一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。本实用新型专利技术通过多级配气和浓度检测，能够满足不同浓度，尤其是低浓度气体的配制需求，配气浓度范围广，同时提高了气体配制浓度的准确度。了气体配制浓度的准确度。了气体配制浓度的准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统


[0001]本技术涉及气体浓度配比领域，特别涉及一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，在气敏材料研究、气体的配制方面需要配制一定浓度的气体，由于需要的不同气体的不同浓度，或是需要较低浓度的气体，市售的一般为纯的单气体或是固定高浓度的气体，不能满足实验或是配气的需要，目前来说配气常用的方法是通过采用两个不同流速范围的质量流量计进行混合气体，通过选择需要的配制的气体和稀释气体，再通过电磁阀和质量流量计进行控制流量和流速，对需要配制的气体进行混合得到需要浓度的气体，这种配制方法配气的浓度准确度不高，且能配气的浓度范围较小，不能满足实验和配气的需求，同时在配气时，无法对该设备进行校准和清洁，进一步降低了配气浓度的准确度。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本技术提供一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，能够满足不同浓度，尤其是低浓度气体的配制需求，配气浓度范围广，同时提高了气体配制浓度的准确度。
[0004]一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。
[0005]可选地，任一所述气源装置连接第一电磁阀和第一质量流量计，所述稀释气体储存装置设有第二电磁阀和第二质量流量计，所述第一质量流量计连接所述第一混合室，所述第二质量流量计与所述多级气体混合装置的任一混合室分别连接；所述第一质量流量计与所述第二质量流量计之间设有连接管，所述连接管设有连接阀。
[0006]可选地，所述第一混合室与所述第二混合室之间连接第三质量流量计，所述第二混合室和所述第三混合室之间连接第四质量流量计。
[0007]可选地，所述检验装置包括检验室和设于所述检验室、用以检测对应气体浓度的气敏传感器；所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室均与所述检验室通过气管及检验阀连接。
[0008]可选地，所述气源装置、所述稀释气体储存装置、所述多级气体混合装置、所述检验装置、所述清扫装置均通过主壳体固定且均设于所述主壳体的内部。
[0009]可选地，所述主壳体的外侧设置显示部，所述主壳体的内侧设有与所述显示部连接的电路板，所述电路板用以采集处理所述气敏传感器检测的气体浓度信息并传递至所述
显示部显示。
[0010]可选地，所述清扫装置为与所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室和所述检验装置连接的抽气泵，所述抽气泵的抽气口之前设置抽气阀。
[0011]可选地，所述主壳体内还设有多个用以检测混合气体温度的温度传感器，全部所述温度传感器与所述电路板连接并通过所述显示部显示检测温度。
[0012]与现有技术相比，本技术达到的有益效果如下：
[0013](1)本技术采用多级气体混合装置对待配制的高浓度气体进行分级稀释配制，使得扩大了可以配气的浓度范围，能够满足不同浓度配气的需求。
[0014](2)本技术设置的检验装置与多级气体混合装置的每一混合室都连接，以便于检测经过该混合室稀释后的气体浓度，在下一混合室通入特定质量流量的稀释气体，通过多级稀释，对浓度多级检验校正，满足了低浓度气体的配制需求，提高了配制气体的浓度的准确度。
[0015](3)本技术设置的清扫装置与多级气体混合装置的每一级混合室以及检验装置连接，通过将每一级混合室和检验装置的残余气体抽出，可以避免残余气体影响下一次气体配制的浓度的准确度。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例所提供的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统的示意图。
[0018]其中：
[0019]1‑
气源装置、2
‑
稀释气体储存装置、3
‑
第一电磁阀、4
‑
第二电磁阀、5
‑
第一质量流量计、51
‑
连接阀、6
‑
第二质量流量计、7
‑
第一混合室、8
‑
第三质量流量计、9
‑
第二混合室、10
‑
第四质量流量计、11
‑
第三混合室、12
‑
检验室、121
‑
检验阀、13
‑
抽气泵、14
‑
抽气阀、16
‑
温度传感器、17
‑
电路板、18
‑
显示部、19
‑
配气阀、20
‑
主壳体。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]为了使本
的技术人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。
[0022]请参考图1，图1为本技术实施例所提供的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统的示意图。
[0023]本技术所提供的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统包括若干气源
装置1，稀释气体储存装置2，用来将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫多级气体混合装置和检验装置内混合气体的清扫装置。多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室7、第二混合室9和第三混合室11。
[0024]其中，气源装置1用来储存高浓度的气源，多个气源装置1可以用来分别储存不同种类高浓度气源；稀释气体储存装置2则用来储存稀释气体，稀释气体的作用是通过与高浓度气源混合，对高浓度气源稀释，实现配制特定低浓度气体的目的；多级气体混合装置可以对待配制的高浓度气体进行分级稀释配制，使得扩大了可以配气的浓度范围，能够满足不同浓度配气的需求。
[0025]若干个气源装置1设有第一电磁阀3且均连接至第一质量流量计5，通过交替打开某一气源装置1对应的第一电磁阀3并借助第一质量流量计5控制某一气源的输出量；稀释气体储存装置2设置第二电磁阀4，通过第二电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，包括若干气源装置，稀释气体储存装置，用以将一种或多种气源与稀释气体混合的多级气体混合装置，与所述多级气体混合装置的任一级连接、用以检验混合气体浓度的检验装置，用以清扫所述多级气体混合装置和所述检验装置内混合气体的清扫装置；所述多级气体混合装置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室。2.根据权利要求1所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，任一所述气源装置连接第一电磁阀和第一质量流量计，所述稀释气体储存装置设有第二电磁阀和第二质量流量计，所述第一质量流量计连接所述第一混合室，所述第二质量流量计与所述多级气体混合装置的任一混合室分别连接；所述第一质量流量计与所述第二质量流量计之间设有连接管，所述连接管设有连接阀。3.根据权利要求1或2所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述第一混合室与所述第二混合室之间连接第三质量流量计，所述第二混合室和所述第三混合室之间连接第四质量流量计。4.根据权利要求3所述的具有宽配气浓度和高准确度的动态配气系统，其特征在于，所述检验装置包...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈汉德，林仕伟，周义龙，陈宝，符坚，林正玺，王玲转，林慧媛，符智豪，黄修彩，
申请(专利权)人：海南聚能科技创新研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：