反射镜组件和光模块制造技术

反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

【技术实现步骤摘要】
反射镜组件和光模块
[0001]本申请是申请日为2018年7月6日、申请号为201880040988.0、专利技术名称为反射镜组件和光模块的专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及反射镜组件和光模块。

技术介绍

[0003]作为由SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅结构)基片构成的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)器件，已知有一种反射镜器件，其包括基体和以沿着基体的厚度方向可移动的方式被支承于基体的可动反射镜(例如，参照专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：美国专利申请公开2008/0284078号说明书。

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]上述那样的反射镜器件由于能够提供高精度的FTIR(傅立叶变换红外光谱仪)而受到瞩目。
[0009]本专利技术的目的在于提供一种适合于紧凑地构成高精度的干涉光学系统的反射镜组件以及具备这样的反射镜组件的光模块。
[0010]用于解决问题的技术手段
[0011]本专利技术的一个方面的反射镜组件包括：反射镜器件，其包含基体和可动反射镜，基体具有第1表面和与第1表面相反侧的第2表面，可动反射镜以沿着与第1表面交叉的第1方向可移动的方式被支承在基体；光学功能部件，其具有与第2表面相对的第3表面和与第3表面相反侧的第4表面；和相对于光学功能部件配置在与反射镜器件相反侧的固定反射镜，在反射镜器件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的第1部分的第1光通过部，其中，分束器组件与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统，在光学功能部件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的第2部分的第2光通过部，基体的第2表面与光学功能部件的第3表面彼此接合在一起。
[0012]在该反射镜组件中，在反射镜器件与固定反射镜之间配置有光学功能部件，并且，该光学功能部件与反射镜器件的基体接合在一起。因此，能够在抑制基体的变形的状态下稳定地保持基体。因此，能够在反射镜器件使可动反射镜高精度地动作。并且，在反射镜器件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的第1部分的第1光通过部，在光学功能部件形成有构成该光路的第2部分的第2光通过部。由此，能够在空间上高效地配置由分束器组件、可动反射镜和固定反射镜构成的干涉光学系统。根据以上说明，使用该反射镜组件能够紧凑地构成高精度的干涉光学系统。
[0013]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，基体的第2表面与光学功能部件的第3表面也可以通过直接键合而彼此接合在一起。由此，能够实现反射镜器件的基体与光学功能部件的牢固的接合。
[0014]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，固定反射镜也可以形成在光学功能部件的第4表面。由此，能够提高固定反射镜相对于反射镜器件的可动反射镜的位置精度和角度精度。
[0015]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，光学功能部件也可以至少在与可动反射镜相对的区域还具有与反射镜器件隔开间隔的第5表面。由此，例如即使令使可动反射镜沿第1方向往复移动(振动)的情况下的基准位置处于光学功能部件的第3表面，也能够防止可动反射镜与光学功能部件接触并且使可动反射镜沿第1方向往复移动。另外，使可动反射镜沿第1方向往复移动的情况下的基准位置能够处于光学功能部件的第3表面，如后所述，这在对分束器组件与可动反射镜之间的光路和分束器组件与固定反射镜之间的光路这两个光路之间产生的光程差进行修正时特别有效。
[0016]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，也可以为如下结构：反射镜器件由半导体基片构成，半导体基片包含由第1半导体层构成的支承层、由第2半导体层构成的器件层和配置在支承层与器件层之间的由绝缘层构成的中间层，基体的第2表面是器件层的与中间层相反侧的表面，可动反射镜的反射镜面设置在器件层的中间层侧的表面。在半导体基片中，器件层比支承层薄，因此例如相比于“基体的第2表面(光学功能部件的接合面)为支承层的与中间层相反侧的表面，可动反射镜的反射镜面设置在器件层的与中间层相反侧的表面的结构”，能够将可动反射镜的反射镜面靠近光学功能部件设置。因此，例如能够容易地使可动反射镜沿第1方向往复移动的情况下的基准位置处于光学功能部件的第3表面。
[0017]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，光学功能部件的第5表面也可以在从第1方向看时延伸至光学功能部件的外缘。由此，即使在可动反射镜与光学功能部件的第5表面之间的区域存在气体的情况下，气体也容易从该区域排出，能够抑制因存在于该区域中的气体而阻碍可动反射镜的动作。
[0018]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，也可以为如下结构：第1光通过部是孔，第2光通过部是对分束器组件与可动反射镜之间的光路和分束器组件与固定反射镜之间的光路这两个光路之间产生的光程差进行修正的光透射部，光透射部的反射镜器件侧的表面与光学功能部件的第3表面位于同一平面上。由此，例如，在使可动反射镜沿第1方向往复移动的情况下的基准位置处于光学功能部件的第3表面的情况下，能够以减小分束器组件与可动反射镜之间的光路的光程长度(考虑了该光路通过的各介质的折射率的光程长度)和分束器组件与固定反射镜之间的光路的光程长度之差的方式，修正两个光路间的光程差。
[0019]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，基体也可以在包含从第1方向看时的基体的外缘的至少一部分的区域，还具有与光学功能部件隔开间隔的第6表面。由此，在将基体的第2表面与光学功能部件的第3表面彼此接合在一起时，能够通过抓持基体的设置有第6表面的区域来实施反射镜器件的操作。
[0020]在本专利技术的一个方面的反射镜组件中，在从第1方向看时，光学功能部件的外缘也可以位于基体的外缘的外侧。由此，能够实现反射镜器件的基体与光学功能部件的牢固的接合。并且，能够保护基体的外缘。
[0021]本专利技术的一个方面的反射镜组件还可以包括隔着固定反射镜安装在光学功能部件的第4表面的应力缓和基片。通过隔着应力缓和基片将反射镜组件设置在设置对象，例如，即使设置对象发生了变形，也能够抑制其影响波及干涉光学系统。
[0022]本专利技术的一个方面的光模块包括上述的反射镜组件以及与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统的分束器组件。
[0023]在该光模块中，利用上述的反射镜组件，能够构成高精度的干涉光学系统。
[0024]专利技术的效果
[0025]根据本专利技术，能够提供一种适合于紧凑地构成高精度的干涉光学系统的反射镜组件以及具备这样的反射镜组件的光模块。
附图说明
[0026]图1是一个实施方式的光模块的截面图。
[0027]图2是图1所示的反射镜组件的俯视图。
[0028]图3是沿图2所示的III
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III线的反射镜组件的截面图。
[0029]图4是沿图2所示的IV
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IV线的反射镜组件的截面图。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射镜组件，其特征在于，包括：反射镜器件，其包含基体和可动反射镜，所述基体具有第1表面和与所述第1表面相反侧的第2表面，所述可动反射镜以沿着与所述第1表面交叉的第1方向可移动的方式被支承在所述基体；光学功能部件，其具有与所述第2表面相对的第3表面和与所述第3表面相反侧的第4表面；和相对于所述光学功能部件配置在与所述反射镜器件相反侧的固定反射镜，在所述光学功能部件通过孔或切口设置有形成有构成分束器组件与所述固定反射镜之间的光路的一部分的光通过部，其中，所述分束器组件与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统，所述基体的所述第2表面与所述光学功能部件的所述第3表面彼此接合在一起。2.如权利要求1所述的反射镜组件，其特征在于：所述基体的所述第2表面与所述光学功能部件的所述第3表面通过直接键合而彼此接合在一起。3.如权利要求1或2所述的反射镜组件，其特征在于：所述固定反射镜形成在所述光学功能部件的所述第4表面。4.如权利要求1～3中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：所述光学功能部件至少在与所述可动反射镜相对的区域还具有与所述反射镜器件隔开间隔的第5表面。5.如权利要求4所述的反射镜组件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智史，港谷恭辅，杉本达哉，藏本丰，柴山胜己，细川畅郎，山本宙和，小山卓雄，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：