一种成膜设备中载板定位方法和装置制造方法及图纸

本申请提供了一种成膜设备中载板定位方法和装置，所述方法包括预设第一位置和第二位置，其中所述第一位置为于所述成膜设备内传送的载板在前进方向上开始减速的位置，并且所述第二位置为所述载板的目标停止位置；设置所述载板在所述第一位置处的速度；根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，其中所述载板的运动参数能够使得所述载板停止于所述第二位置；以及根据所述运动参数控制所述载板的运动。本申请还提供了一种成膜设备中载板定位装置。通过本申请的处理方案，提高了成膜设备的镀膜效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种成膜设备中载板定位方法和装置


[0001]本专利技术涉及太阳能电池制备
，尤其涉及一种成膜设备中载板定位方法和装置。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制备过程中，现有镀膜系统包括镀膜腔室、传送设备，为对承载基板的载板进行控制，通常还会在镀膜腔室的入口位置或出口位置设置检测设备，即采用传感器系统来检测载板的位置，准确控制镀膜腔室的入口门阀和出口门阀的关闭与开启，进而避免入口门阀或者出口门阀压碎基板的情况。
[0003]现有技术设置两个传感器，采用与传送方向中心垂直的方式安装并在腔室底部对应位置设置反光板。当载板通过传感器位置时会引起光通量的变化，从而实现检测载板的位置。然而，这种设置传感器的方式不适用于PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的缩写，即等离子体增强型化学气相沉积)的工艺腔室。这是因为，PECVD的工艺腔室上盖设置有喷淋电极板，载板若定位在喷淋电板正对应的下电极中心位置，则当腔室上盖盖好后气体喷淋板占据了腔室上部的大部分空间，无法安装垂直位置的位置传感器。
[0004]目前只能将载板停在接近出口的位置，但这种方式只适用于载板惯量不大且速度不快的情况下。如果载板在高速传动时，碰到传感器传送系统虽然会启动停止，但载板同时也会在惯性的作用下向前滑动造成定位不准；如果载板处于低速传动时，碰到传感器传送系统会马上停止，载板向前滑动的距离会变小，但是载板在传动的过程中始终保持低速会导致载板在腔室内的工艺时间增长，影响设备的效率和节拍。<br/>
技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术提供一种成膜设备中载板定位方法和装置，至少部分解决现有技术中存在的问题。
[0006]第一方面，提供了一种成膜设备中载板定位方法，包括，
[0007]预设第一位置和第二位置，其中所述第一位置为于所述成膜设备内传送的载板在前进方向上开始减速的位置，并且所述第二位置为所述载板的目标停止位置；
[0008]设置所述载板在所述第一位置处的速度；
[0009]根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，其中所述载板的运动参数能够使得所述载板停止于所述第二位置；以及
[0010]根据所述运动参数控制所述载板的运动。
[0011]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，所述方法还包括：
[0012]预设所述成膜设备的入口位置和出口位置，
[0013]其中当所述载板在前进方向上到达所述出口位置时使得所述载板停止运动，并且
[0014]当所述载板在与所述前进方向相反的方向上传出到达所述入口位置时，能够使得所述载板停止运动。
[0015]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，在所述第一位置、所述入口位置和所述出口位置分别设置位置检测传感器，并且当所述载板到达所述第一位置、所述入口位置和所述出口位置时，触发设置于相应位置处的位置检测传感器，以分别获取所述载板到达所述第一位置、所述入口位置和所述出口位置时的速度。
[0016]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，在所述入口位置处设置位置检测传感器，并且在所述载板前进方向上设置激光位移传感器，所述激光位移传感器用于测量所述载板与所述激光位移传感器之间的距离。
[0017]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，所述根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，包括设置第一加速度、匀速速度、第一时间和第二加速度，
[0018]其中所述载板自所述第一位置以所述第一加速度减速至所述匀速速度后以所述匀速速度运动，并且
[0019]所述载板自所述第一位置经所述第一时间后，以所述第二加速度减速直至停止。
[0020]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，所述根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，包括设置第一加速度，其中所述载板自所述第一位置以所述第一加速度减速直至停止。
[0021]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，所述第一加速度和/或所述第二加速度为连续或者离散的多个加速度。
[0022]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，当所述载板停止位置与所述第二位置的距离大于预定值时，控制所述载板运动以使得所述停止位置与所述第二位置的距离小于所述预定值。
[0023]根据本专利技术实施例的一种具体实现方式，所述位置检测传感器以所述成膜设备内部腔室的中心线左右对称设置。
[0024]第二方面，提供了一种成膜设备中载板定位装置，所述成膜设备包括真空腔室、载板以及用于传送所述载板的传送系统，所述载板定位装置包括：
[0025]位置确定装置，所述位置确定装置用于确定所述成膜设备中的第一位置和第二位置，其中所述第一位置为于所述成膜设备内传送的载板在前进方向上开始减速的位置，并且所述第二位置为所述载板的目标停止位置；
[0026]速度获取设备，所述速度获取设备获取所述载板在所述第一位置处的速度；以及
[0027]控制单元，所述控制单元根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，并根据所述运动参数控制所述载板的运动，其中所述载板的运动参数能够使得所述载板停止于所述第二位置。
[0028]本专利技术的技术方案通过重新设置位置传感器以及整个减速停止流程，保证了不影响设备生产节拍的情况下对载板的传动位置的准确定位。通过传感器对载板在工艺腔室内的速度和位置的检测，可以使控制单元明确载板的实际位置和实际速度，便于后续自动流程的执行以及传动故障的及时检出。可通过高速、减速、低速等多段运动过程实现对大动能大惯性载板的停止和定位。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0030]图1本专利技术实施例的成膜设备中载板定位方法的流程图；
[0031]图2本专利技术实施例的成膜设备中载板定位装置的框图；
[0032]图3为本专利技术实施例1的成膜设备中载板定位装置的结构示意图；
[0033]图4为本专利技术实施例1的成膜设备中载板运动过程分解图；
[0034]图5为本专利技术实施例1的成膜设备中载板运动过程分解图；
[0035]图6为本专利技术实施例2的成膜设备中载板定位装置的结构示意图；
[0036]图7为本专利技术实施例2的成膜设备中载板运动过程分解图；并且
[0037]图8为本专利技术实施例2的成膜设备中载板运动过程分解图。
[0038]附图标记：
[0039]100、200
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成膜设备；101
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前门阀；102
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第一位置检测传感器；106
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成膜设备中载板定位方法，其特征在于，包括，预设第一位置和第二位置，其中所述第一位置为于所述成膜设备内传送的载板在前进方向上开始减速的位置，并且所述第二位置为所述载板的目标停止位置；设置所述载板在所述第一位置处的速度；根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，其中所述载板的运动参数能够使得所述载板停止于所述第二位置；以及根据所述运动参数控制所述载板的运动。2.根据权利要求1所述的载板定位方法，其特征在于，所述方法还包括：预设所述成膜设备的入口位置和出口位置，其中当所述载板在前进方向上到达所述出口位置时使得所述载板停止运动，并且当所述载板在与所述前进方向相反的方向上传出到达所述入口位置时，能够使得所述载板停止运动。3.根据权利要求2所述的载板定位方法，其特征在于，在所述第一位置、所述入口位置和所述出口位置分别设置位置检测传感器，并且当所述载板到达所述第一位置、所述入口位置和所述出口位置时，触发设置于相应位置处的位置检测传感器，以分别获取所述载板到达所述第一位置、所述入口位置和所述出口位置时的速度。4.根据权利要求2所述的载板定位方法，其特征在于，在所述入口位置处设置位置检测传感器，并且在所述载板前进方向上设置激光位移传感器，所述激光位移传感器用于测量所述载板与所述激光位移传感器之间的距离。5.根据权利要求1所述的载板定位方法，其特征在于，所述根据所述第一位置和第二位置之间的距离、所述第一位置处的速度设置所述载板的运动参数，包括设置第一加速度、匀速速度、第一时间和第二加速度，其中所述载板自所述第一位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：