一种功能器件及其制造方法技术

一种功能器件的制造方法及功能器件，所述方法包括：提供衬底基板(110)(S110)；形成第一非晶态半导体层(130)(S120)；沉积第一绝缘层(140)在第一非晶态半导体层(130)上(S130)；在第一绝缘层(140)上形成第一开口(141)以使第一非晶态半导体层(130)部分裸露(S140)；沉积金属催化层(160)，并且所述金属催化层(160)沉积到第一开口(141)中且与第一非晶态半导体层(130)接触(S150)；进行退火结晶处理，以使所述第一非晶态半导体层(130)通过金属催化结晶为第一多晶态半导体层(230)(S160)；对所述金属催化层(160)处理以形成功能金属层(161)(S170)；制备其他膜层以形成功能器件(S180)。该方法具有可简化制程、减少步骤、降低成本的优点。优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：游埃里克凱翔，
申请(专利权)人：深圳市柔宇科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：