一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器制造技术

本发明专利技术提供一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，包括：聚合物耦合波导结构、聚合物三维波导、聚合物透镜光模式转换器。本发明专利技术使得光模式能在波导与单模光纤之间进行低损耗、大波长带宽的耦合，在与CMOS工艺高度兼容的前提下，耦合损耗小于2dB，工作波长带宽大于100nm，并具有偏振相关性低的特点，且本发明专利技术结构更加稳定。构更加稳定。构更加稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器


[0001]本专利技术属于光通信网路
，尤其涉及一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器。

技术介绍

[0002]随着通信网路技术的快速发展，以硅基光子器件为基础的集成光子芯片以其低成本、低损耗、高集成度等优越性能，将代替传统的网络收发元器件，逐步成为光通信网络的主导技术。与此同时，光纤也由于其大带宽、低损耗等优点已成为最主要的光信息传输介质。然而由于集成光子芯片所使用的波导结构通常是高折射率材料，而光纤所用介质材料为低折射率材料，它们之间存在光模式失配的问题，导致光从集成光路传播到光纤的过程中有较大损耗。
[0003]目前现有的耦合方案主要分为水平耦合和垂直耦合两种。其中垂直耦合包括光栅耦合器、三维垂直耦合器等，适用场景主要局限于晶圆测试；水平耦合包括二氧化硅平面波导和SU8水平波导等，适用范围更广，尤其适配芯片耦合封装。二氧化硅平面波导和SU8水平波导都是将高折射率材料的光波导模式在水平方向上转换到低折射率材料并从端面出射，但由于平面工艺加工限制，转换后的光模式体积仍然较小，通常只能与透镜光纤耦合，或者需要增加片外耦合元件，且耦合效率较低，对耦合空间及成本要求更高。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提供一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，以解决现有的波导到光纤水平耦合器耦合效率较低，且耦合封装要求较高的技术问题。
[0005]为了对披露的实施例的一些方面有一个基本的理解，下面给出了简单的概括。该概括部分不是泛泛评述，也不是要确定关键／重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围。其唯一目的是用简单的形式呈现一些概念，以此作为后面的详细说明的序言。
[0006]本专利技术采用如下技术方案：在一些可选的实施例中，提供一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，包括：聚合物耦合波导结构，用于将集成光子芯片上已有波导中的光束由波导光模式转换成聚合物光模式并逐步耦合进入耦合器；聚合物三维波导，用于将贴近衬底的光模式提升一定高度至等同聚合物透镜光模式转换器的高度并进入所述聚合物透镜光模式转换器；聚合物透镜光模式转换器，用于放大当前光模式体积；其中，所述聚合物耦合波导结构与所述聚合物透镜光模式转换器的底面均与衬底表面接触。
[0007]进一步的，所述聚合物透镜光模式转换器为三维透镜结构，由锥形扩束结构和圆锥曲面构成。
[0008]进一步的，所述锥形扩束结构长度不大于30微米且逐渐变大，横截面从3.5微米
×
3.5微米扩展到不超过30微米
×
30微米；所述圆锥曲面的曲率半径大于3微米小于20微米，圆锥系数绝对值不大于3，长度不大于50微米。
[0009]进一步的，所述聚合物耦合波导结构、聚合物三维波导、聚合物透镜光模式转换器的组合材料包括SU8光刻胶、IP
‑
L光刻胶、IP
‑
D光刻胶、IP
‑
S光刻胶、AZ光刻胶中的一种或多种。
[0010]进一步的，所述聚合物耦合波导结构在与SU8波导对接时长度小于10微米，在与硅波导对接时长度小于300微米，在与铌酸锂波导对接时长度小于450微米。
[0011]进一步的，所述聚合物三维波导为弯曲波导对称镜像欧拉弯曲结构，所述对称镜像欧拉弯曲结构的转弯角度小于等于10
°
，最小转弯半径大于等于200微米，总高度小于等于10微米，总长度小于等于300微米。
[0012]进一步的，单个欧拉弯曲最小转弯半径点在结构中心之前。
[0013]进一步的，所述波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器通过三维激光直写技术定位于集成光路上的波导结构。
[0014]本专利技术所带来的有益效果：本专利技术使得光模式能在波导与单模光纤之间进行低损耗、大波长带宽的耦合，在与CMOS工艺高度兼容的前提下，耦合损耗小于2dB，工作波长带宽大于100nm，并具有偏振相关性低的特点，且本专利技术结构更加稳定。
附图说明
[0015]图1是本专利技术一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器的结构示意图。
[0016]图2是本专利技术一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器的侧视图。
具体实施方式
[0017]以下描述和附图充分地展示出本专利技术的具体实施方案，以使本领域的技术人员能够实践它们。其他实施方案可以包括结构的、逻辑的、电气的、过程的以及其他的改变。实施例仅代表可能的变化。除非明确要求，否则单独的部件和功能是可选的，并且操作的顺序可以变化。一些实施方案的部分和特征可以被包括在或替换其他实施方案的部分和特征。
[0018]如图1
‑
2所示，在一些说明性的实施例中，提供一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，包括：聚合物耦合波导结构4、聚合物三维波导3、聚合物透镜光模式转换器2。其中，聚合物耦合波导结构4、聚合物三维波导3、聚合物透镜光模式转换器2依次连接。
[0019]聚合物耦合波导结构4，用于将集成光子芯片上已有波导中的光束由波导光模式转换成聚合物光模式并逐步耦合进入耦合器。当以硅波导到单模光纤耦合为例进行说明时聚合物耦合波导结构4的作用是将将硅波导中的光模式逐步耦合转换成聚合物波导的光模式，并最终进入到聚合物三维波导3中。聚合物耦合波导结构4平放于水平面，其可与集成光路上已有的波导，如硅波导、SU8波导、铌酸锂波导等进行对接外延，使波导光模式进入耦合器。
[0020]聚合物三维波导3，用于将贴近衬底的光模式通过弯曲波导结构提升一定高度至等同聚合物透镜光模式转换器2的高度，进而使的光模式进入聚合物透镜光模式转换器2，方便与之后的聚合物透镜相连接。
[0021]聚合物透镜光模式转换器2，用于放大当前光模式体积，即将已有的光模式体积变换到能与光纤1匹配的大小，光模式在聚合物透镜光模式转换器2中由于波导尺寸逐渐变大导致模场尺寸变大，并最终与光纤1的光模式匹配，达到高效耦合的目的。
[0022]其中，光纤1包括但不限于单模光纤、少模光纤、拉锥光纤。
[0023]聚合物耦合波导结构4与聚合物透镜光模式转换器2的底面均与衬底表面接触，使得三维结构稳固，最终耦合效率接近1dB，即达到80%。其中，衬底材料包括但不限于硅、二氧化硅、氮化硅。由于聚合物三维波导3为弯曲波导结构，因此其不与衬底表面接触。
[0024]聚合物透镜光模式转换器2为三维透镜结构，是由一个锥形扩束结构201和一个圆锥曲面202构成。为使波导与光纤实现高效耦合，锥形扩束结构长度不大于30微米且逐渐变大，横截面从3.5微米
×
3.5微米扩展到不超过30微米
×
30微米；所述圆锥曲面的曲率半径大于3微米小于20微米，圆锥系数绝对值不大于3，长度不大于50微米。此结构目的是将光纤通过曲面的折射作用汇聚到一定的尺寸，实现与单模光纤模斑的高度重叠。
[0025]当以硅波导到单模光纤耦合为例进行说明时，锥形扩束结构长度为15微米，横截面从3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，其特征在于，包括：聚合物耦合波导结构，用于将集成光子芯片上已有波导中的光束由波导光模式转换成聚合物光模式并逐步耦合进入耦合器；聚合物三维波导，用于将贴近衬底的光模式提升一定高度至等同聚合物透镜光模式转换器的高度并进入所述聚合物透镜光模式转换器；聚合物透镜光模式转换器，用于放大当前光模式体积；其中，所述聚合物耦合波导结构与所述聚合物透镜光模式转换器的底面均与衬底表面接触。2.根据权利要求1所述的一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，其特征在于，所述聚合物透镜光模式转换器为三维透镜结构，由锥形扩束结构和圆锥曲面构成。3.根据权利要求2所述的一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，其特征在于，所述锥形扩束结构长度不大于30微米且逐渐变大，横截面从3.5微米
×
3.5微米扩展到不超过30微米
×
30微米；所述圆锥曲面的曲率半径大于3微米小于20微米，圆锥系数绝对值不大于3，长度不大于50微米。4.根据权利要求3所述的一种波导到光纤三维聚合物水平透镜耦合器，其特征在于，所述聚合物耦合波导结构、聚合物三维...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈力锋，胡紫阳，蔡文杰，
申请(专利权)人：江苏铌奥光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：