用于测试一个或多个待测器件的自动测试设备和操作自动测试设备的方法技术

一种用于测试一个或多个DUT的自动测试设备，包括测试头和DUT接口。DUT接口包括多个弹簧加载引脚块，例如弹簧加载引脚的组或场。例如，DUT接口被配置为在测试头与DUT板或负载板之间建立电子信号路径，该DUT板或负载板承托DUT或提供与DUT的连接。自动测试设备被配置为允许至少两个弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。变化。变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测试一个或多个待测器件的自动测试设备和操作自动测试设备的方法


[0001]本公开的实施例涉及用于测试一个或多个待测器件(DUT)的自动测试设备。另外的实施例涉及操作用于测试一个或多个待测器件(DUT)的自动测试设备的方法。具体地，本公开的实施例涉及柔性DUT接口或可适配DUT接口。

技术介绍

[0002]半导体测试系统用于诸如半导体器件或其他电子器件之类的器件的测试。例如，可以将一个或多个要测试的器件布置在晶片上。为了进行测试，待测器件(DUT)需要被连接到诸如电子仪器之类的测试设备。为了快速且有效地测试多个DUT，通常将DUT放在DUT板，该DUT板提供到DUT的连接器，这些连接器被布置成与DUT的连接器的特定布置匹配。继而，DUT板可以通过DUT接口连接到测试头。测试头通常提供到测试设备的连接。因此，DUT板、DUT接口和测试头提供了DUT与测试设备之间的连接。如上所述，DUT板的用于接触DUT的各个接触焊盘的触点可以布置成与特定的DUT匹配。与之相比，通常根据固定布局来布置DUT板的用于将接触DUT的触点连接到DUT接口的相对触点，以使得用于各种DUT的多个DUT板可以与相同DUT接口一起使用。换言之，半导体测试系统的DUT接口通常具有某一固定大小，测试系统与DUT板(或负载板)之间的连接位于特定位置。
[0003]存在用于将测试头连接到DUT板的各种方案。文献SG193487A1示出了一种用于将半导体探针连接至半导体处理器的对接器件，该对接器件具有探针部位和处理器部位连接器件与移位器件，其允许探针侧连接器件相对于处理器侧连接器件朝向彼此或彼此远离的平移和引导移位。
[0004]文献CN101002363A示出了一种晶片测试组件，该晶片测试组件包括像贴片一样布置的多个探针头基板，其一侧附接到连接器，另一侧支持探针。
[0005]文献US 6377062B1提出了一种浮动接口组件，该浮动接口组件在集成电路测试头与接入要测试的集成电路的探针卡或负载板上的接触焊盘之间提供信号路径。用于接触接触焊盘的弹簧加载引脚或其他接触器被安装在接口组件上，并通过柔性导体链接到测试头。
[0006]文献JP 2017096949A示出了一种探针系统，该探针系统包含可配置的通用探针棒，该探针棒具有多个探针块，该多个探针块包括多个探针销(probe pin)，该多个探针销被定位成与待测器件的多个面板的多个单元接触焊盘同时电接合，以传送多个电测试信号；以及对准系统，该对准系统被配置为将多个探针销与待测器件的多个面板的多个自接触焊盘对准。
[0007]此外，文献WO0073905A2示出了用于电子电路的大规模并行接口。文献US9921266B1示出了用于半导体测试的自动测试设备的一般通用装置接口。文献WO2008070466A2提出了在用于测试半导体器件的系统中共享资源。文献KR200427961Y1示出了用于探测面板的装置中的操纵器。文献JP2013137286A示出了电子部件测试装置。
[0008]尽管如此，仍然需要一种测试DUT的概念，该概念在测试不同DUT的时间效率和成本效率之间提供了改进的折衷。

技术实现思路

[0009]根据本专利技术的实施例提供了一种用于测试一个或多个DUT的自动测试设备，该自动测试设备包括测试头和DUT接口。DUT接口包括多个弹簧加载引脚块，例如弹簧加载引脚的组或场。例如，DUT接口被配置为在测试头与DUT板或负载板之间建立电子信号路径，该DUT板或负载板承托DUT或提供到DUT的连接。该自动测试设备被配置为允许至少两个弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。
[0010]例如，测试头被配置为向DUT接口的弹簧加载引脚发送电信号或从DUT接口的弹簧加载引脚接收电信号，或者在DUT接口的弹簧加载引脚与测试仪器(例如，电信号的源或电信号的测量设备)之间建立电信号路径。例如，DUT接口的弹簧加载引脚可以被配置为接触DUT板的接触焊盘或连接器。
[0011]自动测试设备依赖于如下构思：DUT接口具有多个弹簧加载引脚块，该多个弹簧加载引脚块具有可变距离，该DUT接口在布置弹簧加载引脚块方面提供了高灵活性，从而增强了DUT接口将接触的DUT板的布局或设计的灵活性。弹簧加载引脚提供了用于特别快速地接触DUT板或另一电路板的手段，同时弹簧加载引脚与接触焊盘或连接器之间的电接触仍可非常好。例如，与插头/插座连接相比，在不包括连接的情况下，弹簧加载引脚的相对于要由弹簧加载引脚接触的接触焊盘的中心的位置可以具有相对较大的公差。例如，DUT板可以具有DUT板平面，在该DUT板平面上布置了要由DUT接口接触的触点。弹簧加载引脚的使用可以提供弹簧加载引脚或弹簧加载引脚块相对于DUT板平面的横向对准以及竖直或垂直位置的大的容许公差。例如，横向公差可以由DUT板的接触焊盘的横向大小来限定，而纵向公差可以由弹簧加载引脚的可压缩性来限定。
[0012]通过改变DUT接口的两个弹簧加载引脚块之间的距离，可以使两个弹簧加载引脚块的位置(即DUT接口的布局)适配于DUT板的接触焊盘或连接器的布局或位置。因此，各种不同的DUT板，例如具有不同大小或接触焊盘间距的DUT板可与自动测试设备一起使用。因此，自动测试设备减少了对DUT板设计的约束，从而允许DUT板的灵活设计，而不会为适配或更换自动测试设备而付出过多甚至是高到负担不起的努力。使得测试系统与DUT板之间的连接彼此相距较远，会导致多个DUT(多部位设置)的空间增加，和大量的用于支撑电子部件(例如，继电器、旁路电容器等)的空间。另一方面，将连接器靠得更近使得所需的DUT板更小、更便宜、并且对DUT的走线也更短，从而增强了信号性能。
[0013]允许改变至少两个弹簧加载引脚块之间的距离的自动测试设备，有助于根据DUT板的布局来调整DUT接口的布局，从而在不更换测试头或DUT接口的情况下提供自动化设备对各种DUT板的快速适配。因此，可以节省对于不同测试头或DUT接口的扩展，并且可以准许自动测试设备的省时操作。由于弹簧加载引脚可以提供弹簧加载引脚相对于接触焊盘的定位的公差，因此弹簧加载引脚的使用与弹簧加载引脚块的位置的变化相结合是非常有益的。例如，与使用插头/插座连接相比，通过使用弹簧加载引脚可以降低对弹簧加载引脚块的移动的精度的要求。
[0014]根据本专利技术的方面，弹簧加载引脚的连接器场(field)或块可以被移出或推在一
起以支持不同的要求，例如，成本较低、具有较小部件空间的较小DUT板、或具有更大部件空间的较大DUT板。
[0015]根据实施例，自动测试设备包括两组弹簧加载引脚块，并且自动测试设备被配置为允许第一组弹簧加载引脚块与第二组弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。
[0016]在有两组弹簧加载引脚块的情况下，它们之间的可变距离允许灵活地设计可以共同移动的一组弹簧加载引脚块。一组内的弹簧加载引脚块的共同移动，确保了弹簧加载引脚块的快速且精确的移动。
[0017]根据实施例，第一组弹簧加载引脚块是第一行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于测试一个或多个待测器件的自动测试设备(10；20；30；40；60)，包括：测试头(18；28)；和待测器件接口(11；21；31；41；61)，其中，所述待测器件接口(11；21；31；41；61)包括多个具有弹簧加载引脚(14；24)的弹簧加载引脚块(12；32；33)，其中，所述自动测试设备(10；20；30；40；60)被配置为允许至少两个弹簧加载引脚块(12；32；33)之间的距离(16；26；86；96)发生变化。2.根据权利要求1所述的自动测试设备(10；20；30；40；60)，其中，所述自动测试设备(10；20；30；40；60)包括两组弹簧加载引脚块(23；27；83；87；93；97)，其中，所述自动测试设备(10；20；30；40；60)被配置为允许第一组弹簧加载引脚块(23；83；93)和第二组弹簧加载引脚块(27；87；97)之间的距离(16；26；86；96)发生变化。3.根据权利要求2所述的自动测试设备(10；20；30；40；60)，其中，所述第一组弹簧加载引脚块(23；83；93)是第一行弹簧加载引脚块，其中，所述第二组弹簧加载引脚块(27；87；97)是第二行弹簧加载引脚块，其中，所述第一行弹簧加载引脚块平行于所述第二行弹簧加载引脚块，并且其中，所述自动测试设备(10；20；30；40；60)被配置为允许所述第一行弹簧加载引脚块和所述第二行弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。4.根据权利要求1至3中的一项所述的自动测试设备(10；20；30；40；60)，其中，所述弹簧加载引脚块(12；32；33)通过柔性线缆耦合到所述测试头(18；28)。5.根据权利要求1至4中的一项所述的自动测试设备(10；20；30；60)，其中，使用线性导轨(37；38)来引导至少一个弹簧加载引脚块(12；32；33)，以允许所述至少一个弹簧加载引脚块(12；32；33)发生线性移位。6.根据权利要求1至5中的一项所述的自动测试设备(10；20；30；60)，其中，使用第一线性导轨(37)来引导第一弹簧加载引脚块(32)，并且其中，使用第二线性导轨(38)来引导第二弹簧加载引脚块(33)，以使得能够通过将所述第一弹簧加载引脚块(32)和所述第二弹簧加载引脚块(33)沿着各自的线性导轨(37；38)沿相反方向移位，来改变所述第一弹簧加载引脚块(32)与所述第二弹簧加载引脚块(33)之间的距离。7.根据权利要求1至6中的一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克，
申请(专利权)人：爱德万测试公司，
类型：发明
国别省市：