一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，包括多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片、卡箍在石墨拱门连接件和第一碳碳连接片上、下端的上卡箍及下卡箍；所述多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片构成圆环状结构，所述石墨拱门连接件上开设有排气孔。本实用新型专利技术采用多个石墨拱门连接件与若干第一碳碳连接片拼接成的下保温筒，石墨拱门连接件上设置有排气孔，排气孔位置处采用整体石墨拱门连接件代替碳碳材料上所具有的排气孔，可以有效的增加整体结构强度，提高零件的寿命。提高零件的寿命。提高零件的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒


[0001]本技术属于单晶炉保温筒
，具体涉及一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒。

技术介绍

[0002]单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备。在单晶炉中设置有保温筒，其为单晶炉内部热场的重要组成部分，为石墨材质，一般在保温筒外侧面裹有一定厚度的碳毡用于对单晶炉内的热场进行保温，依据其所处热场的位置不同而分为上、中、下三种保温筒。
[0003]其中，下保温筒设置在靠近单晶炉炉底的部位，位于热场的下部，其侧壁需要开设排气孔，需要不断的将热场中的高温气流从排气孔排出，但是，开设排气孔的设置会大大降低整体结构强度，由于此处腐蚀最为严重，开孔位置处容易断裂。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，以解决
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，包括多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片、卡箍在石墨拱门连接件和第一碳碳连接片上、下端的上卡箍及下卡箍；所述多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片构成圆环状结构，所述石墨拱门连接件上开设有排气孔。
[0006]进一步的，所述排气孔开设为拱门形状。
[0007]进一步的，多个所述石墨拱门连接件均匀布置在若干第一碳碳连接片之间。
[0008]优选的，所述石墨拱门连接件的个数为4个。
[0009]进一步的，所述下卡箍的下方还设置有若干第二碳碳连接片，若干所述第二碳碳连接片下方设置有底部卡箍。
[0010]优选的，若干所述第二碳碳连接片在所述石墨拱门连接件正下方位置处具有与石墨拱门连接件的排气孔同样宽度的缺口，所述底部卡箍在缺口位置处设置为断开状态。
[0011]进一步的，所述上卡箍为圆环状，所述下卡箍在排气孔位置处设置为断开状态。
[0012]进一步的，所述上卡箍的下端面设置有供多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片插接的下插槽。
[0013]优选的，所述下卡箍的上端面设置有供多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片插接的上插槽及供多干第二碳碳连接片插接的下插槽。
[0014]优选的，所述底部卡箍的上端面具有供第二碳碳连接片插接的上插槽。
[0015]本技术的上述技术方案的有益效果如下：本技术采用多个石墨拱门连接件与若干第一碳碳连接片拼接成的下保温筒，石墨拱门连接件上设置有排气孔，排气孔位置处采用整体石墨拱门连接件代替碳碳材料上所具有的排气孔，可以有效的增加整体结构强度，提高零件的寿命，本技术通过采用石墨材料制成了一个石墨拱门连接件，与其他
碳碳结构的零件组合成保温筒，可以显著的增加结构强度，实现提高了下保温筒的使用寿命1倍以上，同时，降低了使用成本。
附图说明
[0016]图1为本技术的实施例1的结构示意图；
[0017]图2为本技术的实施例2的结构示意图。
[0018]附图标记说明：1、石墨拱门连接件；2、第一碳碳连接片；3、上卡箍；4、下卡箍；5、排气孔；6、第二碳碳连接片；7、底部卡箍；8、缺口。
具体实施方式
[0019]为使本技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应作为广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]实施例1
[0023]如图1所示，一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，包括多个石墨拱门连接件1、若干第一碳碳连接片2、卡箍在石墨拱门连接件1和第一碳碳连接片2上、下端的上卡箍3及下卡箍4；所述多个石墨拱门连接件1、若干第一碳碳连接片2构成圆环状结构，所述石墨拱门连接件1上开设有排气孔5。本技术采用多个石墨拱门连接件1与若干第一碳碳连接片2拼接成的下保温筒，石墨拱门连接件1上设置有排气孔5，排气孔5位置处采用整体石墨拱门连接件1代替碳碳材料上具有排气孔5，可以有效的增加整体结构强度，提高零件的寿命。
[0024]在本实施例中，所述排气孔5开设为拱门形状。
[0025]在本实施例中，多个所述石墨拱门连接件1均匀布置在若干第一碳碳连接片2之间，整个结构更加稳定。
[0026]优选的，所述石墨拱门连接件1的个数为4个。
[0027]在本实施例中，所述上卡箍3为圆环状，所述下卡箍4在排气孔5位置处设置为断开状态。
[0028]在本实施例中，所述上卡箍3的下端面设置有供多个石墨拱门连接件1、若干第一碳碳连接片2插接的下插槽。优选的，第一碳碳连接片2与下卡箍4及上卡箍3连接后可通过碳碳螺栓进行位置锁定。
[0029]实施例2
[0030]实施例2与实施例1的不同之处在于，如图2所示，所述下卡箍4的下方还设置有若干第二碳碳连接片6，若干所述第二碳碳连接片6下方设置有底部卡箍7，通过设置有第二碳碳连接,6，可以根据需要增加整个下保温筒的高度，适用性更广。
[0031]优选的，若干所述第二碳碳连接片6在所述石墨拱门连接件1正下方位置处具有与石墨拱门连接件1的排气孔5同样宽度的缺口，所述底部卡箍7在缺口位置处设置为断开状态。
[0032]优选的，所述下卡箍4的上端面设置有供多个石墨拱门连接件2、若干第一碳碳连接片3插接的上插槽及供多干第二碳碳连接片6插接的下插槽。优选的，所述底部卡箍7的上端面具有供第二碳碳连接片6插接的上插槽。上卡箍3、下卡箍4及底部卡箍7上均设置有插槽，通过插槽式的连接方式进行整个下保温筒的连接，安装方便。优选的，第二碳碳连接片6与下卡箍4及底部卡箍7连接后可通过碳碳螺栓进行位置锁定。
[0033]在本技术中，上卡箍3、下卡箍4及底部卡箍可采用碳碳材料制成。
[0034]以上所述是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，其特征在于，包括多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片、卡箍在石墨拱门连接件和第一碳碳连接片上、下端的上卡箍及下卡箍；所述多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片构成圆环状结构，所述石墨拱门连接件上开设有排气孔。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，其特征在于，所述排气孔开设为拱门形状。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，其特征在于，多个所述石墨拱门连接件均匀布置在若干第一碳碳连接片之间。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，其特征在于，所述石墨拱门连接件的个数为4个。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒，其特征在于，所述下卡箍的下方还设置有若干第二碳碳连接片，若干所述第二碳碳连接片下方设置有底部卡箍。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉用耐腐...

【专利技术属性】
技术研发人员：申富强，申富胜，
申请(专利权)人：安顿雷纳新材料江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：