够使得匀胶显影机内部各个点的温湿度均保持一致的调控装置。
技术实现思路
[0005]一、要解决的技术问题
[0006]本专利技术是针对现有技术所存在的上述缺陷，特提出一种新型匀胶显影机，解决了如何使得匀胶显影机内部各个点的温湿度均保持一致的问题。
[0007]二、技术方案
[0008]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种新型匀胶显影机，包括：
[0009]箱体；
[0010]调控装置，用以将箱体内部各个点均保持恒温恒湿状态，设置在箱体上；
[0011]吸气风机，设置在箱体外部一侧，具有与调控装置连通的吸气软管；
[0012]送气风机，设置在箱体外部远离吸气风机的一侧，具有与调控装置连通的送气软管；
[0013]气体加热加湿装置，设置在送气风机的旁侧且与其输入端连通；
[0014]所述调控装置具有多个温湿调控组件，箱体上等间距分布设有多个温湿调控组件，每个温湿调控组件均包括：升降机构和温湿调控机构；
[0015]升降机构用以带动温湿调控机构伸入箱体内部，设置在箱体上；
[0016]温湿调控机构用以通过对箱体内各个点的温湿度检测随之进行调控处理，该温湿调控机构包括外筒和设置在外筒内部的气体输送机构以及设置在外筒外侧位于箱体内部一端的辅助调控机构；
[0017]辅助调控机构上设有用以感应箱体内部各个点温度和湿气的温湿感应机构。
[0018]优选地，升降机构包括：升降柱和升降驱动机构；
[0019]升降柱呈矩形柱结构，能够竖直移动的设置在一个底板上，箱体的顶部设有一个可拆卸的顶板，顶板上位于每个温湿调控组件处均设有一个矩形安装口，底板通过矩形安装口上的四个立柱以套设的形式安装在顶板上；
[0020]升降驱动机构具有一个齿条，该齿条沿着升降柱的长度方向安装在升降柱上；
[0021]底板上通过一个机架固定设有一个旋转电机，旋转电机的输出端固定设有一个驱动齿轮，并且驱动齿轮与齿条之间相互啮合；
[0022]齿条的两端分别设有一个用以限位的挡板。
[0023]优选地，外筒呈内部中空且两端贯通的圆筒状，升降柱沿着其长度方向贯通设有一个通口，外筒插设于升降柱的通口内，外筒的上半部通过一个安装板固定安装在升降柱的顶端，外筒的两端均螺纹连接有一个封闭盖，每个封闭盖与外筒的端部之间均设有一个密封垫圈。
[0024]优选地，气体输送机构包括有一个吸气硬管和一个送气硬管，吸气硬管和送气硬管均设置在外筒的内部，外筒上下端的封闭盖均同轴设置有两个气口，外筒下端的每个气口处且位于外筒的内部均安装有一个聚气斗，每个聚气斗上分别连通设有吸气硬管和送气硬管，吸气硬管和送气硬管的自由端穿过外筒顶端封闭盖的气口向外伸出，并且每个吸气硬管的伸出端均与吸气软管连通，每个送气硬管的伸出端均与送气软管连通。
[0025]优选地，吸气硬管和送气硬管的下端均设有一个电控阀门，外筒的内壁分别设有一个第一套管和一个第二套管，第一套管和第二套管分别套设在吸气硬管和送气硬管上，第一套管的内壁设有一个包裹于吸气硬管上的导热层，第二套管的内壁设有一个包裹于送气硬管上的隔热层，并且第一套筒上还设有一个用以加热的加热丝。
[0026]优选地，辅助调控机构包括有一个通气斗，该通气斗的小头端螺纹连接在外筒的底端，通气斗与外筒之间共轴线，通气斗的外壁上还设有若干个排气口，并且通气斗的大头端还安装有一个吸气风扇，通气斗的外侧还设有一个用以遮蔽若干个排气口的遮挡件。
[0027]优选地，遮挡件包括有一个遮挡漏斗，该遮挡漏斗能够转动且同轴套设在通气斗上，遮挡漏斗的小头端套设有一个套圈齿轮，套圈齿轮的旁侧啮合设有一个主动齿轮，升降柱的底端固定设有一个用以带动主动齿轮转动的驱动电机，并且遮挡漏斗上沿着其轴线的圆周方向均匀分布设有若干个与排气口相对应的条形口，每两个条形口之间均为能够遮挡相应排气口的封闭边。
[0028]优选地，温湿感应机构包括有一个温度传感器和湿度传感器，通气斗大头端两侧分别设有一个安装部，温度传感器和湿度传感器分别安装在一个安装部内，并且温度传感器和湿度传感器的输出端均面向下设置。
[0029]优选地，气体加热加湿装置包括有一个加热加湿箱，该加热加湿箱的顶部设有一个可拆卸的箱盖，加热加湿箱内设有一个过滤网，并且箱盖的顶部还设有一个连通于加热加湿箱内部的进气口。
[0030]优选地，吸气软管和多个吸气硬管之间通过一个并联管道并联连接，并且送气软管和送气硬管之间也通过一个并联管道并联连接。
[0031]三、有益效果
[0032]与现有技术相比，本专利技术通过吸气风机和调控装置的配合，实现了每个点的热气和湿气均能被更换，通过送气风机和调控装置的配合，实现了每个点能够可控的输送同等的热气和湿气，通过温湿感应机构，实现了对每个点温湿度的感应，保证了每个点能够在调控后保持温湿度一致，通过辅助调控机构，实现了气体输入和排出的效率提高；同时通过升降柱的竖直移动，使得温湿调控组件能够靠近相应点，也保证了温湿感应机构能够更好的感应该点温湿度情况，实现了对各点的温湿度调控效果更佳。
[0033]进一步，本专利技术通过吸气硬管和送气硬管对气体的排出和输入工作，实现了箱体内各个点的温湿度均能通过排气和输气的方式达到一致；通过电控阀门对吸气硬管和送气硬管的开合，实现了气体排出和输入的量的控制，保证箱体各点的温湿度均能得以控制，并且通过导热层和隔热层对吸气硬管和送气硬管的包裹，使得吸气硬管和送气硬管内的气体排出和输入均能正常流通；还通过通气斗与吸气风扇的配合，实现了气体排出效率的提高，同时通过通气斗上若干个排气口的作用，实现了气体输入时流通的效率提高，避免各个点只有正对吸气硬管和送气硬管的一处能够得到排气和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型匀胶显影机，其特征在于：所述一种新型匀胶显影机包括：箱体(1)；调控装置(2)，用以将箱体(1)内部各个点均保持恒温恒湿状态，设置在箱体(1)上；吸气风机(3)，设置在箱体(1)外部一侧，具有与调控装置(2)连通的吸气软管(4)；送气风机(5)，设置在箱体(1)外部远离吸气风机(3)的一侧，具有与调控装置(2)连通的送气软管(6)；气体加热加湿装置(7)，设置在送气风机(5)的旁侧且与其输入端连通；所述调控装置(2)具有多个温湿调控组件，箱体(1)上等间距分布设有多个温湿调控组件，每个温湿调控组件均包括：升降机构(8)和温湿调控机构；升降机构(8)用以带动温湿调控机构伸入箱体(1)内部，设置在箱体(1)上；温湿调控机构用以通过对箱体(1)内各个点的温湿度检测随之进行调控处理，该温湿调控机构包括外筒(9)和设置在外筒(9)内部的气体输送机构(10)以及设置在外筒(9)外侧位于箱体(1)内部一端的辅助调控机构(11)；辅助调控机构(11)上设有用以感应箱体(1)内部各个点温度和湿气的温湿感应机构(12)。2.根据权利要求1所述的一种新型匀胶显影机，其特征在于，升降机构(8)包括：升降柱(13)和升降驱动机构；升降柱(13)呈矩形柱结构，能够竖直移动的设置在一个底板(14)上，箱体(1)的顶部设有一个可拆卸的顶板(15)，顶板(15)上位于每个温湿调控组件处均设有一个矩形安装口，底板(14)通过矩形安装口上的四个立柱以套设的形式安装在顶板(15)上；升降驱动机构具有一个齿条(16)，该齿条(16)沿着升降柱(13)的长度方向安装在升降柱(13)上；底板(14)上通过一个机架固定设有一个旋转电机(17)，旋转电机(17)的输出端固定设有一个驱动齿轮(18)，并且驱动齿轮(18)与齿条(16)之间相互啮合；齿条(16)的两端分别设有一个用以限位的挡板(19)。3.根据权利要求1所述的一种新型匀胶显影机，其特征在于，外筒(9)呈内部中空且两端贯通的圆筒状，升降柱(13)沿着其长度方向贯通设有一个通口，外筒(9)插设于升降柱(13)的通口内，外筒(9)的上半部通过一个安装板固定安装在升降柱(13)的顶端，外筒(9)的两端均螺纹连接有一个封闭盖(20)，每个封闭盖(20)与外筒(9)的端部之间均设有一个密封垫圈(21)。4.根据权利要求1或3所述的一种新型匀胶显影机，其特征在于，气体输送机构(10)包括有一个吸气硬管(22)和一个送气硬管(23)，吸气硬管(22)和送气硬管(23)均设置在外筒(9)的内部，外筒(9)上下端的封闭盖(20)均同轴设置有两个气口，外筒(9)下端的每个气口处且位于外筒(9)的内部均安装有一个聚气斗(24)，每个聚气斗(24)上分别连通设有吸气硬管(22)和送气硬管(23)，吸气硬管(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿克涛，刘金，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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