拉晶炉排气管道及拉晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种拉晶炉排气管道及拉晶炉，所述拉晶炉排气管道包括安装在拉晶炉炉底出气口上的护筒(1)、与所述拉晶炉炉底出气口连通的排气管(2)和套装在所述排气管(2)上的护套(3)，所述护筒(1)的内壁设置有涂层，使得所述护筒(1)内壁具有光滑表面，所述排气管(2)位于所述拉晶炉炉底下方，所述排气管(2)的上端位于所述护套(3)内。所述拉晶炉包括该拉晶炉排气管道。本实用新型专利技术提供的拉晶炉排气管道及拉晶炉能够解决排气管道被氧化物堵塞的问题，避免引发晶棒错位。避免引发晶棒错位。避免引发晶棒错位。

【技术实现步骤摘要】
拉晶炉排气管道及拉晶炉


[0001]本技术涉及生产单晶晶棒
，尤其涉及一种拉晶炉排气管道以及包括该排气管道的拉晶炉。

技术介绍

[0002]生长单晶晶棒时,在拉晶炉的石英坩埚内装入多晶硅,然后熔化多晶硅,熔液温度稳定,再使籽晶与熔液接触的方式生长晶棒，该方法被广泛用于制作单晶晶棒。生长单晶晶棒的拉晶炉在熔化多晶硅的过程中会产生氧化物。拉晶炉中产生的氧化物是属于颗粒(Particle)类型,在晶棒(Ingot)成长时会诱发晶棒错位(Ingot dislocation)。因此，现有的拉晶炉设置有排气管道，将产生的氧化物从炉室(chamber)流入到排气管道，再通过排气管道排出。
[0003]但是进行拉晶工艺的过程中，经常由于氧化物堵塞排气管道的原因，在生长晶棒过程中诱发晶棒错位。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种拉晶炉排气管道，能够解决排气管道被氧化物堵塞的问题，避免引发晶棒错位。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供了一种拉晶炉排气管道，包括安装在拉晶炉炉底出气口上的护筒、与所述拉晶炉炉底出气口连通的排气管和套装在所述排气管上的护套，所述护筒的内壁设置有涂层，使得所述护筒内壁具有光滑表面，所述排气管位于所述拉晶炉炉底下方，所述排气管的上端位于所述护套内。
[0006]优选地，所述护筒为石墨护筒，所述护筒内壁上设置的涂层为火法涂层。
[0007]优选地，所述涂层的厚度为0.1mm
‑
1mm。
[0008]优选地，所述护筒的上端固定连接有环形凸缘，所述环形凸缘压在所述拉晶炉炉底上铺设的石墨固化毡上。
[0009]优选地，所述护套采用隔热材料制作。
[0010]优选地，所述护套采用石墨毡制作。
[0011]优选地，所述护套的上端固定连接有环形台，所述环形台的上表面与所述拉晶炉炉底的下表面接触。
[0012]本技术与现有技术的不同之处在于，本技术提供的拉晶炉排气管道通过在拉晶炉炉底的出气口上安装护筒，可以避免带有高温氧化物的气体经过炉底上铺设的石墨固化毡时对固化毡的内壁产生热腐蚀；同时通过在护筒内壁设置有涂层，可以使得护筒内壁具有光滑表面，避免带有湿润性的氧化物粘在护筒内壁上而堵塞护筒；通过在连通出气口的排气管的上端套装护套，可以降低排气管上端与外部环境热交换的程度，避免高温氧化物在排气管的上端被急速冷却，从而防止大量急速冷却的氧化物堵塞排气管。因此本技术提供的拉晶炉排气管道能够解决排气管道被氧化物堵塞的问题，避免引发晶棒错
位。
[0013]本技术的另一个目的是提供一种拉晶炉，能够避免其上安装的排气管道被氧化物堵塞而引发晶棒错位的问题。
[0014]为了达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0015]一种拉晶炉，包括炉体、设置在所述炉体底部的支撑架、安装在所述支撑架上的石英坩埚和拉晶炉排气管道，所述拉晶炉排气管道包括护筒、排气管和护套，所述炉体的炉底上铺设有石墨固化毡，在所述炉体的炉底上开设有出气口，所述护筒穿过所述石墨固化毡并且安装在所述出气口上，护筒的内壁设置有涂层，使得所述护筒内壁具有光滑表面，所述排气管位于所述拉晶炉炉底下方并且与出气口连通，所述护套套装在排气管上，所述排气管的上端位于所述护套内。
[0016]优选地，所述炉体的炉底上铺设的石墨固化毡为三层。
[0017]优选地，所述炉体的炉底上开设有多个出气口，在每个出气口上均安装有所述拉晶炉排气管道。
[0018]所述拉晶炉与上述的拉晶炉排气管道对于现有技术所具有的技术优势相同，在此不再赘述。
附图说明
[0019]图1是本技术提供的一种实施方式的拉晶炉排气管道的结构示意图；
[0020]图2是本技术提供的一种实施方式的拉晶炉的结构示意图；
[0021]图3是护筒安装在石墨固化毡上的结构示意图；
[0022]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0023]1‑
护筒；2
‑
排气管；3
‑
护套；4
‑
环形凸缘；5
‑
环形台；6
‑
炉体；7
‑
支撑架；8
‑
石英坩埚；9
‑
固化毡。
具体实施方式
[0024]以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。
[0025]适当参考图1所示，本技术提供的基本实施方式的拉晶炉排气管道包括安装在拉晶炉炉底出气口上的护筒1、与所述拉晶炉炉底出气口连通的排气管2和套装在所述排气管2上的护套3。其中拉晶炉炉底的出气口用于排出拉晶炉内产生的含有氧化物的气体。护筒1安装在该出气口上，使得拉晶炉内的含氧化物的气体可以通过护筒1的通孔被排出。护筒1的内壁设置有涂层，该涂层可以使得所述护筒1内壁具有光滑表面。护筒1的长度可以根据实际情况灵活确定。
[0026]其中排气管2设置在拉晶炉的下方，并与炉底的出气口连通，以将从安装在出气口上的护筒1中流过的含氧化物的气体输送至排气管2中，从而通过排气管2排出拉晶炉外。所述排气管2与炉底的出气口连通的方式可以为将排气管2直接安装在拉晶炉炉底的下表面上，并将排气管2的上端与护筒1的下端对接；也可以为直接与安装在炉底的出气口上的护筒1的下端连接。所述排气管2的上端位于所述护套3内，所述护套3可以固定在排气管2上，也可以固定在拉晶炉炉底的下表面。所述排气管2位于拉晶炉外部，为避免排气管2中流过
的含有氧化物的气体中的水蒸气遇冷凝结成水滴而锈蚀排气管2，所述排气管2一般采用不锈钢管。
[0027]上述基本实施方式提供的拉晶炉排气管道在使用时，拉晶炉中的多晶硅溶液在石英坩埚8中被熔化为熔融状态，同时产生的含有氧化物的气体在拉晶炉的炉体6内向下流动，进入安装在炉底的出气口上的护筒1内，并通过下方的排气管2被排出。为了保护拉晶炉炉体6的底部，在炉体6的炉底上铺设有石墨固化毡9，石墨具有耐高温的特性，可以保护炉体6炉底并且起到保温的作用。在炉体6炉底的出气口上安装护筒1，可以避免带有高温氧化物的气体经过石墨固化毡9时对固化毡9的内壁产生热腐蚀；同时通过在护筒1内壁设置有涂层，可以使得护筒1内壁具有光滑表面，避免带有湿润性的氧化物粘在护筒1内壁上而堵塞护筒1。而在排气管2的上端套装护套3，可以减少排气管2上端与外部环境的热交换，从而避免高温氧化物在排气管2的上端被急速冷却，因此可以防止大量急速冷却的氧化物堵塞排气管2。
[0028]在本技术中，所述护筒1可以采用各种耐高温材料制作，优选地，所述护筒1为石墨护筒，同时为了保证护筒1的表面光滑，所述护筒1内壁上设置的涂层为火法涂层(Pyrocabon coating)。所述火法涂层，即热解碳涂层，是指将石墨护筒1装入设备中在真空或者保护气氛条件下进行加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拉晶炉排气管道，其特征在于,包括安装在拉晶炉炉底出气口上的护筒(1)、与所述拉晶炉炉底出气口连通的排气管(2)和套装在所述排气管(2)上的护套(3)，所述护筒(1)的内壁设置有涂层，使得所述护筒(1)内壁具有光滑表面，所述排气管(2)位于所述拉晶炉炉底下方，所述排气管(2)的上端位于所述护套(3)内。2.根据权利要求1所述的拉晶炉排气管道，其特征在于，所述护筒(1)为石墨护筒，所述护筒(1)内壁上设置的涂层为火法涂层。3.根据权利要求2所述的拉晶炉排气管道，其特征在于，所述涂层的厚度为0.1mm
‑
1mm。4.根据权利要求1所述的拉晶炉排气管道，其特征在于，所述护筒(1)的上端固定连接有环形凸缘(4)，所述环形凸缘(4)压在所述拉晶炉炉底上铺设的石墨固化毡(9)上。5.根据权利要求1所述的拉晶炉排气管道，其特征在于，所述护套(3)采用隔热材料制作。6.根据权利要求5所述的拉晶炉排气管道，其特征在于，所述护套(3)采用石墨毡制作。7.根据权利要求1所述的拉晶炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴永林，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：