晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质制造方法及图纸

本申请提供一种晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，用于提高晶元搜索效率。该方法包括：获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息，晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数，第一位置信息为基准点在扩充蓝膜前的位置信息；根据基准点的第一位置信息、索引参数和位置参数，生成晶元分布地图，晶元分布地图包括每个晶元相对于基准点的位置分布信息；根据第一位置信息和第二位置信息，确定扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量，第二位置信息为基准点在扩充蓝膜后的位置信息；根据第一基准点距离变化量对晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图；根据修正后晶元分布地图和执行设备的当前位置，确定最优路径和待吸取晶元。路径和待吸取晶元。路径和待吸取晶元。

【技术实现步骤摘要】
晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质


[0001]本申请属于半导体
，尤其涉及一种晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]目前，搜索晶元的方式为全局扫描法，具体通过检测设备对晶圆表面进行扫描并检测，然后通过分选设备对晶元进行分选。但该全局扫描方式获取到晶元离散分布情况后，需在局部视野下实时搜索晶元，这会导致搜索晶元效率低下，无法满足实际生产需求。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供了晶元搜索方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，可以解决晶元搜索效率低下的问题。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种晶元搜索方法，包括：
[0005]获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息，所述晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数，所述晶圆包括多个所述晶元，所述第一位置信息为所述基准点在扩充蓝膜前的位置信息；
[0006]根据所述基准点的第一位置信息、所述索引参数和所述位置参数，生成晶元分布地图，所述晶元分布地图包括每个所述晶元相对于所述基准点的位置分布信息；
[0007]根据所述第一位置信息和第二位置信息，确定出扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量，所述第二位置信息为所述基准点在扩充蓝膜后的位置信息；
[0008]根据所述第一基准点距离变化量对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图；
[0009]根据所述修正后的晶元分布地图和执行设备的当前位置，确定最优路径和待吸取晶元，所述最优路径为所述执行设备从所述当前位置到所述待吸取晶元的位置的最短路径，所述执行设备用于吸取晶元。
[0010]进一步的，所述晶圆图还包含测试参数；所述方法还包括：
[0011]根据所述测试参数剔除不符合预设条件的晶元，得到良品晶元；
[0012]根据所述基准点的第一位置信息、所述索引参数和所述位置参数，生成晶元分布地图，包括：
[0013]根据所述第一位置信息、所述良品晶元对应的所述索引参数和所述位置参数，生成所述晶元分布地图。
[0014]进一步的，根据所述第一基准点距离变化量对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图，包括：
[0015]根据所述第一基准点距离变化量，确定相邻所述晶元之间的距离变化量，得到晶元距离变化量；
[0016]根据所述晶元距离变化量，修正所述晶元分布地图。
[0017]进一步的，确定最优路径和待吸取晶元之后，还包括：
[0018]根据所述第二位置信息及第三位置信息，确定出吸取晶元前后的第二基准点距离变化量，所述第三位置信息为所述基准点在吸取晶元后的位置信息；
[0019]根据所述第二基准点距离变化量，对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图。
[0020]进一步的，确定最优路径和待吸取晶元之后，还包括：
[0021]获取在固晶点处所述执行设备的第一传感器状态及固晶点图像；
[0022]根据所述第一传感器状态及所述固晶点图像，确定已吸取晶元的生产状态；
[0023]根据所述生产状态，在所述晶元分布地图中剔除所述已吸取晶元对应的数据，并更新所述生产状态的显示。
[0024]进一步的，获取固晶点处所述执行设备的第一传感器状态和固晶点图像之前，还包括：
[0025]获取在所述当前位置处的所述执行设备的第二传感器状态及晶元图像；
[0026]根据所述第二传感器状态及晶元图像，确定所述执行设备是否吸取成功；
[0027]若吸取成功，则进入获取固晶点处所述执行设备的第一传感器状态及固晶点图像的步骤。
[0028]第二方面，本申请实施例提供了一种晶元搜索装置，包括：
[0029]获取单元，用于获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息，所述晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数，所述晶圆包括多个所述晶元，所述第一位置信息为所述基准点在扩充蓝膜前的位置信息；
[0030]生成单元，用于根据所述基准点的第一位置信息、所述索引参数和所述位置参数，生成晶元分布地图，所述晶元分布地图包括每个所述晶元相对于所述基准点的位置分布信息；
[0031]根据所述第一位置信息和第二位置信息，确定出扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量，所述第二位置信息为所述基准点在扩充蓝膜后的位置信息；
[0032]修正单元，用于根据所述第一基准点距离变化量对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图；
[0033]搜索单元，用于根据所述修正后的晶元分布地图和执行设备的当前位置，确定最优路径和待吸取晶元，所述最优路径为所述执行设备从所述当前位置到所述待吸取晶元的位置的最短路径，所述执行设备用于吸取晶元。
[0034]第三方面，本申请实施例提供了一种电子设备，包括：存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述第一方面中任一项所述的方法。
[0035]第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，包括：所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第一方面中任一项所述的方法。
[0036]第五方面，本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在电子设备上运行时，使得电子设备执行上述第一方面中任一项所述的方法。
[0037]可以理解的是，上述第二方面至第五方面的有益效果可以参见上述第一方面中的
相关描述，在此不再赘述。
[0038]本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是：
[0039]本申请实施例通过根据所述基准点的第一位置信息、所述索引参数和所述位置参数，生成晶元分布地图，得到全局地图，以使晶元搜索有全局地图数据支撑，为最优搜索路径提供基础；并在根据所述第一位置信息和第二位置信息，确定出扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量，根据所述第一基准点距离变化量对所述晶元分布地图进行修正及根据所述修正后的晶元分布地图和执行设备的当前位置，确定最优路径和待吸取晶元，能够实时通过最优搜索路径搜索到待吸取晶元，避免了在局部视野搜索过程中产生冗余计算及冗余动作，从而提高搜索效率。
附图说明
[0040]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0041]图1是本申请一实施例提供的晶元搜索方法的流程示意图；
[0042]图2是本申请另一实施例提供的晶元搜索方法的流程示意图；
[0043]图3是本申请一实施例提供的晶元搜索装置的结构示意图；
[0044]图4是本申请一实施例提供的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0045]以下描述中，为了说明而不是为了限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元搜索方法，其特征在于，包括：获取晶圆的晶圆图及基准点的第一位置信息，所述晶圆图包含每个晶元的索引参数及位置参数，所述晶圆包括多个所述晶元，所述第一位置信息为所述基准点在扩充蓝膜前的位置信息；根据所述基准点的第一位置信息、所述索引参数和所述位置参数，生成晶元分布地图，所述晶元分布地图包括每个所述晶元相对于所述基准点的位置分布信息；根据所述第一位置信息和第二位置信息，确定出扩充蓝膜前后的第一基准点距离变化量，所述第二位置信息为所述基准点在扩充蓝膜后的位置信息；根据所述第一基准点距离变化量对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图；根据所述修正后的晶元分布地图和执行设备的当前位置，确定最优路径和待吸取晶元，所述最优路径为所述执行设备从所述当前位置到所述待吸取晶元的位置的最短路径，所述执行设备用于吸取晶元。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述晶圆图还包含测试参数；所述方法还包括：根据所述测试参数剔除不符合预设条件的晶元，得到良品晶元；根据所述基准点的第一位置信息、所述索引参数和所述位置参数，生成晶元分布地图，包括：根据所述第一位置信息、所述良品晶元对应的所述索引参数和所述位置参数，生成所述晶元分布地图。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：根据所述第一基准点距离变化量对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图，包括：根据所述第一基准点距离变化量，确定相邻所述晶元之间的距离变化量，得到晶元距离变化量；根据所述晶元距离变化量，修正所述晶元分布地图。4.如权利要求1
‑
3任一项所述的方法，其特征在于：确定最优路径和待吸取晶元之后，还包括：根据所述第二位置信息及第三位置信息，确定出吸取晶元前后的第二基准点距离变化量，所述第三位置信息为所述基准点在吸取晶元后的位置信息；根据所述第二基准点距离变化量，对所述晶元分布地图进行修正，得到修正后的晶元分布地图。5.如权利要求1
‑
3任一项所述的方法，其特征在于：确定最优路径和待吸取晶元之后，还包括：获取在固晶点处所述执行设备的第一传感器状态及固晶点图像；根据所述第一传感器状态及所述固晶点图...

【专利技术属性】
技术研发人员：周赞，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：