蒸镀装置制造方法及图纸

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板，盖板沿其径向由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；第一区域设置有与盖板同圆心设置的第一蒸发口部；第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的连线不重合；第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的第三蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部的间距相等。本申请提供的蒸镀装置有效地减小蒸镀的阴影区域，并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。度的均匀性。度的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置


[0001]本申请涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺其是其中的关键工序。在蒸镀过程中，采用蒸镀掩膜遮挡基材，蒸镀材料从蒸镀掩膜开口蒸镀到对应的基材位置上，但目前由于采用点源和线源的方式，蒸发源与基材之间会产生相对运动，从而导致掩膜和基材之间的间隙会出现蒸镀阴影区域，如果阴影区域过大，会导致像素的混色和色偏问题。
[0003]因此，目前亟待需要一种蒸镀装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种蒸镀装置，以减小蒸镀的阴影区域，并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
[0005]本申请实施例提供了一种蒸镀装置，包括：
[0006]坩埚，用于收容蒸镀材料，所述坩埚的顶部开口沿水平方向的截面为圆形；
[0007]盖板，盖设于所述坩埚上，所述盖板沿水平方向的截面为圆形，所述盖板沿其径向且由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；
[0008]所述第一区域设置有与所述盖板同圆心设置的第一蒸发口部；
[0009]所述第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的所述第二蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的所述第二蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的连线不重合；
[0010]所述第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的所述第三蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第三蒸发口部的间距相等。
[0011]在一种可能的设计中，所述盖板还包括位于所述第三区域外侧的第四区域，所述第四区域设置有至少一圈等间距分布的多个第四蒸发口部，每圈中的所述第四蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第四蒸发口部的间距相等；
[0012]所述第四蒸发口部的直径小于所述三蒸发口部的直径的一半，每圈中的相邻两个所述第四蒸发口部的间距小于每圈中的相邻两个所述第三蒸发口部的间距的一半。
[0013]在一种可能的设计中，所述第一蒸发口部位于所述盖板的中轴线且与所述盖板垂直，所述第二蒸发口部朝向所述盖板的中轴线倾斜设置，所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部均远离所述盖板的中轴线倾斜设置。
[0014]在一种可能的设计中，所述第二蒸发口部的出口截面与水平方向具有第一夹角，所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部的出口截面与水平方向具有第二夹角。
[0015]在一种可能的设计中，所述第一夹角为30-50度，所述第二夹角为40-60度。
[0016]在一种可能的设计中，所述第一蒸发口部位于所述盖板的中轴线且与所述盖板垂
直，所述第二蒸发口部、所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部均与所述盖板垂直。
[0017]在一种可能的设计中，所述第二蒸发口部、所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部的出口截面与水平方向具有夹角。
[0018]在一种可能的设计中，所述第一蒸发口部的内径沿所述蒸镀材料喷出的方向逐渐增大。
[0019]在一种可能的设计中，所述第二蒸发口部和所述第三蒸发口部的内径沿所述蒸镀材料喷出的方向逐渐减小。
[0020]在一种可能的设计中，所述坩埚的顶部设置有定位槽，所述盖板设置有定位凸起，所述盖板通过所述定位凸起与所述定位槽的配合与所述坩埚固定。
[0021]可见，本申请提供的蒸镀装置通过在盖板沿其径向且由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；第一区域设置有与盖板同圆心设置的第一蒸发口部；第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的连线不重合；第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的第三蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部的间距相等，如此设置可以有效地减小蒸镀的阴影区域，并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
附图说明
[0022]图1为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图；
[0023]图2为本申请实施例提供的蒸镀装置的俯视图；
[0024]图3为本申请实施例提供的第一蒸发口部的剖面示意图；
[0025]图4为本申请一个实施例提供的第二蒸发口部的剖面示意图；
[0026]图5为本申请一个实施例提供的第三蒸发口部的剖面示意图；
[0027]图6为本申请又一个实施例提供的第一蒸发口部、第二蒸发口部、第三蒸发口部和第四蒸发口部的正视图；
[0028]图7为本申请又一个实施例提供的第一蒸发口部、第二蒸发口部、第三蒸发口部和第四蒸发口部的正视图。
[0029]附图标记：
[0030]X-水平方向；
[0031]a-第一夹角；
[0032]b-第二夹角；
[0033]10-基材；
[0034]20-掩膜；
[0035]1-坩埚；
[0036]11-定位槽；
[0037]2-盖板；
[0038]21-第一区域；
[0039]211-第一蒸发口部；
[0040]22-第二区域；
[0041]221-第二蒸发口部；
[0042]23-第三区域；
[0043]231-第三蒸发口部；
[0044]24-第四区域；
[0045]241-第四蒸发口部；
[0046]25-定位凸起。
[0047]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
具体实施方式
[0048]以下结合附图及实施例，对本申请进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0049]在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0050]本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
[0051]如图1和图2所示，其分别为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图和俯视图。该蒸镀装置包括坩埚1和盖板2，其中：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：坩埚(1)，用于收容蒸镀材料，所述坩埚(1)的顶部开口沿水平方向(X)的截面为圆形；盖板(2)，盖设于所述坩埚(1)上，所述盖板(2)沿水平方向(X)的截面为圆形，所述盖板(2)沿其径向且由内向外依次设置有第一区域(21)、第二区域(22)和第三区域(23)；所述第一区域(21)设置有与所述盖板(2)同圆心设置的第一蒸发口部(211)；所述第二区域(22)设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部(221)，每圈中的所述第二蒸发口部(221)的圆心到所述盖板(2)的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第二蒸发口部(221)的间距相等，相邻两圈的所述第二蒸发口部(221)的圆心到所述盖板(2)的圆心的连线不重合；所述第三区域(23)设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部(231)，每圈中的所述第三蒸发口部(231)的圆心到所述盖板(2)的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第三蒸发口部(231)的间距相等。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述盖板(2)还包括位于所述第三区域(23)外侧的第四区域(24)，所述第四区域(24)设置有至少一圈等间距分布的多个第四蒸发口部(241)，每圈中的所述第四蒸发口部(241)的圆心到所述盖板(2)的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第四蒸发口部(241)的间距相等；所述第四蒸发口部(241)的直径小于所述三蒸发口部的直径的一半，每圈中的相邻两个所述第四蒸发口部(241)的间距小于每圈中的相邻两个所述第三蒸发口部(231)的间距的一半。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸发口部(211)位于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林文晶，轩景泉，刘萍，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：