提供了一种用于等离子体处理设备的升降销的升降销组件。升降销组件包括限定升降销延伸到其中的开口的销外壳。销外壳被定位成使得开口与由静电卡盘限定的开口对齐。该组件包括部分地定位在由销外壳限定的开口内的销高度调节构件。销高度调节构件可沿轴线在第一方向和第二方向上移动，以将升降销移入和移出由静电卡盘限定的开口。该组件包括至少部分地定位在由销高度调节构件限定的开口内的销保持器组件。销保持器组件被构造成保持升降销，使得升降销与由静电卡盘限定的开口对齐。升降销与由静电卡盘限定的开口对齐。升降销与由静电卡盘限定的开口对齐。
【技术实现步骤摘要】
用于等离子体处理设备的升降销组件
[0001]本公开一般地涉及等离子体处理设备，并且更具体地涉及一种用于等离子体处理设备的升降销组件。
技术介绍
[0002]等离子体处理工具可以用于制造诸如集成电路、微机械装置、平板显示器和其他装置的装置。可能需要现代等离子体蚀刻应用中使用的等离子体处理工具，以提供高等离子体均匀性和多种等离子体控制，包括独立的等离子体分布、等离子体密度和离子能量控制。在一些情况下，可能需要等离子体处理工具以在各种处理气体和各种不同条件(例如，气流、气压等)下维持稳定的等离子体。
[0003]基架组件可以用于在等离子体处理设备和其他处理工具(例如，热处理工具)中支撑工件(例如，半导体晶片)。例如，基架组件可以包括支撑工件的静电卡盘。此外，基架组件可以包括多个升降销，升降销可沿第一方向移动以将工件从静电卡盘提起，并且可沿第二方向移动以将工件下降到静电卡盘上。每个升降销可以在由静电卡盘限定的多个开口中的相应开口内移动。
技术实现思路
[0004]本公开的多个方面和优点将在下文的描述中部分地阐述，或者能够从该描述而明白，或者可以通过实践实施例而学到。
[0005]一方面，提供了一种用于等离子体处理设备的升降销的升降销组件。升降销组件包括限定升降销延伸到其中的开口的销外壳。销外壳被定位成，使得开口与由等离子体处理设备的静电卡盘限定的开口对齐。升降销组件包括部分地定位在由销外壳限定的开口内的销高度调节构件。销高度调节构件可沿轴线在第一方向和第二方向上移动。销高度调节构件可在第一方向上移动以将升降销移动到由静电卡盘限定的开口中。销高度调节构件可在第二方向上移动以将升降销移出由静电卡盘限定的开口。升降销组件包括至少部分地定位在由销高度调节构件限定的开口内的销保持器组件。销保持器组件被构造成保持升降销，使得升降销与由静电卡盘限定的开口对齐。
[0006]另一方面，提供了一种等离子体处理设备。该等离子体处理设备包括处理室和静电卡盘。静电卡盘被定位在处理室中。静电卡盘被构造成支撑工件。该等离子体处理设备包括升降销组件。升降销组件包括限定升降销延伸到其中的开口的销外壳。销外壳被定位成，使得开口与由等离子体处理设备的静电卡盘限定的开口对齐。升降销组件包括部分地定位在由销外壳限定的开口内的销高度调节构件。销高度调节构件可沿轴线在第一方向和第二方向上移动。销高度调节构件可在第一方向上移动以将升降销移动到由静电卡盘限定的开口中。销高度调节构件可在第二方向上移动以将升降销移出由静电卡盘限定的开口。升降销组件包括至少部分地定位在由销高度调节构件限定的开口内的销保持器组件。销保持器组件被构造成保持升降销，使得升降销与由静电卡盘限定的开口对齐。
[0007]参考以下描述和所附权利要求，将更好地理解本公开的这些和其他特征、方面和优点。包含在本说明书中并构成本说明书一部分的附图示例了本专利技术的实施例，并且与描述一起用于解释本专利技术的原理。
附图说明
[0008]在本说明书接下来的部分中，包括对附图的提及，更特别地阐述了对本领域技术人员而言是充分的且能够实现的公开内容，其中：
[0009]图1示出了根据本公开的示例实施例的示例等离子体处理设备。
[0010]图2示出了根据本公开的示例实施例的等离子体处理设备的基架组件。
[0011]图3示出了根据本公开的示例实施例的升降销组件的横截面图。
[0012]图4示出了根据本公开的示例实施例的图3的升降销组件的销外壳相对于等离子体处理设备的静电卡盘的对齐。
[0013]图5示出了图3的升降销组件的销高度调节构件的横截面图。
[0014]图6示出了图3的升降销组件的销保持器组件的横截面图。
[0015]图7示出了图3的升降销组件的锁定器的横截面图。
[0016]图8示出了根据本公开的另一示例实施例的升降销组件的横截面图。
[0017]图9示出了根据本公开的示例实施例的图8的升降销组件的销外壳相对于等离子体处理设备的静电卡盘的对齐。
[0018]图10示出了图8的升降销组件的销高度调节构件的横截面图。
[0019]图11示出了图8的升降销组件的销保持器组件的横截面图。
[0020]图12示出了图8的升降销组件的锁定器组件的锁定器的横截面图。
具体实施方式
[0021]现在将详细地谈及本专利技术的实施例，附图中示出了本专利技术的一个或多个示例。提供每个示例是为了解释本专利技术，而不是限制本专利技术。实际上，对于本领域技术人员而言显而易见的是，在不脱离本专利技术的范围或精神的情况下，可以对本专利技术做出各种修改和变化。例如，作为一个实施例的一部分示出或描述的特征可以与另一实施例一起使用以产生又一实施例。因而，本专利技术旨在涵盖落入所附权利要求及其等效物的范围内的此类修改和变化。
[0022]本公开的示例方面涉及等离子体处理设备。等离子体处理设备可以包括处理室。等离子体处理设备可以进一步包括基架组件以支撑位于处理室内的工件(例如，半导体晶片)。基架组件可以包括被构造成支撑工件的静电卡盘。基架组件可以进一步包括多个升降销。多个升降销中的每一个可以在第一方向上移动以将工件从静电卡盘上提起。此外，多个升降销中的每一个可以在与第一方向相反的第二方向上移动以将工件下降到静电卡盘上。
[0023]每个升降销延伸穿过由静电卡盘限定的相应开口。然而，经过几个循环，一个或多个升降销会变得与静电卡盘中的相应开口未对准(例如，不平行)。这种未对准会导致一个或多个升降销接触(例如，摩擦)静电卡盘。此外，由于一个或多个升降销接触静电卡盘而产生的摩擦会导致一个或多个升降销剪切(shear)。可替选地或另外地，由于摩擦而产生的颗粒可能积聚在一个或多个升降销上。此外，在一些情况下，摩擦力可能会很大，以致升降销断裂。
[0024]本公开的示例方面涉及一种用于等离子体处理设备的升降销的升降销组件。升降销组件可以包括销外壳。销外壳可以限定升降销延伸到其中的开口。升降销组件可以进一步包括销高度调节构件。销高度调节构件可以沿轴线移动以调节被定位在由静电卡盘限定的相应开口内的升降销的量。例如，销高度调节构件可以沿轴线在第一方向上移动，以将升降销移动到由静电卡盘限定的相应开口中以将工件从静电卡盘上提起。相反，销高度调整件可以沿轴线在第二方向上移动，以将升降销拉出由静电卡盘限定的相应开口以将工件下降到静电卡盘上。
[0025]销高度调节构件可以被部分地定位在由销外壳限定的开口内。例如，销高度调节构件可以包括被定位在由销外壳限定的开口内的第一部分，和被定位在由销外壳限定的开口外部的第二部分。在一些实施方式中，销高度调节构件的第一部分可以具有第一形状，而销高度调节构件的第二部分可以具有不同于第一形状的第二形状。
[0026]升降销组件可以包括被至少部分地定位在由销高度调节构件限定的开口内的销保持器组件。销保持器组件可以被构造成保持升降销，使得升降销与由静电卡盘限定的相应开口对准(例如，平行)。以这种方式，升降销组件本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于等离子体处理设备的升降销的升降销组件，所述升降销组件包括：销外壳，所述销外壳限定所述升降销延伸到其中的开口，所述销外壳被定位成使得所述开口与由所述等离子体处理设备的静电卡盘限定的开口对齐；销高度调节构件，所述销高度调节构件被部分地定位在由所述销外壳限定的所述开口内，所述销高度调节构件可沿轴线在第一方向和第二方向上移动，所述销高度调节构件可在所述第一方向上移动以将所述升降销移动到由所述静电卡盘限定的所述开口中，所述销高度调节构件可在所述第二方向上移动，以将所述升降销移出由所述静电卡盘限定的所述开口；以及销保持器组件，所述销保持器组件被至少部分地定位在由所述销高度调节构件限定的开口内，所述销保持器组件被构造成保持所述升降销，使得所述升降销与由所述静电卡盘限定的所述开口对齐。2.根据权利要求1所述的升降销组件，其中，所述销高度调节构件包括：第一部分，所述第一部分被定位在由所述销外壳限定的所述开口内，所述第一部分具有第一形状；和第二部分，所述第二部分被定位在由所述销外壳限定的所述开口外部，所述第二部分具有第二形状，所述第二形状与所述第一形状不同。3.根据权利要求2所述的升降销组件，其中，所述销高度调节构件的所述第一部分被定位在由所述销外壳的内表面限定的槽口内。4.根据权利要求1所述的升降销组件，进一步包括：紧固件，所述紧固件延伸穿过由所述销外壳的端部限定的开口，所述紧固件被构造成防止所述销高度调节构件沿所述轴线的移动。5.根据权利要求4所述的升降销组件，其中，所述紧固件包括锁定螺钉。6.根据权利要求1所述的升降销组件，其中，所述销保持器组件包括：内套管，所述内套管包围所述升降销的周边；外套管，所述外套管包围所述内套管的一部分；以及基座，所述基座被构造成支撑所述内套管。7.根据权利要求6所述的升降销组件，其中：所述基座具有相应于球体的形状，所述基座限定空腔；并且当所述升降销的端部被定位在所述空腔内时，所述升降销可绕所述轴线倾斜，以促进所述升降销与由所述静电卡盘限定的所述开口的对准。8.根据权利要求6所述的升降销组件，进一步包括：锁定器组件，所述锁定器组件包括锁定器以及一个或多个紧固件，所述锁定器经由所述一个或多个紧固件可移除地联接到所述销高度调节构件。9.根据权利要求8所述的升降销组件，其中，当所述锁定器经由所述一个或多个紧固件联接到所述销高度调节构件时，所述锁定器限制所述销保持器组件沿所述轴线的移动。10.根据权利要求1所述的升降销组件，其中，所述销高度调节构件可相对于所述销外壳沿所述轴线移动。11.根据权利要求10所述的升降销组件，其中，所述销保持器组件包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：管长乐，龙茂林，
申请(专利权)人：玛特森技术公司，
类型：发明
国别省市：
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