一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种无机非金属领域，尤其涉及一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置。本发明专利技术的技术问题为：提供一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置。技术方案：一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置，包括有底板组件和支座等；底板组件与支座相连接。本发明专利技术实现了将所用粘接剂以及涂抹后沉底的粘接剂均匀的涂抹在陶瓷件内表面，接着，再将上层陶瓷件挤压进陶瓷件内部制成所需陶瓷部件，接着，再对陶瓷部件进行挤压使陶瓷件粘接牢固，且可调节控制挤压时的压力，从而使得在不伤害陶瓷部件的情况下，使得陶瓷件粘接牢固，提高了产品质量，避免了安全隐患。避免了安全隐患。避免了安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置


[0001]本专利技术涉及一种无机非金属领域，尤其涉及一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置。

技术介绍

[0002]陶瓷，是陶器与瓷器的统称，同时也是我国的一种工艺美术品，远在新石器时代，我国已有风格粗犷、朴实的彩陶和黑陶，陶瓷材料是用天然或合成化合物经过成形和高温烧结制成的一类无机非金属材料，具有高熔点、高硬度、高耐磨性、耐氧化等优点，可用作结构材料、刀具材料和模具材料，由于陶瓷还具有陶瓷不导电性能，又可作为功能材料，广泛应用于各大市场。
[0003]目前，现有技术中，为满使用需求，导体设备和半导体产品生产过程中的很多部件可以由多种先进陶瓷材料制成，在此过程中，需将所用复合材料粘接剂涂抹在陶瓷件内表面，随后再将需要组合的部件进行对接，由于粘接剂内部易形成空腔，而导致挤压时需较大的压力，才能进行对接，进而导致极易损坏陶瓷部件，进而使得陶瓷部件无法粘接牢固，从而导致影响后期产品质量，留下安全隐患。
[0004]综上，需要研发一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置，来克服上述问题。

技术实现思路

[0005]为了克服目前，现有技术中，为满使用需求，导体设备和半导体产品生产过程中的很多部件可以由多种先进陶瓷材料制成，在此过程中，需将所用复合材料粘接剂涂抹在陶瓷件内表面，随后再将需要组合的部件进行对接，由于粘接剂内部易形成空腔，而导致挤压时需较大的压力，才能进行对接，进而导致极易损坏陶瓷部件，进而使得陶瓷部件无法粘接牢固，从而导致影响后期产品质量，留下安全隐患的缺点，本专利技术的技术问题为：提供一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置。
[0006]技术方案：一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置，包括有底板组件、涂抹单元、粘接单元、调压紧固单元、控制屏、支座、支架、支撑柱、防滑垫、收集箱和拉手；底板组件与涂抹单元相连接；底板组件与粘接单元相连接；底板组件与调压紧固单元相连接；底板组件与支座相连接；底板组件与支架相连接；底板组件与五组支撑柱相连接；底板组件与收集箱相连接；涂抹单元与粘接单元相连接；涂抹单元与调压紧固单元相连接；调压紧固单元与支架相连接；控制屏与支座相连接；五组支撑柱与五组防滑垫相连接；收集箱与拉手相连接。
[0007]在本专利技术一个较佳实施例中，涂抹单元包括有第一传动轮、第二传动轮、第一传动轴、第三传动轮、第四传动轮、第二传动轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、第三传动轴、物料盘、第一直齿轮、第二直齿轮、第三直齿轮、弧形架、第一电动推杆和弧形块；第一传动轮与调压紧固单元相连接；第一传动轮通过皮带与第二传动轮进行传动连接；第二传动轮与第一传
动轴进行固接；第一传动轴与底板组件进行转动连接；第一传动轴与第三传动轮进行固接；第三传动轮通过皮带与第四传动轮进行传动连接；第四传动轮与第二传动轴进行固接；第二传动轴与底板组件进行转动连接；第二传动轴与第一锥齿轮进行固接；第一锥齿轮与第二锥齿轮相啮合；第二锥齿轮与第三传动轴进行固接；第三传动轴与物料盘进行固接；物料盘与粘接单元相连接；第一传动轴与第一直齿轮进行固接；第一直齿轮与第二直齿轮相啮合；第二直齿轮通过转轴与底板组件进行转动连接；第一直齿轮与第三直齿轮相啮合；第三直齿轮通过转轴与底板组件进行转动连接；第二直齿轮通过转轴与弧形架进行转动连接；第三直齿轮通过转轴与弧形架进行转动连接；弧形架与第一电动推杆进行固接；第一电动推杆与弧形块进行固接。
[0008]在本专利技术一个较佳实施例中，粘接单元包括有第一电动转盘、第一丝杆、第一滑块、第一机械爪、第一固定板、承重板、第二机械爪、第二滑块、第二固定板、第一电动滑轨、第一固定架、第二电动滑轨、第二电动转盘、第四传动轴、第一连杆、滑板、第一传动板、圆盘、凸块、第三固定板和弹簧杆；第一电动转盘的定子与底板组件进行固接；第一电动转盘的转子与第一丝杆进行固接；第一丝杆与底板组件进行转动连接；第一丝杆与第一滑块进行旋接；第一滑块与第一机械爪进行固接；第一滑块与第一固定板进行滑动连接；第一固定板与底板组件进行固接；第一机械爪与承重板进行固接；承重板与物料盘进行转动连接；承重板与第二机械爪进行固接；第二机械爪与第二滑块进行固接；第二滑块与第二固定板进行滑动连接；第二固定板与底板组件进行固接；第二固定板的上方侧部设置有第一电动滑轨；第一电动滑轨与底板组件进行固接；第一电动滑轨与第一固定架进行滑动连接；第一固定架与第二电动滑轨进行滑动连接；第二电动滑轨与底板组件进行固接；第一固定架与第二电动转盘的定子进行固接；第二电动转盘的转子与第四传动轴进行固接；第四传动轴与第一固定架进行转动连接；第四传动轴与第一连杆进行固接；第一连杆与滑板进行滑动连接；滑板与第一传动板进行固接；第一传动板与第一固定架进行滑动连接；第一传动板与圆盘进行固接；圆盘与多组凸块进行固接；第一固定架与多组弹簧杆进行滑动连接；多组弹簧杆与多组第三固定板进行固接。
[0009]在本专利技术一个较佳实施例中，调压紧固单元包括有电机、第五传动轴、第六传动轴、第三锥齿轮、第四固定板、第二电动推杆、第四锥齿轮、第七传动轴、第五传动轮、第六传动轮、伸缩杆、第四直齿轮、第五固定板、第三电动推杆、第八传动轴、第二固定架、第五锥齿轮、第六锥齿轮、第九传动轴、第二丝杆、第一固定块、连轴、弧形板、第二连杆、第七传动轮、第八传动轮、第十传动轴、凸轮架、第三连杆、连接架、第二传动板、第二固定块、加压杆和滑筒；电机与支架进行固接；电机与第五传动轴进行固接；第五传动轴与底板组件进行转动连接；第五传动轴与第一传动轮进行固接；第五传动轴与第六传动轴相连接；第六传动轴与第三锥齿轮进行固接；第六传动轴与第四固定板进行转动连接；第四固定板与第二电动推杆进行固接；第二电动推杆与底板组件进行固接；第三锥齿轮的侧部设置有第四锥齿轮；第四锥齿轮与第七传动轴进行固接；第七传动轴与底板组件进行转动连接；第七传动轴与第五传动轮进行固接；第五传动轮通过皮带与第六传动轮进行传动连接；第六传动轮与伸缩杆进行固接；伸缩杆与底板组件进行转动连接；伸缩杆与第四直齿轮进行固接；伸缩杆与第五固定板进行转动连接；第五固定板与第三电动推杆进行固接；第三电动推杆与底板组件进行固接；第四直齿轮的侧部设置有第八传动轴；第八传动轴与底板组件进行转动连接；第八
传动轴与第二固定架进行固接；第二固定架与第九传动轴进行转动连接；第八传动轴与第五锥齿轮进行固接；第五锥齿轮与第六锥齿轮相啮合；第六锥齿轮与第九传动轴进行固接；第九传动轴与第二丝杆进行固接；第二丝杆与第一固定块进行旋接；第一固定块与连轴进行固接；连轴与弧形板进行滑动连接；弧形板与底板组件进行固接；第一固定块通过转轴与第二连杆进行转动连接；第二连杆与连接架进行转动连接；伸缩杆与第七传动轮进行固接；第七传动轮通过皮带与第八传动轮进行传动连接；第八传动轮与第十传动轴进行固接；第十传动轴与底板组件进行转动连接；第十传动轴与凸轮架进行固接；凸轮架与第三连杆进行固接；第三连杆与底板组件进行转动连接；凸轮架与连接架进行转动连接；连接架与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置，包括有底板组件（1）、控制屏（5）、支座（6）、支架（7）、支撑柱（8）、防滑垫（9）、收集箱（10）和拉手（11），其特征是：还包括有涂抹单元（2）、粘接单元（3）和调压紧固单元（4）；底板组件（1）与涂抹单元（2）相连接；底板组件（1）与粘接单元（3）相连接；底板组件（1）与调压紧固单元（4）相连接；底板组件（1）与支座（6）相连接；底板组件（1）与支架（7）相连接；底板组件（1）与五组支撑柱（8）相连接；底板组件（1）与收集箱（10）相连接；涂抹单元（2）与粘接单元（3）相连接；涂抹单元（2）与调压紧固单元（4）相连接；调压紧固单元（4）与支架（7）相连接；控制屏（5）与支座（6）相连接；五组支撑柱（8）与五组防滑垫（9）相连接；收集箱（10）与拉手（11）相连接。2.按照权利要求1所述的一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置，其特征是，涂抹单元（2）包括有第一传动轮（201）、第二传动轮（202）、第一传动轴（203）、第三传动轮（204）、第四传动轮（205）、第二传动轴（206）、第一锥齿轮（207）、第二锥齿轮（208）、第三传动轴（209）、物料盘（210）、第一直齿轮（211）、第二直齿轮（212）、第三直齿轮（213）、弧形架（214）、第一电动推杆（215）和弧形块（216）；第一传动轮（201）与调压紧固单元（4）相连接；第一传动轮（201）通过皮带与第二传动轮（202）进行传动连接；第二传动轮（202）与第一传动轴（203）进行固接；第一传动轴（203）与底板组件（1）进行转动连接；第一传动轴（203）与第三传动轮（204）进行固接；第三传动轮（204）通过皮带与第四传动轮（205）进行传动连接；第四传动轮（205）与第二传动轴（206）进行固接；第二传动轴（206）与底板组件（1）进行转动连接；第二传动轴（206）与第一锥齿轮（207）进行固接；第一锥齿轮（207）与第二锥齿轮（208）相啮合；第二锥齿轮（208）与第三传动轴（209）进行固接；第三传动轴（209）与物料盘（210）进行固接；物料盘（210）与粘接单元（3）相连接；第一传动轴（203）与第一直齿轮（211）进行固接；第一直齿轮（211）与第二直齿轮（212）相啮合；第二直齿轮（212）通过转轴与底板组件（1）进行转动连接；第一直齿轮（211）与第三直齿轮（213）相啮合；第三直齿轮（213）通过转轴与底板组件（1）进行转动连接；第二直齿轮（212）通过转轴与弧形架（214）进行转动连接；第三直齿轮（213）通过转轴与弧形架（214）进行转动连接；弧形架（214）与第一电动推杆（215）进行固接；第一电动推杆（215）与弧形块（216）进行固接。3.按照权利要求2所述的一种用于超精密半导体陶瓷部件调压紧固加工装置，其特征是，粘接单元（3）包括有第一电动转盘（301）、第一丝杆（302）、第一滑块（303）、第一机械爪（304）、第一固定板（305）、承重板（306）、第二机械爪（307）、第二滑块（308）、第二固定板（309）、第一电动滑轨（310）、第一固定架（311）、第二电动滑轨（312）、第二电动转盘（313）、第四传动轴（314）、第一连杆（315）、滑板（316）、第一传动板（317）、圆盘（318）、凸块（319）、第三固定板（320）和弹簧杆（321）；第一电动转盘（301）的定子与底板组件（1）进行固接；第一电动转盘（301）的转子与第一丝杆（302）进行固接；第一丝杆（302）与底板组件（1）进行转动连接；第一丝杆（302）与第一滑块（303）进行旋接；第一滑块（303）与第一机械爪（304）进行固接；第一滑块（303）与第一固定板（305）进行滑动连接；第一固定板（305）与底板组件（1）进行固接；第一机械爪（304）与承重板（306）进行固接；承重板（306）与物料盘（210）进行转动连接；承重板（306）与第二机械爪（307）进行固接；第二机械爪（307）与第二滑块（308）进行固接；第二滑块（308）与第二固定板（309）进行滑动连接；第二固定板（309）与底板组件（1）进行固接；第二固定板（309）的上方侧部设置有第一电动滑轨（310）；第一电动滑轨（310）与底板组件（1）进行固接；第一电动滑轨（310）与第一固定架（311）进行滑动连接；第
一固定架（311）与第二电动滑轨（312）进行滑动连接；第二电动滑轨（312）与底板组件（1）进行固接；第一固定架（311）与第二电动转盘（313）的定子进行固接；第二电动转盘（313）的转子与第四传动轴（314）进行固接；第四传动轴（314）与第一固定架（311）进行转动连接；第四传动轴（314）与第一连杆（315）进行固接；第一连杆（315）与滑板（316）进行滑动连接；滑板（31...

【专利技术属性】
技术研发人员：王超杰，
申请(专利权)人：王超杰，
类型：发明
国别省市：