一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构制造技术

本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。气体流入到临近工位上。气体流入到临近工位上。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构


[0001]本申请属于晶圆清洗设备
，尤其是涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

技术介绍

[0002]晶圆清洗设备通常具有多道工序，比如先进行清洗液清洗再进行清水清洗，如图 1 所示，这就必然需要将晶圆在不同的工位上移动，以便进入不同的清洗槽内。运输机构在运输仓室 93 内运动已将晶圆从第一清洗工位 91 运输到第二清洗工位92。由于需要移动晶圆，因此各工位之间不能完全封闭，当清洗槽内进行清洗工作时，就有可能将清洗液水雾或者气体带入临近的工位上，因此需要一种针对晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，包括：
[0006]固定框，位于晶圆清洗设备的背板后部，为立方体形，4面由板材构成，也即具有长度方向的2个长度竖直板面，宽度方向的1个宽度竖直板面，高度不同的两个平行的水平板面，前端为晶圆清洗设备的背板，且背板上开设有开口；
[0007]导轨，设置在固定框的长度竖直板面的内壁上，与水平面平行；
[0008]滑动块，设置在导轨上，能够在电机驱动下沿所述导轨运动；
[0009]挡板，设置在所述滑动块，能够在滑动块运动时，从背板上开设的开口伸出或者缩回。
[0010]优选地，本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板的板面，以密封所述挡板与背板开口处的间隙。
[0011]优选地，本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述宽度竖直板面上设置有通气口，以向固定框内通入气体，通入气体后可以使固定框内的水汽排出。
[0012]优选地，本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述挡板底部设置有滚轮，所述滚轮的周向具有槽，所述晶圆清洗设备的底板上设置有轨道，所述轨道嵌入滚轮的周向的槽内，起到支撑固定的作用，同时减小摩擦。
[0013]优选地，本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述滑动块设置在两根螺杆上，电机驱动两根螺杆旋转，从而使所述滑动块运动。
[0014]优选地，本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述挡板完全伸出出口时的行程的末端还设置有竖直固定挡块，所述挡板伸出出口行程路径的顶端也设置有水平固定挡块。
[0015]优选地，本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述竖直固定挡块和水
平固定挡块均由两块平行的挡块构成，所述挡板能够伸入两块平行的挡块之间的间隙内。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]本技术的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0019]图1是晶圆清洗设备的结构示意图；
[0020]图2是本申请实施例的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构的结构示意图；
[0021]图3是本申请实施例的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构的主视图；
[0022]图4是图3固定框处的放大图。
[0023]图中的附图标记为：
[0024]1：固定框；
[0025]2：挡板；
[0026]4：导轨；
[0027]5：滑动块；
[0028]6：滚轮；
[0029]7：轨道；
[0030]8：通气口；
[0031]11：长度竖直板面；
[0032]12：宽度竖直板面；
[0033]13：水平板面；
[0034]31：背板；
[0035]32：底板；
[0036]51：螺杆；
[0037]61：竖直固定挡块；
[0038]62：水平固定挡块；
[0039]91：第一清洗工位；
[0040]92：第二清洗工位；
[0041]93：运输仓室。
具体实施方式
[0042]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0043]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗
示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0044]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例
[0045]本实施例提供一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，如图1所示，
[0046]包括：
[0047]固定框1，位于晶圆清洗设备的背板31后部，为立方体形，4面由板材构成，也即具有长度方向的2个长度竖直板面11，宽度方向的1个宽度竖直板面12，高度不同的两个平行的水平板面13，前端为晶圆清洗设备的背板31，且背板31上开设有开口；
[0048]导轨4，设置在固定框1的长度竖直板面11的内壁上，与水平面平行；
[0049]滑动块5，设置在导轨4上，能够在电机驱动下沿所述导轨4运动；
[0050]挡板2，设置在所述滑动块5，能够在滑动块5运动时，从背板31上开设的开口伸出或者缩回。
[0051]本申请的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框1对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块5驱动挡板2从背板31上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室93，从而将第一清洗工位91和第二清洗工位92的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。
[0052]所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板2的板面，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，包括：固定框（1），位于晶圆清洗设备的背板（31）后部，为立方体形，4 面由板材构成，也即具有长度方向的 2 个长度竖直板面（11），宽度方向的 1 个宽度竖直板面（12），高度不同的两个平行的水平板面（13），前端为晶圆清洗设备的背板（31），且背板（31）上开设有开口；导轨（4），设置在固定框（1）的长度竖直板面（11）的内壁上，与水平面平行；滑动块（5），设置在导轨（4）上，能够在电机驱动下沿所述导轨（4）运动；挡板（2），设置在所述滑动块（5），能够在滑动块（5）运动时，从背板（31）上开设的开口伸出或者缩回。2.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板（2）的板面，以密封所述挡板与背板（31）开口处的间隙。3.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述宽度竖直板面（12）上设置有通气口（8），以向固定框（1）内通入气...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，吴清，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：