环形谐振器滤波器元件制造技术

环形谐振器滤波器元件由具有芯材和包层的石英系平面光波回路构成，所述芯材构成两个环形谐振器滤波器，所述两个环形谐振器滤波器分别构成具有两个臂部、环状部、以及将所述两个臂部和所述环状部光学耦合的两个光合分波部的环形谐振器滤波器，两个所述环状部相互交叉。叉。叉。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】环形谐振器滤波器元件


[0001]本专利技术涉及环形谐振器滤波器元件。

技术介绍

[0002]作为用于检测从半导体激光元件输出的激光的波长的元件，公开了使用具备相对于波长具有大致周期性的透过特性的两个滤光器的元件(也称为波长锁定器元件)的技术(专利文献1)。两个滤光器被设定为透过特性在一个周期的1/3～1/5的范围内相位相互不同。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014
‑
165384号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]下一代的ITLA(Integrated Tunable Laser Assembly，集成可调谐激光组件)强烈要求外壳的小型化。在这种情况下，在使用标准具滤波器的波长锁定器元件的结构中，外壳的小型化存在极限。因此，利用波导路型元件的波长锁定器值得期待。其中，传播损耗小的高相对折射率差(Δ)型的石英系平面光波回路(Planar Lightwave Circuit：PLC)元件对于针对波长锁定器元件的各种要求，认为是最佳的部件。在使用PLC元件的波长锁定器元件中，作为两个滤光器，已知有采用环形谐振器的结构。以下，有时将采用了环形谐振器的波长锁定器元件记载为环形谐振器滤波器元件。
[0008]如上所述，在波长锁定器元件中，两个滤光器被设定为透过特性相互相位不同，即具有相位差。该相位差是在波长锁定器元件的性能上应该精密地调整的重要的参数，优选相对于设计的误差(例如制造误差)尽可能小。
[0009]本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种小型且能够减小距相位差的设计的误差的环形谐振器滤波器元件。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]为了解决上述课题并达成目的，本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于由具有芯材和包层的石英系平面光波回路构成，所述芯材构成两个环形谐振器滤波器，所述两个环形谐振器滤波器分别具有两个臂部、环状部、以及将所述两个臂部和所述环状部光学耦合的两个光合分波部，两个所述环状部相互交叉。
[0012]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部具有大致正交的部位。
[0013]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部分别形成为8字状。
[0014]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部
在两个部位大致正交。
[0015]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环形谐振器滤波器当中一个环形谐振器滤波器所具有的所述两个光合分波部位于所述两个环形谐振器滤波器当中的另一个环形谐振器滤波器的外侧，所述另一个环形谐振器滤波器所具有的所述两个光合分波部位于所述一个环形谐振器滤波器的外侧。
[0016]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部被配置为相互大致平行。
[0017]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部分别形成为圆角长方形状。
[0018]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部被配置为沿着纵长方向的长轴彼此相互大致平行。
[0019]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述两个环状部的直线部分彼此交叉。
[0020]本专利技术的一个方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的特征在于，所述芯材相对于所述包层的相对折射率差为2.5％以上。
[0021]专利技术效果
[0022]根据本专利技术，起到能够实现小型且能够减小距相位差的设计的误差的环形谐振器滤波器元件的效果。
附图说明
[0023]图1是实施方式1所涉及的环形谐振器滤波器元件的示意图。
[0024]图2是实施方式2所涉及的环形谐振器滤波器元件的示意图。
[0025]图3是实施方式3所涉及的环形谐振器滤波器元件的示意图。
[0026]图4是比较方式所涉及的环形谐振器滤波器元件的示意图。
[0027]图5是说明波长锁定器元件的设计的图。
[0028]图6是表示芯材的厚度的分布的一例的图。
[0029]图7是表示相位差的误差的分布的一例的图。
[0030]图8是表示实施方式1与比较方式中的相位差的误差的差异的示意图。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图对实施方式进行说明。另外，本专利技术并不限定于该实施方式。此外，在附图的记载中，对相同或者对应的要素适当标注相同的附图标记。此外，附图是示意性的，需要注意各要素的尺寸的关系、各要素的比率等有时与现实不同。在附图的相互之间，有时也包含相互的尺寸的关系、比率不同的部分。
[0032](实施方式1)
[0033]图1是实施方式1所涉及的环形谐振器滤波器元件的示意图。该环形谐振器滤波器元件100由具有由芯材构成的环形谐振器滤波器110、120和包层101的PLC构成。
[0034]包层101包围芯材，例如形成于硅基板、玻璃基板上。包层101由石英系玻璃材料构成。
[0035]芯材有具有比包层101的折射率高的折射率的石英系玻璃材料构成。作为这样的折射率高的石英系玻璃材料，例如能够使用含有作为提高折射率的掺杂剂的锗(GeO2)、氧化锆(ZrO2)的石英玻璃。特别是，如果是包含氧化锆的石英玻璃即所谓的SiO2‑
ZrO2系材料，则能够将芯材相对于包层101的相对折射率提高到例如2.5％以上，因此，在使环形谐振器滤波器元件100小型化的情况下是优选的。
[0036]环形谐振器滤波器110具有两个臂部111、112、环状部113、以及将臂部111、112与环状部113光学地耦合的两个光合分波部114、115。在本实施方式中，臂部111、112为直线状，环状部113为由两个圆弧部和两个直线部形成的圆角长方形状，但形状并不限定于此，环状部113例如也可以是圆形状、椭圆形状。此外，长圆形状是圆角长方形状的一例。圆角长方形也有在圆弧部中包含两个圆弧和在该两个圆弧之间沿短边方向延伸的线段的情况。
[0037]臂部111、112使其一端在包层101的一个端面102露出，另一端分别与光合分波部114、115连接。
[0038]光合分波部114、115是输入侧为2端口、输出侧为2端口的2
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2型，为方向性耦合型、多模光干涉(MMI)型，但在本实施方式中设为MMI型。
[0039]臂部111、112和环状部113根据相对于包层101的相对折射率差来设定其截面的尺寸，以使得以单模传播使用波长(例如1.55μm带)的光。光合分波部114、115根据相对于包层101的相对折射率差来设定其截面的尺寸，以使得以多模传播使用波长(例如1.55μm带)的光，且分支比成为40∶60。具体而言，光合分波部114设定分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种环形谐振器滤波器元件，其特征在于，由具有芯材和包层的石英系平面光波回路构成，所述芯材构成两个环形谐振器滤波器，所述两个环形谐振器滤波器分别具有两个臂部、环状部以及将所述两个臂部和所述环状部光学耦合的两个光合分波部，两个所述环状部相互交叉。2.根据权利要求1所述的环形谐振器滤波器元件，其中，所述两个环状部具有大致正交的部位。3.根据权利要求1或者2所述的环形谐振器滤波器元件，其中，所述两个环状部分别形成为8字状。4.根据权利要求3所述的环形谐振器滤波器元件，其中，所述两个环状部在两个部位大致正交。5.根据权利要求3或者4所述的环形谐振器滤波器元件，其中，所述两个环形谐振器滤波器当中一个环形谐振器滤波器所具有的所述两个光合分波部位于所述两个环形谐振器...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川淳一，松原礼高，
申请(专利权)人：古河电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：