一种靶材组件尺寸检测夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种靶材组件尺寸检测夹具，所述检测夹具的主体结构为设有凹槽的平板，所述凹槽由中部圆形凹槽以及分别设置于所述中部圆形凹槽径向两端的两个延伸槽构成，所述中部圆形凹槽与延伸槽重合的部分直接连通，构成一个凹槽整体；所述靶材组件中背板的安装面向下置于所述凹槽中。本实用新型专利技术所述检测夹具通过简单的结构设计，能够快速检测靶材组件中背板的外圆直径尺寸是否合格，避免因局部变形而容易造成的检测不准确问题，保证背板直径检测的精度和产品合格率；所述凹槽的结构设计，方便靶材组件的放置与取出，简化了靶材组件检测的操作；所述检测夹具结构简单，且不易造成靶材组件的损伤，具有广阔的应用前景。具有广阔的应用前景。具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材组件尺寸检测夹具


[0001]本技术属于靶材加工
，涉及一种靶材组件尺寸检测夹具。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的快速发展，镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加。靶材作为一种重要的镀膜材料，在集成电路、平面显示、太阳能、光学器件等领域具有广泛的应用，其主要制备方法为物理气相沉积法，最常使用的为溅射镀膜法。
[0003]靶材在溅射镀膜过程中，对靶材尺寸的要求较高，因而需要在靶材加工过程中精确控制靶材的尺寸，尤其是外圆直径尺寸，而保证尺寸合格的最后一道工序是尺寸检测工序，利用检测设备对靶材产品的外圆进行检测，以更好地保证产品的尺寸，防止尺寸不合格的问题；目前通常使用三坐标设备三点构造一个圆进行检测，但该方法容易出现检测不准确的问题，如产品圆周上某一处变形而无法检测出外圆直径的真实数据，因而需要对检测设备及方法进行改进。
[0004]CN 202793347U公开了一种靶材检测夹具，包括：底座；定位部，设置于所述底座上，所述定位部具有凹槽，所述凹槽的开口方向与所述底座相背，所述凹槽的侧壁形状与待检测靶材的侧面形状相吻合，在将待检测靶材置于所述凹槽时，所述待检测靶材的部分侧面与所述凹槽侧壁贴合；保护部，包括第一保护部和第二保护部，所述第一保护部设置在所述待检测靶材的溅射面一侧，所述第二保护部设置在与所述待检测靶材溅射面相对的一侧，防止置于所述凹槽的待检测靶材侧倒。该靶材检测夹具的结构设置主要是为了精准测量安装插销的尺寸，并避免靶材夹紧时容易造成的损伤，并未涉及到对靶材直径尺寸的测量。
[0005]CN 209239838U公开了一种靶材检测用夹具，包括第一支架、第一气缸、第一活塞杆、第二支架、第三支架、第二气缸、第二活塞杆，所述第一活塞杆上端连接有支撑板，所述第二支架上设有滑槽，所述支撑板两端固定有与所述滑槽相匹配的滑块，所述第二活塞杆下端连接上固定块，所述上固定块下端面设有弧形上凹槽，所述第三支架下方的所述支撑板上设有基座，基座上设有定位块，所述定位块上设有弧形定位槽，所述定位块两侧内壁设有插接轨道，所述上固定块两侧外壁设有与所述插接轨道相匹配的插接槽，所述上凹槽和所述定位槽上均设有防滑件。该检测夹具同样是为了对检测过程中的靶材进行定位，防止靶材在检测过程中的晃动，但并未明确靶材的检测参数，且该装置结构复杂，不利于快速、便捷检测。
[0006]综上所述，对于靶材组件尺寸的检测夹具，尤其是直径尺寸的检测，还需要选择合适结构的检测组件或夹具，使之既能够准确检测靶材及背板的尺寸，又能够避免靶材产品的损伤或变形，保证产品质量。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种靶材组件尺寸检测夹
具，所述检测夹具通过简单的结构设计，能够快速检测靶材组件中背板的外圆直径尺寸是否合格，避免因背板局部变形而容易造成的检测不准确问题，同时能够避免常规检测时容易造成的靶材组件损伤或变形的问题，保证靶材产品的精度和质量。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]本技术提供了一种靶材组件尺寸检测夹具，所述靶材组件尺寸检测夹具的主体结构为设有凹槽的平板，所述凹槽由中部圆形凹槽以及分别设置于所述中部圆形凹槽径向两端的两个延伸槽构成，所述中部圆形凹槽与延伸槽重合的部分直接连通，构成一个凹槽整体；所述靶材组件包括焊接固定的靶材和背板，所述背板的安装面向下置于所述凹槽中。
[0010]本技术中，靶材及背板尺寸的检测是保证靶材产品合格的一道重要工序，而基于背板在靶材溅射中的作用，其安装面一侧的结构通常并非实心结构，而是由圆环形成的空心筒体，而现有检测设备对这一部分的检测精确性往往不高，因而本技术提供了一种检测夹具，通过设置与背板直径尺寸相近的凹槽，并对凹槽的尺寸进行控制，从而能够检测该尺寸下的背板安装面的尺寸，同时通过对凹槽结构的设计，方便靶材组件的放置与取出；所述检测夹具结构简单，检测操作便捷，靶材组件尺寸检测的精度高，且不易造成靶材组件的损伤，具有广阔的应用前景。
[0011]以下作为本技术优选的技术方案，但不作为本技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本技术的技术目的和有益效果。
[0012]作为本技术优选的技术方案，所述设有凹槽的平板整体呈圆形，所述平板的边缘设有一圈凸起。
[0013]本技术中，所述检测夹具的主体结构即为凹槽，而凹槽是设置于平板之上的，根据靶材背板及凹槽的常见形状，所述平板的形状也通常与其相匹配，而为了避免对凹槽及靶材组件可能造成的污损，在平板的外侧边缘设有一圈凸起，相当于整个平板为一个凹槽，便于对靶材产品的保护，也便于平板整体的移动。
[0014]作为本技术优选的技术方案，所述平板的材质与靶材组件中背板的材质相同。
[0015]本技术中，由于靶材使用时对纯度要求较高，因而在靶材加工的各步操作中尽可能避免减少与其他材质的接触，因而优先选择平板的材质与直接接触的待检测靶材组件的背板相同。
[0016]作为本技术优选的技术方案，所述中部圆形凹槽两侧的延伸槽关于中部圆形凹槽对称。
[0017]作为本技术优选的技术方案，所述延伸槽的形状呈方形。
[0018]作为本技术优选的技术方案，所述延伸槽的长度或宽度独立地为中部圆形凹槽直径的1/5～1/2，例如1/5、1/4、3/10、1/3、2/5、9/20或1/2等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0019]本技术中，所述延伸槽的设置主要是为了方便靶材组件的放置与取出，因此在圆形凹槽的径向两端分别设置一个延伸槽，所述延伸槽的尺寸与靶材组件及圆形凹槽的尺寸相关，至少应该满足便于人工拿取。
[0020]作为本技术优选的技术方案，所述背板的安装面的直径不大于中部圆形凹槽
的直径。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述背板的侧面有一圈圆环形凸起，所述圆环形凸起的直径大于中部圆形凹槽的直径。
[0022]作为本技术优选的技术方案，所述圆环形凸起与背板安装面之间的距离小于中部圆形凹槽的深度。
[0023]本技术中，为了便于背板直径尺寸的精确检测，所述背板安装面的直径尺寸最好与中部圆形凹槽一致，若背板的直径比圆形凹槽小太多，也就不具备尺寸检测的准确性；而根据背板的结构侧面有一圈直径相比安装面较大的环形凸起，此时正好可以架设在凹槽上，避免背板完全嵌入凹槽，与凹槽底部直接接触的问题，同时对圆环形凸起与背板安装面之间的距离与凹槽的深度进行限定，以控制背板安装面与凹槽底部的不直接接触。
[0024]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0025](1)本技术所述检测夹具通过简单的结构设计，能够快速检测靶材组件中背板的外圆直径尺寸是否合格，避免因局部变形而容易造成的检测不准确问题，保证靶材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材组件尺寸检测夹具，其特征在于，所述靶材组件尺寸检测夹具的主体结构为设有凹槽的平板，所述凹槽由中部圆形凹槽以及分别设置于所述中部圆形凹槽径向两端的两个延伸槽构成，所述中部圆形凹槽与延伸槽重合的部分直接连通，构成一个凹槽整体；所述靶材组件包括焊接固定的靶材和背板，所述背板的安装面向下置于所述凹槽中。2.根据权利要求1所述的靶材组件尺寸检测夹具，其特征在于，所述设有凹槽的平板整体呈圆形，所述平板的边缘设有一圈凸起。3.根据权利要求1所述的靶材组件尺寸检测夹具，其特征在于，所述平板的材质与靶材组件中背板的材质相同。4.根据权利要求1所述的靶材组件尺寸检测夹具，其特征在于，所述中部圆形凹槽两侧的...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，赵波，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：