石英管抽真空封堵装置制造方法及图纸

技术编号:30177214 阅读:15 留言:0更新日期:2021-09-25 15:38
本实用新型专利技术涉及石英管抽真空封堵装置,工工作台一侧设有端部固定套,另一侧设有托架,端部固定套通过管道连接真空泵,托架上方设有电加热箱,托架上设有并排设置的转辊,所述端部固定套包括抽气管道、外固定帽、内固定帽,所述外固定帽与抽气管道连通,内固定帽位于外固定帽内部,内固定帽端部设有固定座,固定座与内固定帽通过轴承连接,固定座与外固定帽通过网格套连接。本实用新型专利技术抽真空过程中,帽塞与石英管同轴心设置;抽真空结束后,帽塞与石英管能够同步旋转,用于对石英管整个径向加热熔解后,使帽塞与石英管整圈粘连。使帽塞与石英管整圈粘连。使帽塞与石英管整圈粘连。

【技术实现步骤摘要】
石英管抽真空封堵装置


[0001]本技术涉及抽真空装置,特别涉及石英管抽真空封堵装置。

技术介绍

[0002]自然界的物质、材料按导电能力大小可分为导体、半导体和绝缘体三大类。半导体的电阻率在1mΩ
·
cm~1GΩ
·
cm范围。
[0003]Ⅲ‑Ⅴ
族化合物及单晶锗半导体衬底材料,产品主要应用于移动电话、卫星广播、雷达系统、激光器、光纤通讯、射线及光探测器、航天太阳能等领域。其以砷化镓、磷化铟和锗混合原材料经过高温加热生产加工而成,原材料需要在真空环境下高温焙烧,因此原材料需要装入模具中,模具摆放到石英管中,对石英管抽真空,石英管在管口处塞上帽塞后进行高温焙烧。为了确保石英管不泄漏,需要抽真空后,在真空下,通过高温火焰熔化石英管管口,将帽塞与石英管管口粘连密封。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于解决上述问题,提供石英管抽真空封堵装置,其可实现石英管抽真空后,在真空机上实现石英管的封堵。
[0005]为了解决上述问题,本技术采用的技术方案如下:
[0006]石英管抽真空封堵装置,工作台上方设有托架、电加热箱、端部固定套、真空泵,工作台一侧设有端部固定套,另一侧设有托架,端部固定套通过管道连接真空泵,托架上方设有电加热箱,托架上设有并排设置的转辊,两排转辊相对设置,托架端部设有调节丝杠,调节丝杠与工作台上的固定桩通过螺纹连接,托架底部与工作台通过直线导向轨连接,直线导向轨沿着工作台纵向设置,其特征在于,所述端部固定套包括抽气管道、外固定帽、内固定帽,所述外固定帽与抽气管道连通,内固定帽位于外固定帽内部,内固定帽端部设有固定座,固定座与内固定帽通过轴承连接,固定座与外固定帽通过网格套连接,内固定帽内腔体与石英管帽塞吻合,外固定帽内腔体与石英管吻合,外固定帽的内管壁上设有第一密封圈。
[0007]优化为,电加热箱包括箱体和箱盖,箱体和箱盖通过折页连接,箱盖内设有电加热丝,箱盖、箱体内部填充保温棉毡,电加热箱在靠近端部固定套侧的侧部设有圆孔,箱体内部设有支撑板,支撑板上设有搁置槽。
[0008]本技术的有益效果:
[0009](1)所述外固定帽与抽气管道连通,内固定帽位于外固定帽内部,内固定帽用于对帽塞进行定位、固定,帽塞插入内固定帽的内腔中;固定座与外固定帽通过网格套连接,网格套用于加强固定座与外固定帽的连接,并且网格套不影响抽真空过程中通气;抽真空过程中,帽塞与石英管同轴心设置。
[0010](2)托架端部设有调节丝杠,调节丝杠与工作台上的固定桩通过螺纹连接,托架底部与工作台通过直线导向轨连接,直线导向轨沿着工作台纵向设置。石英管设置于托架上,调节丝杠用于推送托架向端部固定套靠近,将石英管的开口端插入端部固定套中。
[0011](3)内固定帽端部设有固定座,固定座与内固定帽通过轴承连接,抽真空结束后,将帽塞与石英管局部熔解粘结时,旋转石英管,内固定帽带动固定座旋转,帽塞与石英管能够同步旋转,用于对石英管整个径向进行加热熔解,使帽塞与石英管整圈粘连。
[0012](4)托架上方设有电加热箱,电加热箱用于对石英管加热,促进物料中的气体、水分挥发出来,提高石英管内部真空度。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术所述石英管抽真空封堵装置的主视图;
[0015]图2为本技术所述石英管抽真空封堵装置的俯视图;
[0016]图3为本技术所述端部固定套的内部结构剖视图;
[0017]图4为本技术所述电加热箱的结构示意图;
[0018]附图标记:工作台

1、固定桩

11、托架

2、转辊

21、调节丝杠

22、电加热箱

3、箱体

31、箱盖

32、圆孔

33、支撑板

34、搁置槽

341、端部固定套

4、抽气管道

41、外固定帽

42、第一密封圈

421、内固定帽

43、固定座

44、轴承

45、网格套

46、真空泵

5。
具体实施方式
[0019]下面对本技术的优选实施例进行详细阐述,以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0020]石英管抽真空封堵装置,工作台1上方设有托架2、电加热箱3、端部固定套4、真空泵5,工作台1一侧设有端部固定套4,另一侧设有托架2,端部固定套4通过管道连接真空泵5,托架2上方设有电加热箱3,托架2上设有并排设置的转辊21,两排转辊21相对设置,托架2端部设有调节丝杠22,调节丝杠22与工作台1上的固定桩11通过螺纹连接,托架2底部与工作台1通过直线导向轨连接,直线导向轨沿着工作台1纵向设置,所述端部固定套4包括抽气管道41、外固定帽42、内固定帽43,所述外固定帽42与抽气管道41连通,内固定帽43位于外固定帽42内部,内固定帽43端部设有固定座44,固定座44与内固定帽43通过轴承45连接,固定座44与外固定帽42通过网格套46连接,内固定帽43内腔体与石英管帽塞吻合,外固定帽42内腔体与石英管吻合,外固定帽42的内管壁上设有第一密封圈421。
[0021]优化为,电加热箱3包括箱体31和箱盖32,箱体31和箱盖32通过折页连接,箱盖32内设有电加热丝,箱盖32、箱体31内部填充保温棉毡,电加热箱在靠近端部固定套侧的侧部设有圆孔33,箱体31内部设有支撑板34,支撑板34上设有搁置槽341。
[0022]参阅说明书附图,对上述具体实施例所述石英管抽真空封堵装置的具体结构及功能做如下描述:
[0023]参阅说明书附图1和图2所示,石英管抽真空封堵装置,工作台1上方设有托架2、电加热箱3、端部固定套4、真空泵5,工作台1一侧设有端部固定套4,另一侧设有托架2。石英管设置于托架上,帽塞固定于端部固定套4中,石英管开口端插入端部固定套4,帽塞与石英管
同轴心,且帽塞对中插入石英管内部。端部固定套4通过管道连接真空泵5,真空泵通过抽气管道41对石英管内部抽真空。托架2上方设有电加热箱3,电加热箱3用于对石英管加热,促进物料中的气体、水分挥发出来。托架2上设有并排设置的转辊21,两排转辊21相对设置,转辊21用于对石英管起到托举作用,能本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石英管抽真空封堵装置,工作台上方设有托架、电加热箱、端部固定套、真空泵,工作台一侧设有端部固定套,另一侧设有托架,端部固定套通过管道连接真空泵,托架上方设有电加热箱,托架上设有并排设置的转辊,两排转辊相对设置,托架端部设有调节丝杠,调节丝杠与工作台上的固定桩通过螺纹连接,托架底部与工作台通过直线导向轨连接,直线导向轨沿着工作台纵向设置,其特征在于,所述端部固定套包括抽气管道、外固定帽、内固定帽,所述外固定帽与抽气管道连通,内固定帽位于...

【专利技术属性】
技术研发人员:周文婉刘卫国李志高胡成斌
申请(专利权)人:朝阳通美晶体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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