光源的谱段分割装置及光谱仪制造方法及图纸

技术编号:30062634 阅读:61 留言:0更新日期:2021-09-15 11:12
本实用新型专利技术提供光源的谱段分割装置及光谱仪,该装置包括:UV通过元件,用于使自宽谱光源入射至该UV通过元件的光中的UV谱段的光射出;VIS通过元件,用于使自宽谱光源入射至该VIS通过元件的光中的VIS谱段的光射出;NIR通过元件,用于使自宽谱光源入射至该NIR通过元件的光中的NIR谱段的光射出;以及驱动装置,用于进行驱动,以使自宽谱光源射出的光能够分别入射至UV通过元件、VIS通过元件和NIR通过元件。由此,能够得到单独的UV谱段的光、单独的VIS谱段的光、单独的NIR谱段的光、全谱段的光、UV谱段+VIS谱段的光、UV谱段+NIR谱段的光、VIS谱段+NIR谱段的光中的至少一个。谱段+NIR谱段的光中的至少一个。谱段+NIR谱段的光中的至少一个。

【技术实现步骤摘要】
光源的谱段分割装置及光谱仪


[0001]本技术涉及光谱分割领域,尤其涉及一种光源的谱段分割装置及光谱仪。

技术介绍

[0002]常见的宽谱光源,比如氙灯(185nm

1100nm),具有从深紫外到近红外的连续光谱。在有些应用中,同一时刻,只需要UV(紫外光)、VIS(可见光)和NIR(近红外光)三个波段中的一个波段的光照射物体。因此,需要对宽谱光源的UV

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NIR三谱段进行分割,继而独立控制UV、VIS和NIR三个波段的光的发射与否。
[0003]目前通常使用截止滤光片,比如长通、短通或带通滤光片,并通过切换不同的截止滤光片来实现谱段分割。然而,现有的截止滤光片截止的光谱范围有限,无法实现UV、VIS和NIR的三谱段分割。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提出了一种能够实现对宽谱光源的UV

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NIR 三谱段进行分割的技术方案,具体是光源的谱段分割装置及光谱仪。
[0005]对于本技术提供的光源的谱段分割装置,所述光源的谱段分割装置为宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置,其包括:UV通过元件,用于使自所述宽谱光源入射至该UV通过元件的光中的UV谱段的光射出;VIS通过元件,用于使自所述宽谱光源入射至该VIS通过元件的光中的VIS谱段的光射出;NIR通过元件,用于使自所述宽谱光源入射至该NIR通过元件的光中的 NIR谱段的光射出;以及驱动装置,用于进行驱动,以使自所述宽谱光源射出的光能够分别入射至所述UV通过元件、所述VIS通过元件和所述NIR通过元件。
[0006]对于上述光源的谱段分割装置,在一种可能的实现方式中,所述UV通过元件包括:前置二向色镜,其设置在自所述宽谱光源射出的光的主光路上,并设置为使自所述宽谱光源射出的光以45
°
角入射至该前置二向色镜,其中,将经由所述前置二向色镜反射之后的光作为所述UV谱段的光射出。
[0007]对于上述光源的谱段分割装置,在一种可能的实现方式中,所述UV通过元件包括:前置二向色镜,其设置在自所述宽谱光源射出的光的主光路上,并设置为使自所述宽谱光源射出的光以45
°
角入射至该前置二向色镜;前置反射镜,其以与所述前置二向色镜平行的方式设置在自所述宽谱光源射出的光的第一侧光路上,并设置为使经由所述前置二向色镜反射之后的光以45
°
角入射至该前置反射镜,以使得经由该前置反射镜反射之后的光以与入射至所述前置二向色镜的光平行的方向射出;后置反射镜,其以与所述前置反射镜垂直的方式设置在自所述宽谱光源射出的光的第二侧光路上,并设置为使经由所述前置反射镜反射之后的光以45
°
角入射至该后置反射镜,以使得经由该后置反射镜反射之后的光以与入射至所述前置反射镜的光平行的方向射出;以及后置二向色镜,其以与所述后置反射镜平行的方式设置在自所述宽谱光源射出的光的第三侧光路上,并设置为使经由所述后置反射镜反射之后的光以45
°
角入射至该后置二向色镜,以使得经由该后置二向色镜反射之后
的光以与入射至所述后置反射镜的光平行的方向射出,其中,将经由所述后置二向色镜反射之后的光作为所述UV谱段的光射出。
[0008]对于上述光源的谱段分割装置,在一种可能的实现方式中,还包括:电控转轮,其设置为相比所述前置二向色镜远离所述宽谱光源,并具有设置了所述NIR通过元件的NIR孔、设置了所述VIS通过元件的VIS孔、处于常开状态的开孔、以及处于常闭状态的闭孔,其中,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以使所述NIR孔、所述VIS孔、所述开孔、所述闭孔能够分别被切换至位于所述主光路上,其中,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出UV谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述闭孔切换至位于所述主光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出VIS谱段的光或者UV谱段+VIS谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述VIS孔切换至位于所述主光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出 NIR谱段的光或者UV谱段+NIR谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述NIR孔切换至位于所述主光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出全谱段的光或者VIS谱段+NIR谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述开孔切换至位于所述主光路上。
[0009]对于上述光源的谱段分割装置,在一种可能的实现方式中,还包括:电控转轮,其设置在所述前置二向色镜和所述后置二向色镜之间,并具有设置了所述NIR通过元件的NIR孔、设置了所述VIS通过元件的VIS孔、处于常开状态的第一开孔、第二开孔和第三开孔、以及处于常闭状态的第一闭孔、第二闭孔和第三闭孔,其中,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以使所述NIR孔、所述VIS孔、所述第一开孔、所述第二开孔、所述第三开孔、所述第一闭孔、所述第二闭孔、所述第三闭孔能够分别被切换至位于所述主光路或者所述第二侧光路上,其中,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出UV谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述第一闭孔切换至位于所述主光路上,相应地,所述第一开孔位于所述第二侧光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出VIS谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述VIS孔切换至位于所述主光路上,相应地,所述第二闭孔位于所述第二侧光路上,在利用所述宽谱光源的UV

VIS

NIR三谱段分割装置输出NIR谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述NIR孔切换至位于所述主光路上,相应地,所述第三闭孔位于所述第二侧光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出全谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述第二开孔切换至位于所述主光路上,相应地,所述第三开孔位于所述第二侧光路上。
[0010]对于上述光源的谱段分割装置,在一种可能的实现方式中,所述电控转轮还具有处于常开状态的第四开孔和第五开孔,其中,所述驱动装置还对所述电控转轮进行驱动,以使所述NIR孔、所述VIS孔、所述第一开孔、所述第四开孔、所述第五开孔、所述第一闭孔能够分别被切换至位于所述主光路或者所述第二侧光路上,其中,在利用所述宽谱光源的UV...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光源的谱段分割装置,所述光源的谱段分割装置为宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置,其特征在于,包括:UV通过元件,用于使自所述宽谱光源入射至该UV通过元件的光中的UV谱段的光射出;VIS通过元件,用于使自所述宽谱光源入射至该VIS通过元件的光中的VIS谱段的光射出;NIR通过元件,用于使自所述宽谱光源入射至该NIR通过元件的光中的NIR谱段的光射出;以及驱动装置,用于进行驱动,以使自所述宽谱光源射出的光能够分别入射至所述UV通过元件、所述VIS通过元件和所述NIR通过元件。2.根据权利要求1所述的光源的谱段分割装置,其特征在于,所述UV通过元件包括:前置二向色镜,其设置在自所述宽谱光源射出的光的主光路上,并设置为使自所述宽谱光源射出的光以45
°
角入射至该前置二向色镜,其中,将经由所述前置二向色镜反射之后的光作为所述UV谱段的光射出。3.根据权利要求1所述的光源的谱段分割装置,其特征在于,所述UV通过元件包括:前置二向色镜,其设置在自所述宽谱光源射出的光的主光路上,并设置为使自所述宽谱光源射出的光以45
°
角入射至该前置二向色镜;前置反射镜,其以与所述前置二向色镜平行的方式设置在自所述宽谱光源射出的光的第一侧光路上,并设置为使经由所述前置二向色镜反射之后的光以45
°
角入射至该前置反射镜,以使得经由该前置反射镜反射之后的光以与入射至所述前置二向色镜的光平行的方向射出;后置反射镜,其以与所述前置反射镜垂直的方式设置在自所述宽谱光源射出的光的第二侧光路上,并设置为使经由所述前置反射镜反射之后的光以45
°
角入射至该后置反射镜,以使得经由该后置反射镜反射之后的光以与入射至所述前置反射镜的光平行的方向射出;以及后置二向色镜,其以与所述后置反射镜平行的方式设置在自所述宽谱光源射出的光的第三侧光路上,并设置为使经由所述后置反射镜反射之后的光以45
°
角入射至该后置二向色镜,以使得经由该后置二向色镜反射之后的光以与入射至所述后置反射镜的光平行的方向射出,其中,将经由所述后置二向色镜反射之后的光作为所述UV谱段的光射出。4.根据权利要求2所述的光源的谱段分割装置,其特征在于,还包括:电控转轮,其设置为相比所述前置二向色镜远离所述宽谱光源,并具有设置了所述NIR通过元件的NIR孔、设置了所述VIS通过元件的VIS孔、处于常开状态的开孔、以及处于常闭状态的闭孔,其中,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以使所述NIR孔、所述VIS孔、所述开孔、所述闭孔能够分别被切换至位于所述主光路上,其中,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出UV谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述闭孔切换至位于所述主光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出VIS谱段的光或者UV谱段+VIS
谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述VIS孔切换至位于所述主光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出NIR谱段的光或者UV谱段+NIR谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述NIR孔切换至位于所述主光路上,在利用所述宽谱光源的UV

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NIR三谱段分割装置输出全谱段的光或者VIS谱段+NIR谱段的光的情况下,所述驱动装置对所述电控转轮进行驱动,以将所述开孔切换至位于所述主光路上。5.根据权利要求3所述的光源的谱段分割装置,其特征在于,还包括:电控转轮,其设置在所述前置二向色镜和所述后置二向色镜之间,并具有设置了所述NIR通过元件的NIR孔、设置了所...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁振敏
申请(专利权)人:芯视界北京科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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