一种电子混合气在线称量配气系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种电子混合气在线称量配气系统，属于电子混合气技术领域。包括组分气体供气单元、稀释气体供气单元、电子混合气充装气瓶、分析单元、杂质气体收集气瓶、真空泵组和称量天平；电子混合气充装气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过充装管路连接；杂质气体收集气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过收集管路连接；充装管路与收集管路之间连接有真空泵组；充装管路和收集管路上分别设有球阀；所述系统能够在最大程度上节省组分气体和稀释气体的损耗量，并且还能够提升输气管道的真空度，减少检测时间，从而降低电子混合气的生产周期。从而降低电子混合气的生产周期。从而降低电子混合气的生产周期。

【技术实现步骤摘要】
一种电子混合气在线称量配气系统


[0001]本技术涉及一种电子混合气在线称量配气系统，属于电子混合气


技术介绍

[0002]目前，在高压静态配制瓶装混合气的方法中，称量法是国内外公认的最准确的方法。称量法是在“质量”测量基础上的绝对法，由于该方法不需准确测定气体的温度和压力，也不需要使用气体压缩因子，因而可获得更准确的配制结果。现有的混合气称重方法存在易引入杂质且配制过程中存在气体浪费的问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种电子混合气在线称量配气系统，采用真空泵组来对输气管道抽真空，从而能够降低采用组分气体、稀释气体冲洗管道所带来的气体损耗；采用初级泵和次级泵来构成真空泵组来既保证输气管道真空度能够达到要求，并且还能够大幅缩短抽真空度所需时间；采用更换供入气体时，使用真空泵组将管道中的超纯气体输送至对应的纯化器，从而能够进一步降低组分气体、稀释气体的损耗。
[0004]为解决实现上述目的，本技术的技术方案如下。
[0005]一种电子混合气在线称量配气系统，包括组分气体供气单元、稀释气体供气单元、电子混合气充装气瓶、分析单元、杂质气体收集气瓶、真空泵组和称量天平；电子混合气充装气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过充装管路连接；杂质气体收集气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过收集管路连接；充装管路与收集管路之间连接有真空泵组；充装管路和收集管路上分别设有球阀；
[0006]组分气体供气单元用于对组分气体进行纯化并将纯化后的组分气体送入电子混合气充装气瓶；
[0007]稀释气体供气单元用于对稀释气体进行纯化并将纯化后的稀释气体送入电子混合气充装气瓶；
[0008]真空泵组用于组分气体、稀释气体充装前后对管路进行抽真空；
[0009]杂质气体收集气瓶用于收集从管路中抽出的气体；
[0010]分析单元用于对电子混合气充装瓶中的电子混合气进行分析检测；
[0011]称量天平分别用于对电子混合气充装气瓶和杂质气体收集气瓶进行称重。
[0012]进一步的，所述组分气体供气单元包括组分气瓶、第一纯化器和第一缓冲瓶，所述组分气体供气单元至电子混合气充装气瓶的充装管路上依次设有第一减压阀、第一隔膜阀和第一单向阀。
[0013]进一步的，所述稀释气体供气单元包括稀释气瓶、第二纯化器和第二缓冲瓶，所述组分气体供气单元至电子混合气充装气瓶的充装管路上依次设有第二减压阀、第二隔膜阀和第二单向阀。
[0014]进一步的，所述真空泵组包括依次连接在充装管路至杂质气体收集管路之间的初
级泵和次级泵，充装管路与初级泵之间设有真空阀和压力表。
[0015]进一步的，所述分析单元包括气相色谱仪、微量氧分析仪、微量水分析仪和粒子计数器；气相色谱仪、微量氧分析仪、微量水分析仪和粒子计数器分别与电子混合气充装气瓶连接。
[0016]进一步的，多个所述电子混合气充装气瓶并联后接入充装管路中。
[0017]有益效果
[0018]本技术所述系统能够在最大程度上节省组分气体和稀释气体的损耗量，并且还能够提升输气管道的真空度，减少检测时间，从而降低电子混合气的生产周期。通过采用真空泵组来对输气管路抽真空，从而能够降低采用组分气体、稀释气体冲洗管道所带来的气体损耗；通过采用真空泵组来既保证输气管道真空度能够达到要求，并且还能够大幅缩短抽真空度所需时间；通过更换供入气体时，使用真空泵组将管道中的超纯气体输送至对应的纯化器，从而能够进一步降低组分气体、稀释气体的损耗。
附图说明
[0019]图1为本技术所述系统的结构示意图。
[0020]其中，1
‑
组分气瓶；2
‑
第一纯化器；3
‑
第一缓冲瓶；4
‑
第一减压阀；5
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第一隔膜阀；6
‑
第一单向阀；7
‑
稀释气瓶；8
‑
第二纯化器；9
‑
第二缓冲瓶；10
‑
第二减压阀；11
‑
第二隔膜阀；12
‑
第二单向阀；13
‑
真空阀；14
‑
压力表；15
‑
初级泵；16
‑
次级泵；17
‑
杂质气体收集气瓶7；18
‑
第一称量天平；19
‑
球阀；20
‑
电子混合气充装气瓶；21
‑
第二称量天平；22
‑
气相色谱仪；23
‑
微量氧分析仪；24
‑
微量水分析仪；25
‑
粒子计数器。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施例对本技术作进一步详细的说明。
[0022]一种电子混合气在线称量配气系统，包括组分气体供气单元、稀释气体供气单元、电子混合气充装气瓶20、分析单元、杂质气体收集气瓶17、真空泵组和称量天平；电子混合气充装气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过充装管路连接；杂质气体收集气瓶17分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过收集管路连接；充装管路与收集管路之间连接有真空泵组；充装管路和收集管路上分别设有球阀19；
[0023]组分气体供气单元用于对组分气体进行纯化并将纯化后的组分气体送入电子混合气充装气瓶20；
[0024]稀释气体供气单元用于对稀释气体进行纯化并将纯化后的稀释气体送入电子混合气充装气瓶20；
[0025]真空泵组用于组分气体、稀释气体充装前后对管路进行抽真空；
[0026]杂质气体收集气瓶17用于收集从管路中抽出的气体；
[0027]分析单元用于对电子混合气充装瓶中20的电子混合气进行分析检测；
[0028]称量天平分别用于对电子混合气充装气瓶20和杂质气体收集气瓶17进行称重。
[0029]所述组分气体供气单元包括组分气瓶1、第一纯化器2和第一缓冲瓶3，所述组分气体供气单元至电子混合气充装气瓶的充装管路上依次设有第一减压阀4、第一隔膜阀5和第一单向阀6。
[0030]所述稀释气体供气单元包括稀释气瓶7、第二纯化器8和第二缓冲瓶9，所述组分气体供气单元至电子混合气充装气瓶的充装管路上依次设有第二减压阀10、第二隔膜阀11和第二单向阀12。
[0031]所述真空泵组包括依次连接在充装管路至杂质气体收集管路之间的初级泵15和次级泵16，充装管路与初级泵15之间设有真空阀13和压力表14。
[0032]所述分析单元包括气相色谱仪22、微量氧分析仪23、微量水分析仪24和粒子计数器25；气相色谱仪22、微量氧分析仪23、微量水分析仪24和粒子计数器25分别与电子混合气充装气瓶20连接。
[0033]多个所述电子混合气充装气瓶20并联后接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子混合气在线称量配气系统，其特征在于：包括组分气体供气单元、稀释气体供气单元、电子混合气充装气瓶(20)、分析单元、杂质气体收集气瓶(17)、真空泵组和称量天平；电子混合气充装气瓶分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过充装管路连接；杂质气体收集气瓶(17)分别与组分气体供气单元和稀释气体供气单元通过收集管路连接；充装管路与收集管路之间连接有真空泵组；充装管路和收集管路上分别设有球阀(19)；组分气体供气单元用于对组分气体进行纯化并将纯化后的组分气体送入电子混合气充装气瓶(20)；稀释气体供气单元用于对稀释气体进行纯化并将纯化后的稀释气体送入电子混合气充装气瓶(20)；真空泵组用于组分气体、稀释气体充装前后对管路进行抽真空；杂质气体收集气瓶(17)用于收集从管路中抽出的气体；分析单元用于对电子混合气充装气瓶(20)中的电子混合气进行分析检测；称量天平分别用于对电子混合气充装气瓶(20)和杂质气体收集气瓶(17)进行称重。2.如权利要求1所述的一种电子混合气在线称量配气系统，其特征在于：所述组分气体供气单元包括组分气瓶(1)、第一纯化器(2)和第一缓冲瓶(3)，所述组分气体供...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，张净普，闫云，徐海云，马朝选，孙秋丽，李旭，张雷，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：