太阳能电池硅片快速复合镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，属于太阳能电池片生产设备技术领域，太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，包括机体，机体的内顶部固定有进气罩，进气罩为伞形结构，机体的顶端连接有进气管，进气管与外置镀膜材料供气源相连接，机体的内部还设有均匀布气箱，均匀布气箱顶端与进气罩底端相连接，均匀布气箱的顶端开设有多个呈环形排布的进气孔，可以实现利用设置的均匀布气箱对镀膜所用的混合气体和镀膜材料进行均匀分布和充分混合，有效提升镀膜质量，且有效避免了因混合气体和镀膜材料分布不均匀影响镀膜效果的问题，同时可加速混合气体和镀膜材料由均匀布气箱吹出的速度，有效提升镀膜效率。有效提升镀膜效率。有效提升镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池硅片快速复合镀膜设备


[0001]本技术涉及太阳能电池片生产设备
，更具体地说，涉及太阳能电池硅片快速复合镀膜设备。

技术介绍

[0002]在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷和烧结六大工序。其中，镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的方法在硅片正面镀氮化硅膜，减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。
[0003]PECVD是一种利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术，晶体硅太阳能电池生产中主要用PECVD设备来淀积减反射钝化膜，在等离子体场的作用下，硅烷和氨气发生分解、电离或激发，化学反应后在硅片表面沉积，生成富含氢的非晶薄膜，采用PECVD镀膜方式在硅片表面镀上一层减反射钝化膜，起到减少硅片表面的光反射率的作用，氢离子注入增强硅片表面和体内的钝化效果，降低载流子的复合。
[0004]在进行镀膜时，混合气体和镀膜材料由供料管进入镀膜设备内，在太阳能电池硅片表面沉积实现镀膜，而现有技术中的镀膜设备内部并没有对混合气体和镀膜材料进行均匀分布的结构，混合气体和镀膜材料在设备内分布不均匀会影响镀膜质量，并且混合气体和镀膜材料可能会出现混合不均匀的现象，也会影响镀膜质量和整体镀膜效率。

技术实现思路

[0005]1．要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，可以实现利用设置的均匀布气箱对镀膜所用的混合气体和镀膜材料进行均匀分布和充分混合，有效提升镀膜质量，且有效避免了因混合气体和镀膜材料分布不均匀影响镀膜效果的问题，同时可加速混合气体和镀膜材料由均匀布气箱吹出的速度，有效提升镀膜效率。
[0007]2．技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，包括机体，所述机体的内顶部固定有进气罩，所述进气罩为伞形结构，所述机体的顶端连接有进气管，所述进气管与外置镀膜材料供气源相连接，所述机体的内部还设有均匀布气箱，所述均匀布气箱顶端与进气罩底端相连接，所述均匀布气箱的顶端开设有多个呈环形排布的进气孔，所述均匀布气箱的底端开设有多个呈环形排布的出气孔，且进气孔与出气孔上下交错设置，所述进气孔和出气孔均为喇叭形结构，且进气孔和出气孔对称设置，所述进气孔的顶端口径小于于底端口径，所述出气孔的顶端口径大于底端口径，所述均匀布气箱的内顶部中心处固定有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定有驱动转轴，所述驱动转轴的外壁上固定有螺旋搅动叶片；所述机体内底部中心固定有竖直设置的升降杆，所述升降杆的顶端固定有定位托盘，所述定位托盘上固
定有多组均匀分布的太阳能电池硅片定位机构，每组太阳能电池硅片定位机构均与出气孔对应设置。本方案可以实现利用设置的均匀布气箱对镀膜所用的混合气体和镀膜材料进行均匀分布和充分混合，有效提升镀膜质量，且有效避免了因混合气体和镀膜材料分布不均匀影响镀膜效果的问题，同时可加速混合气体和镀膜材料由均匀布气箱吹出的速度，有效提升镀膜效率。
[0010]进一步的，所述太阳能电池硅片定位机构包括第一定位块和第二定位块，且第一定位块和第二定位块垂直设置，所述第一定位块和第二定位块上均设有紧固螺栓，所述定位托盘上表面开设有多个与紧固螺栓相匹配的定位孔。利用相互垂直设置的第一定位块和第二定位块可方便的对太阳能电池硅片进行定位，使用时将太阳能电池硅片与第一定位块和第二定位块相抵接即可，可满足不同大小形状的太阳能电池硅片使用，提高设备的适应性。
[0011]进一步的，所述均匀布气箱与进气罩的连接处固定有密封圈，能够保证均匀布气箱与进气罩连接处的密封性，避免泄露，从而保证均匀布气效果。
[0012]进一步的，所述升降杆为升降气缸、升降液压缸和电动推杆中的一种，能够方便的调节升降杆的高度，满足不同条件下的使用需求。
[0013]进一步的，所述机体的前侧设有电动开关门，方便开启往定位托盘上放置太阳能电池硅片，便于使用。
[0014]3．有益效果
[0015]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0016]（1）本方案可以实现利用设置的均匀布气箱对镀膜所用的混合气体和镀膜材料进行均匀分布和充分混合，有效提升镀膜质量，且有效避免了因混合气体和镀膜材料分布不均匀影响镀膜效果的问题，同时可加速混合气体和镀膜材料由均匀布气箱吹出的速度，有效提升镀膜效率。
[0017]（2）利用相互垂直设置的第一定位块和第二定位块可方便的对太阳能电池硅片进行定位，使用时将太阳能电池硅片与第一定位块和第二定位块相抵接即可，可满足不同大小形状的太阳能电池硅片使用，提高设备的适应性。
[0018]（3）均匀布气箱与进气罩的连接处固定有密封圈，能够保证均匀布气箱与进气罩连接处的密封性，避免泄露，从而保证均匀布气效果。
[0019]（4）升降杆为升降气缸、升降液压缸和电动推杆中的一种，能够方便的调节升降杆的高度，满足不同条件下的使用需求。
[0020]（5）机体的前侧设有电动开关门，方便开启往定位托盘上放置太阳能电池硅片，便于使用。
附图说明
[0021]图1为本技术的正视图；
[0022]图2为本技术中均匀布气箱的底部结构示意图；
[0023]图3为本技术中定位托盘的俯视图；
[0024]图4为本技术中定位托盘的使用状态图。
[0025]图中标号说明：
[0026]1机体、2进气罩、3进气管、4均匀布气箱、5进气孔、6出气孔、7驱动电机、8驱动转轴、9螺旋搅动叶片、10升降杆、11定位托盘、12第一定位块、13第二定位块、14紧固螺栓。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图；对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的内顶部固定有进气罩（2），所述进气罩（2）为伞形结构，所述机体（1）的顶端连接有进气管（3），所述进气管（3）与外置镀膜材料供气源相连接，所述机体（1）的内部还设有均匀布气箱（4），所述均匀布气箱（4）顶端与进气罩（2）底端相连接，所述均匀布气箱（4）的顶端开设有多个呈环形排布的进气孔（5），所述均匀布气箱（4）的底端开设有多个呈环形排布的出气孔（6），且进气孔（5）与出气孔（6）上下交错设置，所述进气孔（5）和出气孔（6）均为喇叭形结构，且进气孔（5）和出气孔（6）对称设置，所述进气孔（5）的顶端口径小于于底端口径，所述出气孔（6）的顶端口径大于底端口径，所述均匀布气箱（4）的内顶部中心处固定有驱动电机（7），所述驱动电机（7）的输出端固定有驱动转轴（8），所述驱动转轴（8）的外壁上固定有螺旋搅动叶片（9）；所述机体（1）内底部中心固定有竖直设置的升降杆（10），所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泉龙，李琪，孙珠珠，周国栋，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：