本实用新型专利技术涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其包括第一散热块和第二散热块，第一散热块和第二散热块之间固定设有第三散热块，第一散热块、第二散热块和第三散热块的内部分别设有用于散热通水的过水槽，第一散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一进水接口，第二散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一出水接口，第一散热块内的过水槽和第二散热块内的过水槽之间还设有用于连通的连接管，第三散热块的两侧分别设有与其内过水槽连通的第二进水接口和第二出水接口，其不仅结构简单，所需成本低，且降温效果好，恒温性优，操作性强，可以满足市场需求。需求。需求。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置
[0001]本技术涉及显影机
，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，光刻和显影是两个重要的步骤，显影过程在显影机上完成，显影过程就是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分取出或保留下来的过程，显影的基本过程是：对准曝光(光刻机)
→
曝光后烘
→
显影
→
坚膜
→
显影检测。
[0003]而匀胶显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23度左右，因此对胶水的温度要求也相对精准，现有技术中对胶水进行降温散热的方式主要是通过水泵配合散热块进行降温，但是现有的散热块采用的是浇筑铝制作工艺，其内水管制作难度大，且浇筑成本太高，降温效果一般，在生产量小的情况下，浇筑成型的方式不具备操作性，无法满足市场需求。
技术实现思路
[0004]为了克服上述技术缺陷，本技术的目的是提供一种结构简单，所需成本低，降温效果好，恒温性优，操作性强，可以满足市场需求的光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：
[0006]一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，包括第一散热块和第二散热块，所述第一散热块和第二散热块之间固定设有第三散热块，所述第一散热块、第二散热块和所述第三散热块的内部分别设有用于散热通水的过水槽，所述第一散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一进水接口，所述第二散热块的一侧设有与其内过水槽连通的第一出水接口，所述第一散热块内的过水槽和第二散热块内的过水槽之间还设有用于连通的连接管，所述第三散热块的两侧分别设有与其内过水槽连通的第二进水接口和第二出水接口。
[0007]进一步的，所述第一散热块和第二散热块与所述第三散热块之间分别固定设有制冷片。
[0008]进一步的，所述第三散热块装有所述第二出水接口的一侧上还安装有温度传感器。
[0009]进一步的，所述第一散热块上还设有用于安装所述连接管的第一连接孔，所述第二散热块上还设有用于安装所述连接管的第二连接孔。
[0010]进一步的，所述连接管分别与所述第一连接孔和所述第二连接孔连接的两端分别设有密封圈。
[0011]进一步的，所述第一散热块、第二散热块和所述第三散热块上分别设有多个便于其固定连接的定位安装孔。
[0012]进一步的，所述第一散热块、第二散热块和所述第三散热块内的所述过水槽分别呈“S”形分布。
[0013]综上所述，本技术的优点是：该散热装置，把第一散热块、第二散热块和第三散热块改为一体式，省略了水管制作过程，结构简单；采用连接管将第一散热块内的过水槽和第二散热块内的过水槽连接，且在两连接处设有密封圈，在保证密封性的同时降低了成本；三个散热块内分别设有呈“S”形的过水槽，大大提高了散热降温的效果，恒温性优，操作性强，可以满足市场需求。
附图说明
[0014]图1是本技术一实施例的结构示意图；
[0015]图2是本技术一实施例的爆炸结构示意图；
[0016]图3是本技术中第一散热块的结构侧视示意图；
[0017]图4是图3中沿A
‑
A线的剖视示意图；
[0018]图5是技术中第二散热块的结构侧视示意图；
[0019]图6是图3中沿B
‑
B线的剖视示意图；
[0020]图7是技术中第三散热块的结构侧视示意图；
[0021]图8是图3中沿C
‑
C线的剖视示意图；
[0022]其中，1、第一散热块，2、第二散热块，3、第三散热块，4、连接管，5、第一进水接口，6、第一出水接口，7、第二进水接口，8、第二出水接口，9、制冷片，10、密封圈，11、温度传感器，12、第一连接孔，13、过水槽，14、第二连接孔，15、定位安装孔。
具体实施方式
[0023]下面将结合附图以及具体实施方式对技术作进一步的说明：
[0024]如图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7和图8所示，一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，包括第一散热块1和第二散热块2，所述第一散热块1和第二散热块2之间固定设有第三散热块3，所述第一散热块1、第二散热块2和所述第三散热块3的内部分别设有用于散热通水的过水槽13，所述第一散热块1的一侧设有与其内过水槽13连通的第一进水接口5，所述第二散热块2的一侧设有与其内过水槽13连通的第一出水接口6，所述第一散热块1内的过水槽13和第二散热块2内的过水槽13之间还设有用于连通的连接管4，所述第三散热块3的两侧分别设有与其内过水槽13连通的第二进水接口7和第二出水接口8。
[0025]其中，所述第一散热块1和第二散热块2与所述第三散热块3之间分别固定设有制冷片9。
[0026]其中，所述第三散热块3装有所述第二出水接口8的一侧上还安装有温度传感器11，其可以精准的控制散热水的温度，大大提高了降温的效果。
[0027]其中，所述第一散热块1上还设有用于安装所述连接管4的第一连接孔12，所述第二散热块2上还设有用于安装所述连接管4的第二连接孔14，改变了原有的将水管焊接的方式，降低了其制造成本。
[0028]其中，所述连接管4分别与所述第一连接孔12和所述第二连接孔14连接的两端分别设有密封圈10。提高了其密封性能，使其内的散热水恒温性更优。
[0029]其中，所述第一散热块1、第二散热块2和所述第三散热块3上分别设有多个便于其固定连接的定位安装孔15，通过定位安装孔15将第一散热块1、第二散热块2和所述第三散
热块3进行固定连接安装，降低了成本，且结构简单。
[0030]其中，所述第一散热块1、第二散热块2和所述第三散热块3内的所述过水槽13分别呈“S”形分布。该设计不仅提高了降温效果，且恒温性优。
[0031]在对光刻胶匀胶显影机用的胶水进行降温散热时，散热水从第二散热块2一侧的第二进水接口7流入第二散热块2内的呈“S”形分布的过水槽13中，并且在设于第一散热块1和第三散热块3之间与第二散热块2与第三散热块3之间的制冷片9的作用下，对散热水进行降温散热，降温散热后的水通过水管对胶水进行降温散热。
[0032]此外，由于制冷片9在对第二散热块2执行制冷时，其本身也会产生热量温度，因此，将散热水从第一进水接口5流入呈“S”形分布的第一散热块1内的过水槽13经连接管4流入呈“S”形分布的第二散热块2内的过水槽13，之后从第一出水接口6排出，主要是分别对设于第一散热块1和第三散热块3之间与第二散热块2与第三散热块3之间的制冷片9进行降温散热，以保证第二散热块2对胶水的降温散热效果。
[0033]综上所述，其不仅结构简单，所需成本低，且降温效果好，恒温性优，操作性强，可以满足市场需求。
[0034]对于本领域的技术人员来说，可根据以上技术方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，包括第一散热块(1)和第二散热块(2)，其特征在于：所述第一散热块(1)和第二散热块(2)之间固定设有第三散热块(3)，所述第一散热块(1)、第二散热块(2)和所述第三散热块(3)的内部分别设有用于散热通水的过水槽(13)，所述第一散热块(1)的一侧设有与其内过水槽(13)连通的第一进水接口(5)，所述第二散热块(2)的一侧设有与其内过水槽(13)连通的第一出水接口(6)，所述第一散热块(1)内的过水槽(13)和第二散热块(2)内的过水槽(13)之间还设有用于连通的连接管(4)，所述第三散热块(3)的两侧分别设有与其内过水槽(13)连通的第二进水接口(7)和第二出水接口(8)。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征在于：所述第一散热块(1)和第二散热块(2)与所述第三散热块(3)之间分别固定设有制冷片(9)。3.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机用冷水机散热装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴想，戴文海，
申请(专利权)人：江西维易尔半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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