一种胶带卷收装置，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，并包含承载架及设于承载架的传送单元、清洁单元、导向单元及张力调整单元。传送单元包括出料机构及收料机构，以供胶带自出料机构输出且由收料机构卷收而形成传送路径。张力调整单元包括设于承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于轨道的滑动座、设于滑动座并能连动滑动座且位于传送路径上的滑轮，及设于滑动座并与滑动座连动的配重体，配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且滑轮下侧与胶带接触。随着滑轮位置的动态调整，能使胶带保持固定张力。能使胶带保持固定张力。能使胶带保持固定张力。
【技术实现步骤摘要】
胶带卷收装置
[0001]本技术涉及一种胶带卷收装置，特别是涉及一种用于半导体制程利用胶带黏附除去晶圆表面微粒的胶带卷收装置。
技术介绍
[0002]在半导体制程中，晶圆表面的洁净度对于制程良率有显著影响，因此对于晶圆表面的微粒都要尽可能的清除。
[0003]目前有一种清洁晶圆表面的方式，是利用胶带黏附晶圆表面的微粒以清洁晶圆表面。为了能连续作业，胶带先卷绕成卷以由传送装置在出料机构及收料机构之间传送，并使胶带通过滚轮接触晶圆表面以黏附微粒。由于成卷的胶带(下称胶带卷)由出料机构输出时，胶带卷的胶带量逐渐减少而使半径逐渐缩小，相反地，在收料机构卷收的胶带卷的胶带量逐渐增加而使半径逐渐增加，如此使得在胶带传送过程中，在出料机构的胶带卷与在收料机构的胶带卷的转距都在变化，而无法精准匹配出料机构与收料机构的转速以使胶带保持适当张力，造成胶带偏摆或产生皱折，进而影响胶带回收的稳定性。也就是说，当胶带回收时，若产生偏摆或皱折，即会影响胶带整体的运转，会导致制程不稳定并增加排除故障的作业成本。
技术实现思路
[0004]本技术的一目的在于提供一种可以解决前述问题的胶带卷收装置。
[0005]本技术的胶带卷收装置在一些实施态样中，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，该胶带卷收装置包含：承载架、传送单元、清洁单元、导向单元及张力调整单元。该传送单元设于该承载架，并包括出料机构及收料机构，以供胶带自该出料机构输出且由该收料机构卷收，而在该出料机构与该收料机构之间形成传送路径。该清洁单元设于该承载架，并包括位于该传送路径上的清洁滚轮，该清洁滚轮用以导引胶带接触待清洁的晶圆。该导向单元设于该承载架，并包括多个分布于该传送路径上的导向轮，以导引胶带的传送方向。该张力调整单元包括设于该承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于该轨道的滑动座、设于该滑动座并能连动该滑动座且位于该传送路径上的滑轮，及设于该滑动座并与该滑动座连动的配重体，该配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且该滑轮下侧与胶带接触。
[0006]在一些实施态样中，该张力调整单元位于该出料机构及该收料机构之间。
[0007]在一些实施态样中，该传送路径自该出料机构起始，先通过该滑轮，再通过其中至少一导向轮，而后通过该清洁滚轮，再通过其中至少一导向轮，最后至该收料机构终止。
[0008]在一些实施态样中，该收料机构的位置高度可低于该出料机构且该收料机构的位置相较于该出料机构邻近该清洁滚轮，该清洁滚轮位于该出料机构与该收料机构的同一侧且该清洁滚轮的位置高度介于该出料机构与该收料机构之间。
[0009]在一些实施态样中，该滑轮位于该出料机构与该收料机构的同一侧且该滑轮与该
清洁滚轮分别位于该出料机构与该收料机构的相反两侧。
[0010]本技术具有以下功效：随着滑轮位置的动态调整，使胶带张力与配重体产生的重力保持平衡，即能使胶带保持固定的张力，从而使传送及回收胶带的运转过程保持稳定顺畅，以提高制程稳定性并降低需要排除故障的作业成本。
附图说明
[0011]本技术的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
[0012]图1是本技术胶带卷收装置的实施例的示意图；及，
[0013]图2是类似图1的示意图，其中该实施例的张力调整单元在不同位置。
具体实施方式
[0014]参阅图1，本技术胶带卷收装置100的实施例，用以传送胶带6以黏附微粒而清洁晶圆(未图示)表面，该胶带卷收装置100包含一承载架1、一传送单元2、一清洁单元3、一导向单元4及一张力调整单元5。
[0015]该传送单元2设于该承载架1，并包括一出料机构21及一收料机构22，以供胶带6自该出料机构21输出且由该收料机构22卷收，而在该出料机构21与该收料机构22之间形成一传送路径。该传送路径即图中所示胶带6的移动路径。
[0016]该清洁单元3设于该承载架1，并包括一位于该传送路径上的清洁滚轮31，该清洁滚轮31用以导引胶带6接触待清洁的晶圆。
[0017]该导向单元4设于该承载架1，并包括多个分布于该传送路径上的导向轮41，以导引胶带6的传送方向。在本实施例中，具体在该出料机构21与该清洁滚轮31之间的传送路径上设有两个导向轮41，而在该清洁滚轮31与该收料机构22之间的传送路径上设有一个导向轮 41。
[0018]该张力调整单元5包括一设于该承载架1且沿上下方向Z延伸的轨道51、一可滑动地设于该轨道51的滑动座52、一设于该滑动座52 并能连动该滑动座52且位于该传送路径上的滑轮53，及一设于该滑动座52并与该滑动座52连动的配重体54。该配重体54的重量与传送胶带6时的预设张力相适配，且该滑轮53下侧与胶带6接触，以使胶带6保持固定的张力。在本实施例中，该张力调整单元5邻近该出料机构21且位置高度低于该出料机构21。
[0019]具体而言，在本实施例中，该收料机构22的位置高度低于该出料机构21且该收料机构22的位置相较于该出料机构21邻近该清洁滚轮31。该清洁滚轮31位于该出料机构21与该收料机构22的同一侧且该清洁滚轮31的位置高度介于该出料机构21与该收料机构22 之间。该滑轮53位于该出料机构21与该收料机构22的同一侧且该滑轮53与该清洁滚轮31分别位于该出料机构21与该收料机构22的相反两侧。以图1所示方向为例，该清洁滚轮31位于该出料机构21 与该收料机构22的右侧，该滑轮53位于该出料机构21与该收料机构22的左侧，而使该滑轮53与该清洁滚轮31在左右方向X上分别位于该出料机构21与该收料机构22的相反两侧。而传送胶带6的整体传送路径自该出料机构21起始，先通过该滑轮53，再通过位于该出料机构21与该清洁滚轮31之间的导向轮41，而后通过该清洁滚轮 31，再通过位于该清洁滚轮31与该收料机构22之间的导向轮41，最后至该收料机构22终止。
[0020]另配合参阅图2，该张力调整单元5的滑轮53位于传送路径上且该滑轮53下侧与胶
带6接触，使该滑轮53受胶带6张力作用产生往上的作用力，而且该滑轮53连同配重体54能与该滑动座52一起沿该轨道51上下移动并一起受重力作用而在滑轮53上产生往下的作用力，当滑轮53上往上的作用力与往下的作用力平衡时，才能使滑轮 53保持静止。若滑轮53上所受胶带6张力的作用力大于所受重力作用的作用力时，滑轮53即被往上拉，如图2所示，滑动座52被滑轮53带动沿轨道51往上移动，直到在滑轮53上所承受的往上及往下的作用力达到新的平衡才停止。反之，若滑轮53上所受胶带6张力的作用力小于重力作用的作用力时，滑轮53即被往下拉，滑动座52被滑轮53带动沿轨道51往下移动，直到在滑轮53上所承受的往上及往下的作用力达到新的平衡才停止。换言之，在出料机构21与收料机构22在传送胶带6的过程中，当出料机构21上的胶带6量逐渐减少而收料机构22上的胶带6量逐渐增多，而导致转距变化时，通过滑轮53位置的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种胶带卷收装置，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，其特征在于：该胶带卷收装置包含：承载架；传送单元，设于该承载架，并包括出料机构及收料机构，以供胶带自该出料机构输出且由该收料机构卷收，而在该出料机构与该收料机构之间形成传送路径；清洁单元，设于该承载架，并包括位于该传送路径上的清洁滚轮，该清洁滚轮用以导引胶带接触待清洁的晶圆；导向单元，设于该承载架，并包括多个分布于该传送路径上的导向轮，以导引胶带的传送方向；及张力调整单元，包括设于该承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于该轨道的滑动座、设于该滑动座并能连动该滑动座且位于该传送路径上的滑轮，及设于该滑动座并与该滑动座连动的配重体，该配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且该滑轮下侧与胶带接触。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：邱圣恩，蔡子玮，李威震，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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