本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板、花篮主体和两个侧板，所述花篮主体与底板活动连接，两个所述侧板分别与底板的两侧固定连接，两个所述侧板相背的一侧均活动连接有活动推板，所述活动推板远离侧板的一侧固定连接有螺纹环。该硅片清洗用花篮固定装置，将花篮放置到底板上，通过旋转调节旋钮带动螺纹柱在螺纹环的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环和活动推板向靠近花篮主体的一侧移动，推动导向杆和定位套向靠近花篮主体的一侧移动，使得定位套套在定位柱的表面，通过定位套和定位柱的作用，便于对花篮主体的位置进行定位固定，使得该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗用花篮固定装置
[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种硅片清洗用花篮固定装置。
技术介绍
[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，在对硅片进行清洗时需要使用到硅片花篮来对硅片进行存放。
[0003]传统的硅片在进行清洗的过程中，通常是将装有硅片的花篮放置到清洗装置的内部进行清洗，在清洗的过程中花篮简单放置到清洗装置的内部，使得花篮在清洗的过程中固定效果不是很好，在清洗时可能会导致花篮的位置出现偏移，为此我们提出了一种硅片清洗用花篮固定装置。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片清洗用花篮固定装置，具备便于对花篮的位置进行固定，防止在清洗的过程中硅片花篮的位置出现移动的优点，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板、花篮主体和两个侧板，所述花篮主体与底板活动连接，两个所述侧板分别与底板的两侧固定连接，两个所述侧板相背的一侧均活动连接有活动推板，所述活动推板远离侧板的一侧固定连接有螺纹环，所述螺纹环的内部螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的一端固定连接有调节旋钮，所述螺纹柱远离调节旋钮的一端与侧板的内部活动连接，所述活动推板的一侧固定连接有导向杆，所述导向杆远离活动推板的一端固定连接有定位套，所述花篮主体的两侧均固定连接有定位柱，所述定位套与定位柱的侧表面套接。
[0008]优选的，所述螺纹柱远离调节旋钮的一端固定连接有限位圆盘，所述侧板的内部开设有圆槽，所述限位圆盘与圆槽的内部活动连接。
[0009]优选的，所述侧板的内部开设有导向槽，所述导向杆的侧表面与导向槽的内部活动插接。
[0010]优选的，两个所述侧板相对的一侧均固定连接有限位板，所述花篮主体的两侧均固定连接有限位块，所述限位块与限位板的内部活动连接。
[0011]优选的，所述花篮主体包括有两个提拉把手，两个所述提拉把手分别与花篮主体正面的两侧固定连接。
[0012]优选的，所述调节旋钮的侧表面设置有凸起结构。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种硅片清洗用花篮固定装置，具备以下有益效果：
[0014]1、该硅片清洗用花篮固定装置，将花篮放置到底板上，通过旋转调节旋钮带动螺纹柱在螺纹环的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环和活动推板向靠近花篮主体的一侧移动，推动导向杆和定位套向靠近花篮主体的一侧移动，使得定位套套在定位柱的表面，通过定位套和定位柱的作用，便于对花篮主体的位置进行定位固定，使得该装置达到了便于对花篮进行固定的效果。
[0015]2、该硅片清洗用花篮固定装置，通过设置有限位块和限位板，在将花篮主体放置到底板内部的过程中，限位块会插接到限位板的内部，通过限位块和限位板的作用可以初步对花篮主体的位置进行限位。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中A处结构放大图；
[0018]图3为本技术图1中B处结构放大图。
[0019]其中：1、底板；2、花篮主体；3、侧板；4、活动推板；5、螺纹环；6、螺纹柱；7、调节旋钮；8、限位圆盘；9、导向杆；10、定位套；11、定位柱；12、导向槽；13、限位块；14、限位板；15、提拉把手。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
3，一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板1、花篮主体2和两个侧板3，花篮主体2与底板1活动连接，两个侧板3分别与底板1的两侧固定连接，两个侧板3相背的一侧均活动连接有活动推板4，活动推板4远离侧板3的一侧固定连接有螺纹环5，螺纹环5的内部螺纹连接有螺纹柱6，螺纹柱6的一端固定连接有调节旋钮7，螺纹柱6远离调节旋钮7的一端与侧板3的内部活动连接，调节旋钮7的侧表面设置有凸起结构，通过凸起结构的设置，增大了手与调节旋钮7之间的摩擦力，从而便于对调节旋钮7进行转动，螺纹柱6远离调节旋钮7的一端固定连接有限位圆盘8，侧板3的内部开设有圆槽，限位圆盘8与圆槽的内部活动连接，通过限位圆盘8的作用，使使得螺纹柱6的一端可以通过限位圆盘8在侧板3的内部旋转，活动推板4的一侧固定连接有导向杆9，导向杆9远离活动推板4的一端固定连接有定位套10，花篮主体2的两侧均固定连接有定位柱11，定位套10与定位柱11的侧表面套接，侧板3的内部开设有导向槽12，导向杆9的侧表面与导向槽12的内部活动插接，导向杆9可以在导向槽12的内部左右移动，两个侧板3相对的一侧均固定连接有限位板14，花篮主体2的两侧均固定连接有限位块13，限位块13与限位板14的内部活动连接，花篮主体2包括有两个提拉把手15，两个提拉把手15分别与花篮主体2正面的两侧固定连接，通过提拉把手15的作用便于将花篮主体2从装置的内部提起。
[0022]在使用时，将花篮放置到底板1上，在放置的过程中限位块13会插接到限位板14的内部，通过限位块13和限位板14的作用可以初步对花篮主体2的位置进行限位，通过旋转调
节旋钮7带动螺纹柱6在螺纹环5的内部转动，在螺纹的作用下使得螺纹环5和活动推板4向靠近花篮主体2的一侧移动，推动导向杆9和定位套10向靠近花篮主体2的一侧移动，使得定位套10套在定位柱11的表面，通过定位套10和定位柱11的作用，便于对花篮主体2的位置进行定位固定。
[0023]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗用花篮固定装置，包括底板(1)、花篮主体(2)和两个侧板(3)，其特征在于：所述花篮主体(2)与底板(1)活动连接，两个所述侧板(3)分别与底板(1)的两侧固定连接，两个所述侧板(3)相背的一侧均活动连接有活动推板(4)，所述活动推板(4)远离侧板(3)的一侧固定连接有螺纹环(5)，所述螺纹环(5)的内部螺纹连接有螺纹柱(6)，所述螺纹柱(6)的一端固定连接有调节旋钮(7)，所述螺纹柱(6)远离调节旋钮(7)的一端与侧板(3)的内部活动连接，所述活动推板(4)的一侧固定连接有导向杆(9)，所述导向杆(9)远离活动推板(4)的一端固定连接有定位套(10)，所述花篮主体(2)的两侧均固定连接有定位柱(11)，所述定位套(10)与定位柱(11)的侧表面套接。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用花篮固定装置，其特征在于：所述螺纹柱(6)远离调节旋钮(7)的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋，沈国君，陆勇，刘太盛，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。