计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法，包括：信息获取单元、信息比对单元和报警单元；信息获取单元用于获取禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑区间内，于禁跑货物对应的机台上运行的批次货物的跑货信息；信息比对单元用于将禁跑货物的跑货信息与信息获取单元获取的所有批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，报警单元发出预警报告至系统前端。因此，通过信息获取单元、信息比对单元和报警单元相互配合，能够实现及时预警与所述禁跑货物具有相同跑货信息的各个批次的货物继续在机台上运行，避免所述各个批次的货物存现相同的缺陷或者因存在其他隐患而导致器件报废，以实现提高监测效率，将缺陷损害程度降到最低。损害程度降到最低。损害程度降到最低。

【技术实现步骤摘要】
计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法


[0001]本专利技术涉及半导体器件制造
，特别涉及一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法。

技术介绍

[0002]在半导体芯片制造过程中，因工艺复杂，制程繁多，故需要较多的机台来实现半导体器件的制备。这些机台不仅种类型号多，而且每一种机台所需的数量也很多，每一机台的工艺状况都决定了制备出来的产品质量的好坏。因此，在生产工艺过程中高效准确的管理好每一机台的工艺状况显得尤为重要。
[0003]现有的机台辅助管理系统可以实现对机台的优化和改善，甚至可以执行临时禁止跑货的动作。其中，临时禁止跑货是针对制备流程中半成品货物经某一机台操作后，出现缺陷或者异常情况时，及时停止该批次货流入下一制备环节的指令。在现有的模式中，当某批次货物出现禁止跑货的动作时，采用相同工序的同型号的各批次货物都可能存在相同的缺陷或者潜在的异常情况。操作工程师会根据监控工程师的提醒进行人工检查判断。然而，这种人工监测的方式，不仅效率低，还存在很大的人为风险。因操作工程师的忽视，很容易导致存在隐患的货物依然在各个机台直接运行，并且监控工程师也无法做到及时提醒，如此便会生产出大量的异常器件，严重影响器件的合格率，甚至会造成较大的经济损失。
[0004]因此，需要一种新的禁跑货物预警系统及方法，以实现自动预警存在隐患的货物，并及时提醒工程师进行处理，提高监测效率，降低经济损失。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法，以解决如何实现自动预警存在隐患的货物。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种禁跑货物预警系统，包括：信息获取单元、信息比对单元和报警单元；
[0007]所述信息获取单元用于获取禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑区间内，于所述禁跑货物对应的机台上运行的所有批次货物的跑货信息；
[0008]所述信息比对单元用于将所述禁跑货物的跑货信息与所述信息获取单元获取的所有所述批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，所述报警单元发出预警报告至系统前端。
[0009]可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，每批货物的所述跑货信息包括：所述货物经过的所有机台的站点地址、各个所述站点的经过顺序，以及在每一机台内操作的腔室编号及接口信息。
[0010]可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，所述禁跑区间包括对所述禁跑货物发出禁跑指令时至解决引起禁跑的缺陷问题时的时间段。
[0011]可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，所述禁跑货物对应的机台包括对所述禁
跑货物发出禁跑指令时，所述禁跑货物上一运行环节的机台。
[0012]可选的，在所述的禁跑货物预警系统中，所述预警报告包括所述批次货物的批次编号、过货时间以及所述跑货信息。
[0013]基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种禁跑货物的预警方法，包括：
[0014]对禁跑货物执行禁跑指令，并执行禁跑计时；
[0015]采用信息获取单元获取所述禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑计时状态下，获取于所述禁跑货物对应的机台上运行的所有批次货物的跑货信息；
[0016]采用信息比对单元将所述禁跑货物的跑货信息与信息获取单元与所述信息获取单元获取的所有所述批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，采用报警单元发出预警报告至系统前端。
[0017]可选的，在所述的禁跑货物的预警方法中，当对所述禁跑货物执行禁跑指令时，所述信息获取单元获取所述禁跑货物的跑货信息，并经所述报警单元发送至系统前端。
[0018]可选的，在所述的禁跑货物的预警方法中，当在禁跑计时状态下，所述对应的机台上运行的货物再次被执行禁跑指令时，所述信息比对单元比对所述禁跑货物的跑货信息与再次被执行禁跑指令的所述货物的跑货信息；
[0019]如比对结果相同，则继续执行所述禁跑计时，以及逐一比对所述跑货信息直至停止所述禁跑计时；如比对结果不相同，则加设一新的禁跑计时，同时执行与所述禁跑货物的跑货信息的比对直至停止所述禁跑计时，以及执行与再次被执行禁跑指令的所述货物的跑货信息的比对直至停止所述新的禁跑计时。
[0020]可选的，在所述的禁跑货物的预警方法中，所述报警单元按设定频率向所述系统前端发送所述预警报告。
[0021]基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述的禁跑货物的预警方法。
[0022]综上所述，本专利技术提供一种计算机存储介质、禁跑货物预警系统及方法，其中，所述禁跑货物预警系统，包括：信息获取单元、信息比对单元和报警单元；所述信息获取单元用于获取禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑区间内，于所述禁跑货物对应的机台上运行的所有批次货物的跑货信息；所述信息比对单元用于将所述禁跑货物的跑货信息与所述信息获取单元获取的所有所述批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，所述报警单元发出预警报告至系统前端。因此，通过所述信息获取单元、所述信息比对单元和所述报警单元相互配合，能够实现及时预警与所述禁跑货物具有相同跑货信息的各个批次的货物继续在机台上运行，避免所述各个批次的货物存现相同的缺陷或者因存在其他隐患而导致器件报废，以实现提高监测效率，将缺陷损害程度降到最低。
附图说明
[0023]图1是本专利技术各批次货物在各机台中运行的示意图；
[0024]图2是本专利技术实施例中的一种禁跑货物预警系统结构示意图；
[0025]图3是本专利技术实施例中的一种禁跑货物的预警方法流程图。
具体实施方式
[0026]为使本专利技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。还应当理解的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
[0027]在半导体芯片制造过程中，工艺复杂，制程繁多，会使用多种不同型号的机台执行不同的工序。如图1所示，相同的器件制备会经过相同的工艺环节，每一批次的晶片(M1
‑
Mn)按序逐一经过各个机台(P1
‑
Pn)。当然，不同的器件制备也会使用到相同的机台，所以连续运行的晶片不一定会是相同的器件。因机台种类和数量都比较多，现有的机台辅助管理系统会对每一工艺后的晶片进行检测，如检测存现缺陷，则对该批次的晶片执行禁跑指令，禁止其进入下一工艺环节。但对于同一型号和运行相同工艺环节的其他批次货物(晶片)，只能通过人工检测，无法及时避免那些具有缺陷隐患的货物继续执行工艺流程。
[0028]因此，为解决上述技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种禁跑货物预警系统，其特征在于，包括：信息获取单元、信息比对单元和报警单元；所述信息获取单元用于获取禁跑货物的跑货信息，以及在禁跑区间内，于所述禁跑货物对应的机台上运行的所有批次货物的跑货信息；所述信息比对单元用于将所述禁跑货物的跑货信息与所述信息获取单元获取的所有所述批次货物的跑货信息进行逐一比对，且当比对结果一致时，所述报警单元发出预警报告至系统前端。2.根据权利要求1所述的禁跑货物预警系统，其特征在于，每批货物的所述跑货信息包括：所述货物经过的所有机台的站点地址、各个所述站点的经过顺序，以及在每一机台内操作的腔室编号及接口信息。3.根据权利要求1所述的禁跑货物预警系统，其特征在于，所述禁跑区间包括对所述禁跑货物发出禁跑指令时至解决引起禁跑的缺陷问题时的时间段。4.根据权利要求1所述的禁跑货物预警系统，其特征在于，所述禁跑货物对应的机台包括对所述禁跑货物发出禁跑指令时，所述禁跑货物上一运行环节的机台。5.根据权利要求1所述的禁跑货物预警系统，其特征在于，所述预警报告包括所述批次货物的批次编号、过货时间以及所述跑货信息。6.一种禁跑货物的预警方法，其特征在于，使用如权利要求1
‑
5中任意一项所述的禁跑货物预警系统对禁跑货物进行预警，包括：对禁跑货物执行禁跑指令，并执行禁跑计时；采用信息获取单元获取所述禁...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔莹，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：