本发明专利技术实施例公开了一种冷却装置及其冷却方法；该冷却装置应用于蒸镀设备，该冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与该支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与该主体部件连接且设置于该主体部件远离该热交换构件的一侧，该弹性部件用于与待冷却构件接触；其中，该弹性部件与该主体部件构成闭合结构；本发明专利技术实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。了对基板的工艺精度。了对基板的工艺精度。
【技术实现步骤摘要】
冷却装置及其冷却方法
[0001]本专利技术涉及显示领域，具体涉及一种冷却装置及其冷却方法。
技术介绍
[0002]近些年，显示领域的器件的工艺要求越来越高，在需要对基板进行蒸镀时，将基板与掩膜版进行贴合，同时也需要冷却装置进行贴合降温，冷却装置一般为金属材质，在与基板进行贴合时，冷却装置容易划伤基板，导致基板的结构性能损坏。
[0003]因此，亟需一种冷却装置及其冷却方法以解决上述技术问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术实施例提供一种冷却装置及其冷却方法，可以缓解目前在与基板进行贴合时，冷却装置容易划伤基板的技术问题。
[0005]本专利技术实施例提供一种冷却装置，应用于蒸镀设备，所述冷却装置包括：
[0006]主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；
[0007]弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧，所述弹性部件用于与待冷却构件接触；
[0008]其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构。
[0009]在一实施例中，所述冷却装置包括中心区及位于所述中心区外围的边缘区，在所述边缘区至所述中心区的方向上，所述弹性部件的厚度逐渐减小。
[0010]在一实施例中，在所述中心区内，所述弹性部件包括向远离所述冷却装置方向突出的曲面。
[0011]在一实施例中，所述冷却装置还包括连接于所述主体部件与所述弹性部件之间的可拆卸连接部件，所述可拆卸连接部件搭接在所述主体部件及所述弹性部件上。
[0012]在一实施例中，所述冷却装置还包括所述弹性部件与所述主体部件围成的腔体，所述热交换构件包括多个进气管路和多个出气管路，任一所述进气管路及任一所述出气管路与所述腔体连通。
[0013]在一实施例中，在俯视视角，所述主体部件的形状为矩形，所述进气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的几何中心。
[0014]在一实施例中，任一所述进气管路位于所述腔体内的长度大于任一所述出气管路位于所述腔体内的长度。
[0015]在一实施例中，所述冷却装置还包括位于所述腔体内的距离传感单元，所述距离传感单元靠近所述弹性部件一侧，所述弹性部件包括透明材料。
[0016]在一实施例中，所述冷却装置还包括位于所述主体部件远离所述弹性部件一侧的磁体部件，在所述磁体部件的边缘至所述磁体部件的中心的方向上，所述磁体部件的磁感应强度逐渐增大。
[0017]本专利技术实施例还提供了一种利用冷却装置的冷却方法，所述冷却装置应用于蒸镀设备，所述冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧；其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构；所述冷却方法包括：
[0018]提供一掩膜版；
[0019]将基板与所述掩膜版对位贴合；
[0020]将所述冷却装置的所述弹性部件一侧与所述基板对位贴合；
[0021]利用所述热交换构件，将冷却气体充入所述冷却装置内，以使所述弹性部件向远离所述冷却装置的方向突出。
[0022]本专利技术实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本专利技术实施例提供的冷却装置的第一种结构的结构示意图；
[0025]图2是本专利技术实施例提供的冷却装置的第二种结构的结构示意图；
[0026]图3是本专利技术实施例提供的冷却装置的第三种结构的结构示意图；
[0027]图4是本专利技术实施例提供的冷却装置的第四种结构的结构示意图；
[0028]图5是本专利技术实施例提供的冷却装置的第五种结构的俯视示意图；
[0029]图6是本专利技术实施例提供的冷却装置的第六种结构的俯视示意图；
[0030]图7是本专利技术实施例提供的冷却装置的第七种结构的结构示意图；
[0031]图8是本专利技术实施例提供的冷却装置的第八种结构的结构示意图；
[0032]图9是本专利技术实施例提供的冷却装置的第九种结构的结构示意图；
[0033]图10是本专利技术实施例提供的冷却装置的冷却方法的步骤流程图；
[0034]图11是本专利技术实施例提供的冷却装置的冷却方法的第一种流程示意图；
[0035]图12是本专利技术实施例提供的冷却装置的冷却方法的第二种流程示意图。
具体实施方式
[0036]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
[0037]近些年，显示领域的器件的工艺要求越来越高，在需要对基板进行蒸镀时，将基板
与掩膜版进行贴合，同时也需要冷却装置进行贴合降温，冷却装置一般为金属材质，在与基板进行贴合时，冷却装置容易划伤基板，导致基板的结构性能损坏。
[0038]请参阅图1至图9，本专利技术实施例提供了一种冷却装置100，应用于蒸镀设备，所述冷却装置100包括：
[0039]主体部件200，包括支撑构件300和与所述支撑构件300连接的热交换构件400；
[0040]弹性部件500，与所述主体部件200连接且设置于所述主体部件200远离所述热交换构件400的一侧，所述弹性部件500用于与待冷却构件600接触；
[0041]其中，所述弹性部件500与所述主体部件200构成闭合结构。
[0042]本专利技术实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。
[0043]现结合具体实施例对本专利技术的技术方案进行描述。
[0044]所述冷却装置100，应用于蒸镀设备，所述冷却装置100包括：主体部件200，包括支撑构件300和与所述支撑构件300连接的热交换构件400；弹性部件500，与所述主体部件200连接且设置于所述主体部件200远离所述热交换构件400的一侧，所述弹性部件500用于与待冷却构件60本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，应用于蒸镀设备，其特征在于，所述冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧，所述弹性部件用于与待冷却构件接触；其中，所述弹性部件与所述主体部件构成闭合结构。2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置包括中心区及位于所述中心区外围的边缘区，在所述边缘区至所述中心区的方向上，所述弹性部件的厚度逐渐减小。3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，在所述中心区内，所述弹性部件包括向远离所述冷却装置方向突出的曲面。4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括连接于所述主体部件与所述弹性部件之间的可拆卸连接部件，所述可拆卸连接部件搭接在所述主体部件及所述弹性部件上。5.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括所述弹性部件与所述主体部件围成的腔体，所述热交换构件包括多个进气管路和多个出气管路，任一所述进气管路及任一所述出气管路与所述腔体连通。6.根据权利要求5所述的冷却装置，其特征在于，在俯视视角，所述主体部件的形状为矩形，所述进气管路在所述主体部件上的正投影靠近所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨超，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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