低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。间使另一个低温泵减压至第1基准压力。间使另一个低温泵减压至第1基准压力。

【技术实现步骤摘要】
低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法
[0001]本申请主张基于2020年3月26申请的日本专利申请第2020
‑
056300号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。

技术介绍

[0003]低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板上并进行排出的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵为所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。
[0004]专利文献1：日本特开2013
‑
60853号公报

技术实现思路

[0005]本专利技术的一种实施方式的示例性目的之一在于缩短低温泵系统的再生时间。
[0006]根据本专利技术的一种实施方式，低温泵系统具备：多个低温泵，其各个低温泵具备将该低温泵连接于共用的粗抽泵的粗抽阀和测定该低温泵内的压力的压力传感器；以及控制器，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀，以使粗抽泵将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。
[0007]根据本专利技术的一种实施方式，提供一种低温泵系统的控制装置。低温泵系统具备连接于共用的粗抽泵的多个低温泵。控制装置具备控制器，该控制器构成为，使粗抽泵将多个低温泵依次减压至第1基准压力，并使减压至第1基准压力的低温泵真空保持，接着使粗抽泵将多个低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器构成为，在将多个低温泵中的某一个低温泵真空保持的期间，使另一个低温泵减压至第1基准压力。
[0008]根据本专利技术的一种实施方式，提供一种低温泵系统的再生方法。低温泵系统具备连接于粗抽泵的多个低温泵。再生方法具备如下步骤：利用粗抽泵将多个低温泵依次减压至第1基准压力；将减压至第1基准压力的低温泵真空保持；以及使用粗抽泵将多个低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。减压至第1基准压力包括在将多个低温泵中的某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。
[0009]另外，以上构成要件的任意组合或将本专利技术的构成要件或表述在方法、装置、系统等之间彼此替换的方式也作为本专利技术的实施方式而有效。
[0010]根据本专利技术，能够缩短低温泵系统的再生时间。
附图说明
[0011]图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵系统的图。
[0012]图2是概略地表示图1所示的低温泵系统的低温泵的图。
[0013]图3是用于说明实施方式所涉及的低温泵系统的再生方法的流程图。
[0014]图4是表示实施方式所涉及的等待顺序列表的一例的图。
[0015]图5是表示图3所示的第1减压工序的一例的流程图。
[0016]图6是表示图3所示的第2减压工序的一例的流程图。
[0017]图7中(a)至(d)是表示用粗抽泵对低温泵进行减压时的压力的经时变化的曲线图。
[0018]图8中(a)至(c)是表示用粗抽泵对低温泵进行减压时的压力的经时变化的曲线图。
[0019]图中：10
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低温泵，20
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控制器，22
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压力传感器，23
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温度传感器，24
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粗抽阀，32
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粗抽泵，41
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第1等待顺序列表，42
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第2等待顺序列表，100
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低温泵系统。
具体实施方式
[0020]以下，参考附图，对本专利技术的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注同一符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在各附图中，适当设定各部分的比例或形状，除非另有说明，其并不作限定性地解释。实施方式为示例，其对本专利技术的范围并不作任何限定。实施方式中记载的所有特征或其组合并非一定是专利技术的本质。
[0021]图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵系统的图。图2是概略地表示图1所示的低温泵系统的低温泵的图。
[0022]低温泵系统100具备多个低温泵10和控制这些低温泵10的控制器20。低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射装置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并且用于将真空腔室内部的真空度提高至所期望的真空工艺中要求的水平。例如，在真空腔室中实现10
‑5Pa至10
‑8Pa程度的高真空度。控制器20构成为与多个低温泵10分体的控制装置。或者，可以在各个低温泵10上一体地设置控制器并且这些多个控制器组合而构成控制器20。
[0023]在图1所示例子中，低温泵系统100由四台低温泵10构成，但是，低温泵10的数量并不受特别限定。这些多个低温泵可以分别设置于单独的真空腔室上，也可设置于同一个真空腔室上。
[0024]如图2所示，低温泵10具备压缩机12、制冷机14、低温泵容器16及低温板18。并且，低温泵10还具备压力传感器22、粗抽阀24、吹扫阀26及通气阀28，这些阀设置于低温泵容器16上。
[0025]压缩机12构成为从制冷机14回收制冷剂气体，并将回收的制冷剂气体进行升压后再次将制冷剂气体供给到制冷机14。制冷机14还被称为膨胀机或冷头，其与压缩机12一同构成超低温制冷机。压缩机12与制冷机14之间的制冷剂气体的循环伴随制冷机14内的制冷剂气体的适当的压力变动和容积变动，由此构成产生寒冷的热力学循环，制冷机14的冷却台被冷却至所期望的超低温。由此，能够将与制冷机14的冷却台热连接的低温板18冷却至目标冷却温度(例如10K～20K)。制冷剂气体通常为氦气，但也可使用其他适当的气体。为了
便于理解，图2中用箭头来表示制冷剂气体的流动方向。作为一例，超低温制冷机为二级式的吉福特
‑
麦克马洪(Gifford
‑
McMahon；GM)制冷机，但也可以为脉冲管制冷机、斯特林制冷机或其他类型的超低温制冷机。
[0026]低温泵容器16是被设计成在低温泵10的真空排气运行中保持真空并且能够承受周围环境的压力(例如大气压)的真空容器。低温泵容器16具备具有吸气口17的低温板容纳部16a和制冷机容纳部16b。低温板容纳部16a具有吸气口17被开放且其相反侧侧被封闭的圆顶状的形状，低温板18与制冷机14的冷却台一同容纳于其内部。制冷机容纳部16b具有圆筒状的形状，其一端固定于制冷机14的室温部，另一端连接于低温板容纳部16a，并在其内部插入有制冷机14。吸气口17经由闸阀(未图示)连接于真空处理装置的真空腔室。从低温泵10的吸气口17进入的气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵系统，其特征在于，具备：多个低温泵，其各个低温泵具备将该低温泵连接于共用的粗抽泵的粗抽阀和测定该低温泵内的压力的压力传感器；以及控制器，针对所述各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀，以使所述粗抽泵将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比所述第1基准压力更低的第2基准压力，所述控制器构成为，根据所述多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀打开，以便在将所述某一个低温泵真空保持的期间使所述另一个低温泵减压至所述第1基准压力。2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，所述控制器构成为，将所述某一个低温泵的压力传感器的测定压力与所述第1基准压力进行比较，并在所述测定压力低于所述第1基准压力时，使所述另一个低温泵的粗抽阀打开。3.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，所述控制器具备确定所述多个低温泵使用所述粗抽泵的顺序的第1等待顺序列表，并且所述控制器构成为，按照所述第1等待顺序列表选择所述某一个低温泵，并且选择所述第1等待顺序列表中的所述某一个低温泵的下一个低温泵作为所述另一个低温泵。4.根据权利要求3所述的低温泵系统，其特征在于，所述控制器构成为，根据所述多个低温泵的升温完成顺序来确定所述第1等待顺序列表，并且，各个低温泵具备测定所述低温泵内的温度的温度传感器，所述控制器构成为，将由该低温泵的温度传感器测定的测定温度与再生温度进行比较，并在所述测定温度超过了所述再生温度时，判定为对该低温泵完成了升温。5.根据权利要求3或4所述的低温泵系统，其特征在于，所述控制器具备确定所述多个低温泵使用所述粗抽泵的顺序的不同于所述第1等待顺序列表的第2等待顺序列表，所述控制器按照所述第2等待顺序列表来选择所述多个低温泵中的一个低温泵，并根据由所选择的低温泵的压力传感器测定的测定压力来控制所选择的低温泵的粗抽阀，以便将所选择的低温泵减压至所述第2基准压力并将其真空保持，接着将所选择的低温泵10进一步减压至比所述第2基准压力低的第3基...

【专利技术属性】
技术研发人员：五反田修平，髙桥走，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：