用于选择性废气处置的方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及一种用于选择性废气处置的系统及方法。所述方法包括：基于相应的所连接的泵单元的出口处的至少预期的废气成分而各别地控制多个阀单元，以将废气选择性地引导到第一气体净化器、第二气体净化器和/或可选的另外的气体净化器，以用于在相应的气体净化器中处置废气。处置废气。处置废气。

【技术实现步骤摘要】
用于选择性废气处置的方法及系统


[0001]本专利技术涉及用于来自具有真空泵的多个工艺单元的选择性废气处置及处理的方法及系统。依据这些工艺单元的相应的处理条件，针对大气气体和/或待还原及待氧化的废气和/或相应的气体混合物来具体阐述工艺及系统。

技术介绍

[0002]在技术上，已知各种各样的应用，其中所生成的废气对环境具有潜在危害，且因此所述废气在被排放到环境中之前需要进行处置。存在各种处置工艺，所述处置工艺包括以下中的一者或多者仅作为实例：稀释(dilution)、使用液体的气体净化、引入反应性组分、热分解、还原、氧化、催化工艺或过滤。所使用的工艺取决于所生成的废气，其中在单个场地(site)处使用不同的工艺。在下文中，用于施行此类工艺的装置被称为气体净化器(gas scrubber)，而不论处置工艺如何。
[0003]用于废气处理的系统是已知的，例如，来自用于光伏或半导体应用的半导体处理的系统。生成待处置废气的常见半导体处理方法是使用等离子体增强型化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD)的层形成。可依据所形成的层而生成需要不同处置的不同废气。
[0004]在大多数情形中，使用直接位于工艺单元的下游的局部气体净化器以及来自不同工艺单元的废气所到达的一个中心气体净化器在一个场地处进行废气处置。局部气体净化器直接位于废气的起始点处作为所谓的使用点(point
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of
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use)气体净化器或POU气体净化器，且通常是针对所使用的工艺而专门设计并且针对相关联的工艺单元中生成的废气量而确定大小。局部气体净化器通常被分派到单个工艺单元，且来自工艺单元的所有废气首先通过局部气体净化器，之后所述所有废气被馈送到中心气体净化器。在局部气体净化器中使用的处置工艺以如下方式进行设计：来自对应的工艺单元的所有废气可通过在局部气体净化器中与中心气体净化器中的组合处置而变得无害。如果预期的废气无法被中心气体净化器充分处置，则一般仅使用局部气体净化器。尤其是在实行多阶段工艺的工艺单元的情形中，可以交错的方式产生不同的废气，此可能需要不同的处置工艺，所述不同的处置工艺一方面由局部气体净化器提供且另一方面由中心气体净化器提供。由于现有的组合，所有废气通过所述两个气体净化器，此使得处置安全，但可能会导致高负担的努力及成本。
[0005]中心气体净化器在场地上位于合适的位置中且通常被设计用于一般的处置，所述一般的处置可处置各种各样的废气。局部气体净化器与中心气体净化器常常组合起来实行预处置(pre
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treatment)及后处置(post
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treatment)。
[0006]举例来说，对于氨气和/或甲烷组分的中和，使用局部气体净化器是可取的。此种中和工艺不仅建立起来复杂，而且同样与高成本及高安全要求相关联。
[0007]由于通常情况下并非一个场地处的所有工艺单元均产生相应的废气，因此在中心气体净化器中建立此种工艺(在所述工艺中，场地的所有废气聚集在一起且因此经受相应的工艺)将过于复杂且成本密集。通过首先在局部气体净化器处对来自需要特定分离工艺
的工艺单元的所有废气进行处置，可简化中心气体净化器处的程序。
[0008]然而，各别局部气体净化器的维护及间歇性高负载周期可能会导致问题。在维护周期期间，所连接的工艺单元可能不会进行操作且一些处置工艺也可能具有废气容积和/或成分波动的问题。另外，可能仅针对间歇性地出现、可能以低废气容积出现的废气而需要特殊工艺，但必须针对工艺序列期间出现的所有废气容积来设计所述处置。废气作为气体混合物首先在共用管线中被路由穿过POU气体净化器，且接着被路由到中心气体净化器，此也会能会出现问题。尤其是在工艺单元的初始泵抽(例如，从外界压力泵抽到工艺压力)期间，更大量的外界空气也通过管线被泵抽到相应的气体净化器。因此，所涉及的气体净化器通常可永远不被关闭。固体沉积物(例如细微灰尘)的排出工艺(blow
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out process)或清洁工艺变得更困难。
[0009]专利技术目的
[0010]本专利技术旨在减少或克服以上问题或缺点中的一者或多者。
[0011]此可包括具有不同处置要求的废气(一般来说，例如一些部分将被氧化且一些部分将被还原的气体)的处置及处理以及处置工艺及硬件要求的优化二者。此可包括对整个工艺内的各别子工艺进行优化，以使整个工艺更高效、更经济且同时更安全。此外，如果需要，则可在本专利技术的教示内对已经存在的系统进行改造。

技术实现思路

[0012]具体来说，提供一种用于废气的选择性废气处置的系统，所述系统包括至少一个工艺集群，所述至少一个工艺集群具有：一组工艺单元；多个泵单元，对应于所述一组工艺单元中的工艺单元的数目，每一泵单元连接到所述工艺单元中的一者的出口；多个阀单元，对应于所述泵单元的数目，每一阀单元连接到泵单元的出口，且每一阀单元被配置成将所连接的所述泵单元的所述出口选择性地连接到多个不同的出口中的相应一者。所述系统还包括：第一气体净化器，被配置用于第一类型的废气处置且连接到所述多个阀单元的相应的第一出口；第二气体净化器，被配置用于与所述第一类型不同的第二类型的废气处置且连接到所述多个阀单元的相应的第二出口；以及阀控制单元，被配置成各别地控制每一阀单元以将废气选择性地引导到所述出口中的一者。
[0013]举例来说，可将若干工艺单元进行组合以形成工艺集群可为有利的，其中可将废气选择性地引导到工艺集群的第一气体净化器或引导到第二气体净化器，所述第一气体净化器及第二气体净化器中的每一者提供不同的处置。此使得可使废气处置各别化且改善对废气处置工艺的协调。与已知系统相比，所有气体净化器的功能维护及清洁方面均得到改善。通过将若干工艺单元组合成工艺集群，可改善第一气体净化器的利用率，且如果必要，则减少系统中的气体净化器的数目。
[0014]在另外的实施例中，还提供一种包括至少一个另外的工艺集群的系统，所述至少一个另外的工艺集群包括：一组工艺单元；多个泵单元，对应于所述一组工艺单元中的工艺单元的数目，其中每一泵单元连接到所述工艺单元中的一者的出口；多个阀单元，对应于所述泵单元的数目，其中每一阀单元连接到泵单元的出口，且其中每一阀单元被配置成将所连接的所述泵单元的所述出口选择性地连接到多个不同的出口中的相应一者；以及第一气体净化器，被配置用于第一类型的废气处置且连接到所述多个阀单元的相应的第一出口，
其中所述阀单元的相应的第二出口连接到所述第二气体净化器。所述系统可视需要包括至少一个能够各别地控制的旁通管线，所述旁通管线将相应的工艺集群的所述气体净化器的入口管线与另一工艺集群的气体净化器的入口管线连接。
[0015]在另外的实施例中，一个工艺集群的所述工艺单元和/或每一另外的工艺集群的所述工艺单元各自是相同的类型且被设计用于相同的工艺。
[0016]另外的实施例提供一种系统，所述系统包括工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于废气的选择性废气处置的系统，包括：至少一个工艺集群，具有一组工艺单元，多个泵单元，对应于一组工艺单元的数目，每一泵单元连接到工艺单元中的一者的出口，多个阀单元，对应于泵单元的数目，每一阀单元连接到一个泵单元的出口，且每一阀单元被配置成将所连接的泵单元的出口选择性地连接到多个不同出口中的相应一者，以及第一气体净化器，被配置用于第一类型的废气处置，且连接到多个阀单元的相应的第一出口；第二气体净化器，被配置用于与第一类型不同的第二类型的废气处置，且连接到多个阀单元的相应的第二出口；以及阀控制单元，被配置成各别地控制每一阀单元，以将废气选择性地引导到出口中的一者。2.根据权利要求1所述的用于废气的选择性废气处置的系统，包括至少一个另外的工艺集群，具有一组工艺单元，多个泵单元，对应于一组工艺单元的数目，每一泵单元连接到工艺单元中的一者的出口，多个阀单元，对应于泵单元的数目，每一阀单元连接到一个泵单元的出口，且每一阀单元被配置成将所连接的泵单元的出口选择性地连接到多个不同的出口中的相应一者，以及第一气体净化器，被配置用于第一类型的废气处置，且连接到多个阀单元的相应的第一出口，其中阀单元的相应的第二出口连接到第二气体净化器。3.根据权利要求2所述的用于废气的选择性废气处置的系统，包括至少一个各别地控制的旁通管线，所述旁通管线将一个工艺集群的气体净化器的入口管线连接到另外的工艺集群的气体净化器的入口管线。4.根据权利要求2所述的用于废气的选择性废气处置的系统，其中工艺集群的工艺单元和/或另外的工艺集群的工艺单元各自是相同的类型且被设计用于相同的工艺。5.根据权利要求2所述的用于废气的选择性废气处置的系统，包括工艺控制单元，所述工艺控制单元被配置成各别地控制相应的工艺单元中的工艺序列，将工艺集群内的工艺单元中的工艺序列的相似子工艺以相对于彼此错开的方式执行。6.根据权利要求2所述的用于废气的选择性废气处置的系统，其中阀单元各自具有开关阀或多个相互联锁的截止阀，所述截止阀包括角形截止阀，以将所连接的泵单元的出口连接到相应的出口。7.根据权利要求2所述的用于废气的选择性废气处置的系统，其中工艺集群包括至少一个另外的气体净化器，连接到阀单元的对应的另外的出口。8.根据权利要求7所述的用于废气的选择性废气处置的系统，其中工艺集群的第一气体净化器及可选的至少一个另外的气体净化器是专门被设计成处置工艺集群的预期的废气的局部气体净化器，而第二气体净化器是被设计成处置来自不同的工艺集群和/或工艺单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：夕巴斯汀，
申请(专利权)人：商先创国际股份有限公司，
类型：发明
国别省市：