【技术实现步骤摘要】
一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管
[0001]本技术涉及一种石英管,尤其是涉及一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管。
技术介绍
[0002]扩散炉是太阳能电池生产中必需的一种设备,用于电池片的扩散处理。扩散炉中设有用于扩散气体的石英管,由于现有的扩散炉的内腔体积不断扩大,现有石英管的扩散均匀性不佳,炉内气体的浓度分布不均匀,不利于电池片的扩散效果。
技术实现思路
[0003]本技术提供了一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管;解决现有技术中存在扩散不均的问题。
[0004]本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管,其特征在于:包括有内柱体和套设在内柱体外部的外管体,内柱体和外管体均为石英材质,外管体的一端为开口设置,而另一端为闭合设置,内柱体与外管体之间连接有石英结点,石英结点用于连接固定内柱体和外管体,外管体上开设有若干贯通管体的扩散孔,外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度。
[0005]本技术整体位于扩散炉内,外管体上开口一端与供气端口连接,气体流经内柱体与外管体之间的空腔,最后从扩散孔流出。外管体两端的扩散孔分布密度大于外管体中部的分布密度,这样设计有利于气体均匀的充满扩散炉,有利于电池片的扩散反应。同时内柱体加外管体的结构具有更好的抗弯强度,自身的长度尺寸可以做得更大。
[0006]作为优选,所述外管体的长度为1.5~2.5米。外管体的长度具体要与扩散炉内腔长度尺寸匹配。
[0007]作为优选,所述外管体两端的扩 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种改善扩散均匀性的大尺寸石英管,其特征在于:包括有内柱体(1)和套设在内柱体(1)外部的外管体(2),内柱体(1)和外管体(2)均为石英材质,外管体(2)的一端为开口设置,而另一端为闭合设置,内柱体(1)与外管体(2)之间连接有石英结点(3),外管体(2)上开设有若干贯通管体的扩散孔(4),外管体(2)两端的扩散孔(4)分布密度大于外管体(2)中部的分布密度。2.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管,其特征在于:所述外管体(2)的长度为1.5~2.5米。3.根据权利要求1或2所述的改善扩散均匀性的大尺寸石英管,其特征在于:所述外管体(2)两端的扩散孔(4)分布密度为10~50个/米,外管体(2)中部的扩散孔(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴慧敏,陈刚,
申请(专利权)人:浙江爱旭太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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