一种蒸镀机的坩埚遮板机构制造技术

为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型专利技术提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上固定设有遮条，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板和遮条的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，气动阀门带动遮板旋转，坩埚遮板机构结构简单，自动化程度高。自动化程度高。自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机的坩埚遮板机构


[0001]本技术涉及蒸镀机
，较为具体的，涉及到一种蒸镀机的坩埚遮板机构。

技术介绍

[0002]淀积方法用于将来自源的淀积材料传递到衬底以形成薄膜或涂层。在淀积方法中，一种最公知的蒸发技术是电子束蒸发，该技术也被称为e
‑
束蒸发。淀积材料通常由金属、金属或非金属化合物组成，诸如金、银、镍铬合金或二氧化硅。通常，淀积材料被置于坩埚中，以及要被涂敷的衬底以距离坩埚固定距离或可变距离进行放置。电子束指向坩埚中的源材料，使得淀积材料从坩埚中蒸发出来并粘附到衬底上。该过程在真空室内进行。
[0003]通过将难熔金属丝加热至2000摄氏度以上的热电子发射方式来生成电子束。电子束被电磁场引向源材料。在实际操作中，通过开启/关闭加热电源来控制蒸发。可能需要几分钟来加热细丝以进行稳定的电子发射和蒸发。即使当加热电源关闭时，发射和蒸发也要保持特定的时间周期。从而，在快速脉冲模式中不能执行该操作，故而如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本技术提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上固定设有遮条，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板和遮条的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，气动阀门带动遮板旋转，坩埚遮板机构结构简单，自动化程度高。
[0005]一种蒸镀机的坩埚遮板机构，包括坩埚1、遮板2、遮条8和防着板9，其特征在于：防着板9位于蒸镀机内壁的底板上部，防着板9与底板设有间隙，防着板9上设有坩埚孔和遮板2装置孔，所述坩埚1位于间隙处且坩埚1的开口于坩埚孔套接，坩埚1的开口上方设有遮板2，所述遮板2与坩埚1的开口设有间隙，所述遮板2上部固定有第一连杆3，第一连杆3为中空结构，所述第一连杆3与第二连杆4套接，所述第二连杆4通过连接件5可拆卸连接轴杆6的上部，所述轴杆6的下部穿过遮板2装置孔连接气动阀门10，所述遮条8位于远离轴杆6的一端，所述遮条8固定连接在防着板9上。
[0006]进一步的,第一连杆3上设有第一螺丝孔31，第二连杆4与第一连杆3套接的一端设有第二螺丝孔41，当第一螺丝孔31与第二螺丝孔41重合时，通过螺丝锁住，达到第一连杆3与第二连杆4连接的目的。
[0007]进一步的，连接件5包括第一连接块51和第二连接块53，第一连接块51和第二连接块53以轴杆6为中心对称设置，第一连接块51靠近轴杆6的侧边设有第一凹槽52，轴杆6靠近第二连接块53处设有第二凹槽61，第一连接块51的侧边设有以轴杆6为中心对称的第一连
接孔，第二连接块53的侧边设有以轴杆6为中心对称的第二连接孔，将轴杆6置于第一凹槽52内，第二连接块53置于第二凹槽61内，通过螺丝穿过对应的第一连接孔和第二连接孔锁死，该连接件5可以上下调节遮板2与防着板9的相对距离，从而适应不同的源材料的散射角度。
[0008]进一步的，第一凹槽52为半圆形，第二凹槽61为台阶形，当轴杆6与第一连接块51和第二连接块53连接时，所述第二连接块53的底部与第二凹槽61的台阶处相接触连接。
[0009]进一步的，遮板2为碗装形状，遮板2包括内圆盘21和外圆环22，内圆盘21和外圆环22一体成型，内圆盘21和外圆环22的连接处的角度为130
°‑
170
°
。
[0010]进一步的，内圆盘21为水平面，内圆盘21的直径大于坩埚孔的直径。
[0011]进一步的，轴杆6为磁流体结构或者竖杆结构。
[0012]进一步的，遮条8为90度折角的角钢，角钢的一折边固定安装在防着板9上，另一折边垂直于防着板9，垂直于防着板9折边的高度大于遮板2与坩埚孔之间的间隙。
[0013]进一步的，防着板9与底板之间设有多根立柱7，立柱7作为防着板9与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚孔与坩埚1的开口位于同一水平面上。
[0014]进一步的，坩埚1、遮板2和防着板9为不锈钢材质。
[0015]本技术的工作原理：本技术提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板2的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板2移至坩埚1上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板2，遮板2旁的防着板9上固定设有遮条8，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板2和遮条8的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，旋转气缸带动遮板2旋转，坩埚1遮板2机构结构简单，自动化程度高。
附图说明
[0016]图1为本技术的蒸镀机的坩埚遮板机构的结构图。
[0017]图2为本技术的蒸镀机的坩埚遮板机构的爆炸图。
[0018]图3为本技术的蒸镀机的坩埚遮板机构的遮板的角度结构图。
[0019]图4为本技术的蒸镀机的坩埚遮板机构的装配结构图。
[0020]图5为本技术的蒸镀机的坩埚遮板机构的遮板的运动轨迹结构图。
[0021]主要元件符号说明
[0022][0023][0024]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0025]描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
[0026]在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
[0027]同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
[0028]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加
水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0029]具体实施方式1：
[0030]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机的坩埚遮板机构，包括坩埚(1)、遮板(2)、遮条(8)和防着板(9)，其特征在于：防着板(9)位于蒸镀机内壁的底板上部，防着板(9)与底板设有间隙，防着板(9)上设有坩埚孔和遮板(2)装置孔，所述坩埚(1)位于间隙处且坩埚(1)的开口于坩埚孔套接，坩埚(1)的开口上方设有遮板(2)，所述遮板(2)与坩埚(1)的开口设有间隙，所述遮板(2)上部固定有第一连杆(3)，第一连杆(3)为中空结构，所述第一连杆(3)与第二连杆(4)套接，所述第二连杆(4)通过连接件(5)可拆卸连接轴杆(6)的上部，所述轴杆(6)的下部穿过遮板(2)装置孔连接气动阀门(10)，所述遮条(8)位于远离轴杆(6)的一端，所述遮条(8)固定连接在防着板(9)上。2.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：第一连杆(3)上设有第一螺丝孔(31)，第二连杆(4)与第一连杆(3)套接的一端设有第二螺丝孔(41)，当第一螺丝孔(31)与第二螺丝孔(41)重合时，通过螺丝锁住，第一连杆(3)与第二连杆(4)连接。3.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：连接件(5)包括第一连接块(51)和第二连接块(53)，第一连接块(51)和第二连接块(53)以轴杆(6)为中心对称设置，第一连接块(51)靠近轴杆(6)的侧边设有第一凹槽(52)，轴杆(6)靠近第二连接块(53)处设有第二凹槽(61)，第一连接块(51)的侧边设有以轴杆(6)为中心对称的第一连接孔，第二连接块(53)的侧边设有以轴杆(6)为中心对称的第二连接孔，将轴杆(6)置于第一凹槽(52)内，第二连接块(53)置于第二凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：