高纯度液体氯硅烷取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了高纯度液体氯硅烷取样装置，包括取样器和处理池，取样器的外部设置有处理池，取样器包括支撑座和储液盒，支撑座的顶部固定安装有储液盒，且储液盒的顶部设置有取样口，取样口的端部连接有吸液管，且吸液管的外侧安装有第一控制阀，取样口的外部分别安装有氮气通入管和尾气排放管，此液体氯硅烷取样装置通过取样口与储液盒的快速卡接便于对储液盒的快速更换，通过刻度线与透明观察窗的配合设置便于控制取样量，避免了过量取样多少导致再次取样的情况，同时也避免了因过量取样造成对氯硅烷的浪费，通过处理池的设置便于对尾气进行处理，避免了尾气排出对环境造成污染。染。染。

【技术实现步骤摘要】
高纯度液体氯硅烷取样装置


[0001]本技术涉及取样装置
，具体为高纯度液体氯硅烷取样装置。

技术介绍

[0002]氯硅烷是多晶硅生产领域中主要的中间过程化工物料,主要包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅,在常温下常压下呈现液体状态，对液体氯硅烷进行检测分析时需要对其进行取样。
[0003]目前对液体氯硅烷进行取样完成后管道内会粘附有一定量的液体氯硅烷，而管路内的液体氯硅烷的长期堆积对管路造成很大的腐蚀，降低了管路的使用寿命，为了避免液体氯硅烷对管道的腐蚀，现有液体氯硅烷取样装置在进行取样后，一般直接向管路内通入氮气进行风干，而管路内排出的气体对环境造成较大的污染，现有的液体氯硅烷取样中难以控制取样的量，导致取样量少难以观察，取样量过多造成对液体氯硅烷的浪费，且现有液体氯硅烷取样装置的取样盒不便于更换，为此，我们提出高纯度液体氯硅烷取样装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供高纯度液体氯硅烷取样装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：高纯度液体氯硅烷取样装置，包括取样器和处理池，所述取样器的外部设置有处理池，所述取样器包括支撑座和储液盒，所述支撑座的顶部固定安装有储液盒，且储液盒的顶部设置有取样口，所述取样口的端部连接有吸液管，且吸液管的外侧安装有第一控制阀，所述取样口的外部分别安装有氮气通入管和尾气排放管，且氮气通入管和尾气排放管的外侧分别安装有第二控制阀和第三控制阀，所述尾气排放管的端部伸入处理池内部。
[0006]优选的，所述储液盒内滑动连接有活塞板，且活塞板的底部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的端部穿过储液盒，所述储液盒位于支撑座内部的一侧通过轴承转动连接有螺纹筒，所述螺纹杆螺纹连接在螺纹筒内部，所述螺纹筒外侧安装有齿圈，所述支撑座内固定安装微型电机，且微型电机的输出轴端部安装有齿轮，所述齿轮与齿圈啮合连接，所述支撑座内开设有调节通道，所述螺纹杆配合连接在调节通道内部。
[0007]优选的，所述储液盒的表面设置有竖直方向的刻度线，且储液盒的外侧设置有竖直方向的透明观察窗。
[0008]优选的，所述储液盒的顶部开设有固定槽，所述取样口的底部两端均设置有凸板，所述凸板内对称设置有凹槽，且凹槽内均固定有弹簧，所述储液盒顶部的固定槽内壁对称开设有水平方向的卡槽，所述弹簧的端部固定有卡块，且卡块的端部卡接在卡槽内部，所述储液盒对应两侧壁的顶端均通过固定架滑动设置有推杆，且推杆的端部伸入卡槽内部与卡块接触。
[0009]优选的，所述凸板的底部嵌入安装有密封圈，且密封圈与储液盒的顶部紧密接触。
[0010]优选的，所述尾气排放管位于处理池内部的一段成L形结构，所述尾气排放管位于处理池内部低端的一段等距设置有尾气出口。
[0011]优选的，所述支撑座内位于调节通道的外部安装有蓄电池，且支撑座的低端设置有USB接口。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术在进行取样前，控制活塞板处于储液盒内部的顶端，控制第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀处于打开的状态，通过氮气通入管通入氮气对管路进行吹扫，控制吹扫时间两分钟，使管路内的空气全部排出，保证了对液体氯硅烷取样的高纯度，避免了在对液体氯硅烷取样时，因管路内存在空气，造成液体氯硅烷与空气反应产生腐蚀性气体氯化氢及凝胶水解物，存在较大危险性的情况。
[0014]2、本技术通过取样口与储液盒的快速卡接便于对储液盒的快速更换，通过刻度线与透明观察窗的配合设置便于控制取样量，避免了过量取样多少导致再次取样的情况，同时也避免了因过量取样造成对氯硅烷的浪费，通过处理池的设置便于对尾气进行处理，避免了尾气排出对环境造成污染。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体内部连接结构示意图；
[0016]图2为本技术的A处放大图结构示意图；
[0017]图3为本技术的B处放大图结构示意图。
[0018]图中：1、取样器；2、处理池；3、支撑座；4、储液盒；5、透明观察窗；6、刻度线；7、取样口；8、吸液管；9、第一控制阀；10、氮气通入管；11、第二控制阀；12、尾气排放管；13、第三控制阀；14、蓄电池；15、USB接口；16、活塞板；17、螺纹筒；18、齿圈；19、微型电机；20、齿轮；21、调节通道；22、螺纹杆；23、凸板；24、弹簧；25、卡块；26、推杆。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：高纯度液体氯硅烷取样装置，包括取样器1和处理池2，所述取样器1的外部设置有处理池2，所述取样器1包括支撑座3和储液盒4，所述支撑座3的顶部固定安装有储液盒4，且储液盒4的顶部设置有取样口7，通过处理池2的设置便于对尾气进行处理，避免了尾气排出对环境造成污染，处理池2内部储存有与尾气反应的液体物质，通过储液盒4便于对取样的液体氯硅烷进行存储，通过取样口7便于对液体氯硅烷进行取样；
[0021]请参阅图1，所述取样口7的端部连接有吸液管8，且吸液管8的外侧安装有第一控制阀9，所述取样口7的外部分别安装有氮气通入管10和尾气排放管12，且氮气通入管10和尾气排放管12的外侧分别安装有第二控制阀11和第三控制阀13，所述尾气排放管12的端部伸入处理池2内部，吸液管8便于对液体氯硅烷进行取样，通过第二控制阀11和第三控制阀
13能够控制氮气通入管10和尾气排放管12的通断；
[0022]需要说明的是，在进行取样前，控制活塞板16处于储液盒4内部的顶端，控制第一控制阀9、第二控制阀11和第三控制阀13处于打开的状态，通过氮气通入管10通入氮气对管路进行吹扫，控制吹扫时间两分钟，使管路内的空气全部排出，保证了对液体氯硅烷取样的高纯度，避免了在对液体氯硅烷取样时，因管路内存在空气，造成液体氯硅烷与空气反应产生腐蚀性气体氯化氢及凝胶水解物，存在较大危险性的情况。
[0023]请参阅图1和图2，所述储液盒4内滑动连接有活塞板16，且活塞板16的底部转动连接有螺纹杆22，所述螺纹杆22的端部穿过储液盒4，所述储液盒4位于支撑座3内部的一侧通过轴承转动连接有螺纹筒17，所述螺纹杆22螺纹连接在螺纹筒17内部；
[0024]其中，通过设置了活塞板16便于对液体氯硅烷的取样，通过螺纹杆22与螺纹筒17的螺纹连接，在螺纹筒17转动时，实现螺纹杆22的升降，通过螺纹杆22的升降能够带动活塞板16的升降，从而实现对液体的取样或对取样后液体的排出；
[0025]请参阅图2，所述螺纹筒17外侧安装有齿圈本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高纯度液体氯硅烷取样装置，包括取样器（1）和处理池（2），所述取样器（1）的外部设置有处理池（2），其特征在于：所述取样器（1）包括支撑座（3）和储液盒（4），所述支撑座（3）的顶部固定安装有储液盒（4），且储液盒（4）的顶部设置有取样口（7），所述取样口（7）的端部连接有吸液管（8），且吸液管（8）的外侧安装有第一控制阀（9），所述取样口（7）的外部分别安装有氮气通入管（10）和尾气排放管（12），且氮气通入管（10）和尾气排放管（12）的外侧分别安装有第二控制阀（11）和第三控制阀（13），所述尾气排放管（12）的端部伸入处理池（2）内部。2.根据权利要求1所述的高纯度液体氯硅烷取样装置，其特征在于：所述储液盒（4）内滑动连接有活塞板（16），且活塞板（16）的底部转动连接有螺纹杆（22），所述螺纹杆（22）的端部穿过储液盒（4），所述储液盒（4）位于支撑座（3）内部的一侧通过轴承转动连接有螺纹筒（17），所述螺纹杆（22）螺纹连接在螺纹筒（17）内部，所述螺纹筒（17）外侧安装有齿圈（18），所述支撑座（3）内固定安装微型电机（19），且微型电机（19）的输出轴端部安装有齿轮（20），所述齿轮（20）与齿圈（18）啮合连接，所述支撑座（3）内开设有调节通道（21），所述螺纹杆（22）配合连接在调节通道（21）内部。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：饶平，罗全安，何寿林，
申请(专利权)人：武汉新硅科技潜江有限公司，
类型：新型
国别省市：