本实用新型专利技术涉及微通道热沉加工技术领域的一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具，包括底板，底板上连接有固定座，固定座上设有车刀行走槽和基板固定部，基板固定部上设有两个与微通道热沉基板上的两个固定孔对应的连接孔，连接孔和固定孔均为台阶孔，固定孔的上端为台阶部，下端为通孔，连接孔的上端为台阶部，下端为螺纹孔，固定孔内设有圆柱形套体，圆柱形套体的法兰部与固定孔的台阶部相匹配，圆柱形套体穿设在通孔内，圆柱形套体内穿设有螺钉，圆柱形套体的内孔上端设有与螺钉的压帽相匹配的压紧部，螺钉穿过圆柱形套体的内孔与连接孔的螺纹孔螺纹连接。本装置结构简单，操作方便，有利于提高微通道热沉基板的超精加工效率和加工质量。率和加工质量。率和加工质量。
【技术实现步骤摘要】
一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具
[0001]本技术属于微通道热沉加工
，具体地，涉及一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具。
技术介绍
[0002]现代微电子技术能够将上百亿个晶体管集成在只有数平方厘米的芯片上。这就导致单位面积上的热流密度显著上升。为了保证电子芯片的可靠安全运行，必须及时将该高热流散发出去。
[0003]微通道热沉的微通道内单相/两相流动换热是一种高效的散热技术，然而微通道热沉需要采用超精加工工艺制备，在超精加工过程中，通过吸附等传统工艺进行微通道热沉基板固定时，易出现滑动等影响加工精度的情况发生，而通过传统的夹紧工装，不但工装结构复杂，操作不方便，影响对微通道热沉基板的加工效率，且容易对微通道热沉基板的加工面造成划痕，影响微通道热沉的超精加工质量，为此，亟需对现有的微通道热沉基板超精加工用的工装夹具进行改进。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具，包括底板，所述底板的两端通过支撑块固定在超精加工车床的工作台上，所述底板上可拆卸连接有固定座，所述固定座上设有车刀行走槽和基板固定部，所述基板固定部上设有两个与微通道热沉基板上的两个固定孔一一对应的连接孔，所述连接孔和固定孔均为台阶孔，所述固定孔的上端为台阶部，下端为通孔，所述连接孔的上端为台阶部，下端为螺纹孔，所述固定孔内设有带法兰部的圆柱形套体，所述圆柱形套体的法兰部与固定孔的台阶部相匹配，且圆柱形套体穿设在通孔内，所述圆柱形套体内穿设有螺钉，且圆柱形套体的内孔上端设有与螺钉的压帽相匹配的压紧部，所述螺钉穿过圆柱形套体的内孔与连接孔的螺纹孔螺纹连接。
[0005]优选的，所述圆柱形套体与通孔的配合间隙为0.01～0.02mm，用于保证微通道热沉基板在基板固定部上的定位精度。
[0006]优选的，所述固定座两端分别设有一个车刀行走槽和一个基板固定部，且固定座两端的车刀行走槽和基板固定部分别呈对角设置，可一次装夹两个微通道热沉基板，有利于提高加工效率。
[0007]优选的，所述固定座的车刀行走槽内设有沉头螺栓孔，所述沉头螺栓孔内设有沉头螺栓，所述固定座通过沉头螺栓与底板相连接，且沉头螺栓的顶面不高于车刀行走槽的槽面，方便固定座与底板的快速连接和拆卸，同时也有效避免沉头螺栓干涉车刀的行走。
[0008]优选的，所述车刀行走槽为直角弯槽，方便车刀在一次工作行程内完成对微通道热沉基板一个端面和顶面的连续高效超精加工。
[0009]本技术还包括能够使该微通道热沉基板超精加工用工装夹具正常使用的其
它装置或组件，均为本领域的常规技术手段；另外，本技术中未加限定的装置和组件均采用本领域中的常规技术手段。
[0010]本装置使用时,先将微通道热沉基板放置在固定座的基板固定部上，并使微通道热沉基板上的固定孔与基板固定部上的连接孔相对应，然后将圆柱形套体放置在固定孔内，使圆柱形套体的法兰部嵌入固定孔内的台阶部上，且使圆柱形套体的法兰部的顶面低于微通道热沉基板的顶面，以免干涉车刀对微通道热沉基板顶面的加工，然后将螺钉插入圆柱形套体内，拧紧螺钉，使螺钉与连接孔的螺纹孔螺纹连接，并使螺钉的压帽压紧在圆柱形套体的内孔上端的压紧部上，通过圆柱形套体将微通道热沉基板固定在固定座的基板固定部上，微通道热沉基板加工结束后，可将圆柱形套体通过螺钉直接连接在基板固定部的连接孔上，方便存储，有利于下次使用。车刀行走槽便于超精加工车床的车刀对微通道热沉基板的端面和顶面进行超精加工。
[0011]本技术的有益效果是，本装置结构简单，操作方便，能够将微通道热沉基板快速牢固的固定在固定座的基板固定部上，且不会干涉车刀对微通道热沉基板的顶面和端面的超精加工，也不会在微通道热沉基板的超精加工工作面上产生划痕，有利于提高微通道热沉基板的超精加工效率和加工质量。
附图说明
[0012]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0013]图1是本技术实施例中的整体结构示意图。
[0014]图2是图1中的G部结构的局部放大示意图。
[0015]图3是本技术实施例中的圆柱形套体的整体结构示意图。
具体实施方式
[0016]下面结合本技术实施例中的附图以及具体实施例对本技术进行清楚地描述，在此处的描述仅仅用来解释本技术，但并不作为对本技术的限定。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
[0017]实施例
[0018]如图1～3所示，本技术提供了一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具，包括底板1，所述底板1的两端通过支撑块2固定在超精加工车床的工作台(图中未示出)上，所述底板1上可拆卸连接有固定座3，所述固定座3上设有车刀行走槽4和基板固定部5，所述基板固定部5上设有两个与微通道热沉基板6上的两个固定孔7一一对应的连接孔8，所述连接孔8和固定孔7均为台阶孔，所述固定孔7的上端为台阶部，下端为通孔，所述连接孔8的上端为台阶部，下端为螺纹孔，所述固定孔7内设有带法兰部9的圆柱形套体10，所述圆柱形套体10的法兰部9与固定孔7的台阶部相匹配，且圆柱形套体10穿设在通孔内，所述圆柱形套体10与通孔的配合间隙为0.01mm，用于保证微通道热沉基板6在基板固定部5上的定位精度。所述圆柱形套体10内穿设有螺钉11，且圆柱形套体10的内孔上端设有与螺钉11的压帽相匹配的压紧部12，所述螺钉11穿过圆柱形套体10的内孔与连接孔8的螺纹孔螺纹连接。所述固定座3两端分别设有一个车刀行走槽4和一个基板固定部5，且固定座3两端的车刀行走槽4
和基板固定部5分别呈对角设置，可一次装夹两个微通道热沉基板6，有利于提高加工效率。所述固定座3的车刀行走槽4内设有沉头螺栓孔，所述沉头螺栓孔内设有沉头螺栓13，所述固定座3通过沉头螺栓13与底板1相连接，且沉头螺栓13的顶面不高于车刀行走槽4的槽面，方便固定座3与底板1的快速连接和拆卸，同时也有效避免沉头螺栓13干涉车刀的行走。所述车刀行走槽4为直角弯槽，方便车刀在一次工作行程内完成对微通道热沉基板6的一个端面和顶面的连续高效超精加工。
[0019]本装置使用时,先将微通道热沉基板6放置在固定座3的基板固定部5上，并使微通道热沉基板6上的固定孔7与基板固定部5上的连接孔8相对应，然后将圆柱形套体10放置在固定孔7内，使圆柱形套体10的法兰部9嵌入固定孔7内的台阶部上，且使圆柱形套体10的法兰部9的顶面低于微通道热沉基板6的顶面，以免干涉车刀对微通道热沉基板6顶面的加工，然后将螺钉11插入圆柱形套体10内，拧紧螺钉11，使螺钉11与连接孔8的螺纹孔螺纹连接，并使螺钉11的压帽压紧在圆柱形套体10的内孔上端的压紧部12上，通过圆柱形套体10将微通道热沉基板6固定在固定座3的基板固定部5上，微通道热沉基板6加工结束后，可将圆柱形本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具，其特征在于：包括底板，所述底板的两端通过支撑块固定在超精加工车床的工作台上，所述底板上可拆卸连接有固定座，所述固定座上设有车刀行走槽和基板固定部，所述基板固定部上设有两个与微通道热沉基板上的两个固定孔一一对应的连接孔，所述连接孔和固定孔均为台阶孔，所述固定孔的上端为台阶部，下端为通孔，所述连接孔的上端为台阶部，下端为螺纹孔，所述固定孔内设有带法兰部的圆柱形套体，所述圆柱形套体的法兰部与固定孔的台阶部相匹配，且圆柱形套体穿设在通孔内，所述圆柱形套体内穿设有螺钉，且圆柱形套体的内孔上端设有与螺钉的压帽相匹配的压紧部，所述螺钉穿过圆柱形套体的内孔与连接孔的螺纹孔螺纹连接。2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：马喜山，赵露，
申请(专利权)人：焦作市陆创光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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