本实用新型专利技术涉及磁控溅射镀膜设备技术领域,公开了一种圆柱靶磁铁顶出装置,包括靶材,所述靶材的内侧设置有极靴,所述极靴的外侧固定连接有若干个伸缩器,所述伸缩器的外侧设置连接有磁铁,所述磁铁的底部固定连接有连接板,所述连接板的底部固定连接有连接柱,所述连接柱的底部设置连接有固定柱,所述连接柱的外侧固定连接有复位弹簧,且连接柱的内侧固定连接有润滑层,所述连接柱的内侧底端固定连接有限位板。本实用新型专利技术通过连接柱、复位弹簧、极靴和磁铁,当极靴内腔增大气压,安装在连接柱上的磁铁被压缩,连接柱带动磁铁向外伸出,当气压减小,复位弹簧还原到初始状态,连接柱缩回,便于工作人员的使用。便于工作人员的使用。便于工作人员的使用。
【技术实现步骤摘要】
一种圆柱靶磁铁顶出装置
[0001]本技术涉及磁控溅射镀膜设备
,具体是一种圆柱靶磁铁顶出装置。
技术介绍
[0002]近年来,随着溅射设备及工艺方法的不断创新,无论是金属,还是其他材料,均可用溅射技术制备薄膜,满足各行各业的需求。为提高二极溅射的溅射速率,减弱二次电子撞击基片发热对膜层的不利影响,发展了磁控溅射技术,因此,市场上出现了一种圆柱靶磁铁顶出装置被人们广泛使用。
[0003]目前市场上存在多种圆柱靶磁铁顶出装置,但是这些圆柱靶磁铁顶出装置使用起来多有不便,溅射效率底,且极靴容易损坏,不能满足人们对圆柱靶磁铁顶出装置的要求。因此,本领域技术人员提供了一种圆柱靶磁铁顶出装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种圆柱靶磁铁顶出装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种圆柱靶磁铁顶出装置,包括靶材,所述靶材的内侧设置有极靴,所述极靴的外侧固定连接有若干个伸缩器,所述伸缩器的外侧设置连接有磁铁,所述磁铁的底部固定连接有连接板,所述连接板的底部固定连接有连接柱,所述连接柱的底部设置连接有固定柱。
[0007]作为本技术再进一步的方案:所述连接柱的外侧固定连接有复位弹簧,且连接柱的内侧固定连接有润滑层,所述连接柱的内侧底端固定连接有限位板。
[0008]作为本技术再进一步的方案:所述极靴的内部中间固定连接有冷却板,且极靴的内部一侧固定连接有加固圈。
[0009]作为本技术再进一步的方案:所述固定柱的顶部固定连接有挡板。
[0010]作为本技术再进一步的方案:所述冷却板的内部固定连接有若干个冷却水囊。
[0011]作为本技术再进一步的方案:所述连接柱的底部固定连接有底板。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0013]1、通过连接柱、复位弹簧、极靴和磁铁,磁铁安装在连接柱上,当极靴内腔增大气压,安装在连接柱上的磁铁被压缩,连接柱带动磁铁向外伸出,当气压减小,复位弹簧还原到初始状态,连接柱缩回,使磁铁沿极靴径向运动来实现磁力沿靶材径向的大小,当刻蚀不均、沉积速率、溅射效率不理想的时候,可以通过此种装置来弥补此缺陷,方便了工作人员的使用。
[0014]2、通过挡板、加固圈、润滑层、冷却板和冷却水囊,连接柱的内部设置有润滑层,润滑层对连接柱的内壁进行润滑,使得连接柱在伸缩时更加顺畅,挡板配合限位板可对连接
柱进行位置限制,防止连接柱在延伸时造成脱落,加固圈可对极靴进行加固,增加极靴的抗压强度,从而增加极靴的使用寿命,冷却板的内部设置有多个冷却水囊,可对极靴进行降温保护,提高极靴的耐热性,提高该装置的实用性,方便了工作人员的使用。
附图说明
[0015]图1为一种圆柱靶磁铁顶出装置的结构示意图;
[0016]图2为一种圆柱靶磁铁顶出装置中伸缩器的剖面图;
[0017]图3为一种圆柱靶磁铁顶出装置中极靴的剖面图。
[0018]图中:1、靶材;2、极靴;3、磁铁;4、伸缩器;5、连接板;6、连接柱;7、润滑层;8、复位弹簧;9、挡板;10、限位板;11、底板;12、固定柱;13、加固圈;14、冷却板;15、冷却水囊。
具体实施方式
[0019]请参阅图1~3,本技术实施例中,一种圆柱靶磁铁顶出装置,包括靶材1,靶材1的内侧设置有极靴2,极靴2的外侧固定连接有若干个伸缩器4,伸缩器4的外侧设置连接有磁铁3。
[0020]在图2中:磁铁3的底部固定连接有连接板5,连接板5的底部固定连接有连接柱6,连接柱6的底部设置连接有固定柱12,连接柱6的外侧固定连接有复位弹簧8,且连接柱6的内侧固定连接有润滑层7,连接柱6的内侧底端固定连接有限位板10,固定柱12的顶部固定连接有挡板9,连接柱6的底部固定连接有底板11,当极靴2内腔增大气压,安装在连接柱6上的磁铁3被压缩,连接柱6带动磁铁3向外伸出,当气压减小,复位弹簧8还原到初始状态,连接柱6缩回,使磁铁3沿极靴2径向运动来实现磁力沿靶材1径向的大小。
[0021]在图3中:极靴2的内部中间固定连接有冷却板14,且极靴2的内部一侧固定连接有加固圈13,冷却板14的内部固定连接有若干个冷却水囊15,加固圈13可对极靴2进行加固,增加极靴2的抗压强度,从而增加极靴2的使用寿命,冷却板14的内部设置有多个冷却水囊15,可对极靴2进行降温保护,提高极靴2的耐热性。
[0022]本技术的工作原理是:磁铁3安装在连接柱6上,当极靴2内腔增大气压,安装在连接柱6上的磁铁3被压缩,连接柱6带动磁铁3向外伸出,当气压减小,复位弹簧8还原到初始状态,连接柱6缩回,使磁铁3沿极靴2径向运动来实现磁力沿靶材1径向的大小,当刻蚀不均、沉积速率、溅射效率不理想的时候,可以通过此种装置来弥补此缺陷,连接柱6的内部设置有润滑层7,润滑层7对连接柱6的内壁进行润滑,使得连接柱6在伸缩时更加顺畅,挡板9配合限位板10可对连接柱6进行位置限制,防止连接柱6在延伸时造成脱落,加固圈13可对极靴2进行加固,增加极靴2的抗压强度,从而增加极靴2的使用寿命,冷却板14的内部设置有多个冷却水囊15,可对极靴2进行降温保护,提高极靴2的耐热性,提高该装置的实用性,方便了工作人员的使用。
[0023]以上所述的,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种圆柱靶磁铁顶出装置,包括靶材(1),其特征在于,所述靶材(1)的内侧设置有极靴(2),所述极靴(2)的外侧固定连接有若干个伸缩器(4),所述伸缩器(4)的外侧设置连接有磁铁(3),所述磁铁(3)的底部固定连接有连接板(5),所述连接板(5)的底部固定连接有连接柱(6),所述连接柱(6)的底部设置连接有固定柱(12)。2.根据权利要求1所述的一种圆柱靶磁铁顶出装置,其特征在于,所述连接柱(6)的外侧固定连接有复位弹簧(8),且连接柱(6)的内侧固定连接有润滑层(7),所述连接柱(6)的内侧底端固定连接有限...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵岩,苗润财,苗润发,苗伟伟,王健,
申请(专利权)人:上海繁枫真空科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。