本实用新型专利技术公开了一种柱面母线直线度高精度测量装置，涉及几何量测量领域，其技术方案要点是：包括气浮导轨、气浮滑块、支撑组件、电感位移传感器以及测量终端；气浮滑块与气浮导轨活动连接，且气浮滑块与气浮导轨中配置的驱动丝杠套接，气浮滑块的顶部设置有定位座；支撑组件与气浮导轨固定连接，电感位移传感器与支撑组件连接，电感位移传感器的端部设有位于定位座上方的柱面测头；柱面测头的轴线方向与驱动丝杠的轴线方向相互垂直；电感位移传感器与测量终端电性连接。本实用新型专利技术能够高效、准确的测量出单曲柱面、双曲柱面等多种曲柱面的直线度，直线度测量结果误差小。直线度测量结果误差小。直线度测量结果误差小。
【技术实现步骤摘要】
一种柱面母线直线度高精度测量装置
[0001]本技术涉及几何量测量领域，更具体地说，它涉及一种柱面母线直线度高精度测量装置。
技术介绍
[0002]柱面是离子阱等分析质谱仪关键部件中经常需要用的基本零件，柱面既可以是双曲面，也可以是单曲面。为了解加工或保证装配的质量情况，对直线度进行高精度测量是必不可少的。
[0003]然而，由于双曲柱面并不是回转体，圆度仪无法测量其直线度，而使用三坐标检测时，需要较高的测量基准面，以保证测量时坐标测量机的测点在一条母线上移动，但因双曲柱面使用时仅对双曲面有精度要求，所以一般双曲柱面加工时基准的加工精度要求并不高，即双曲柱面的精度与基准是无关的，这导致坐标测量机测量双曲柱面等非圆柱面的直线度时会出现偏差。
[0004]因此，如何研究设计一种柱面母线直线度高精度测量装置是我们目前急需解决的问题。
技术实现思路
[0005]为解决现有技术中的不足，本技术的目的是提供一种柱面母线直线度高精度测量装置。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种柱面母线直线度高精度测量装置，包括气浮导轨、气浮滑块、支撑组件、电感位移传感器以及测量终端；
[0007]气浮滑块与气浮导轨活动连接，且气浮滑块与气浮导轨中配置的驱动丝杠套接，气浮滑块的顶部设置有定位座；
[0008]支撑组件与气浮导轨固定连接，电感位移传感器与支撑组件连接，电感位移传感器的端部设有位于定位座上方的柱面测头；
[0009]柱面测头的轴线方向与驱动丝杠的轴线方向相互垂直；
[0010]电感位移传感器与测量终端电性连接。
[0011]进一步的，所述测量终端包括数据处理单元和显示单元；
[0012]数据处理单元，用于将电感位移传感器采集的测量信号转换成直线度测量结果；
[0013]显示单元，用于对直线度测量结果进行显示。
[0014]进一步的，所述支撑组件包括立柱和用于夹持电感位移传感器的夹持件，夹持件与立柱套接，且通过锁紧螺钉固定。
[0015]进一步的，所述夹持件包括分别与立柱、电感位移传感器连接的夹套、侧头夹，夹套、侧头夹之间通过螺柱转动连接，侧头夹与电感位移传感器通过锁紧螺钉固定。
[0016]进一步的，所述定位座表面设有沿驱动丝杠轴线方向设置的放置凹槽。
[0017]进一步的，所述放置凹槽为V型槽。
[0018]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术能够高效、准确的测量出单曲柱面、双曲柱面等多种曲柱面的直线度，直线度测量结果误差小。
附图说明
[0019]此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：
[0020]图1是本技术实施例中的整体结构示意图；
[0021]图2是本技术实施例中放置凹槽的结构示意图。
[0022]附图中标记及对应的零部件名称：
[0023]101、气浮导轨；102、气浮滑块；103、定位座；104、柱面工件；105、放置凹槽；201、立柱；202、夹套；203、螺柱；204、侧头夹；205、锁紧螺钉；301、电感位移传感器；302、柱面测头；303、测量终端；304、数据处理单元；305、显示单元。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。
[0025]需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者间接在该另一个部件上。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。
[0026]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0028]实施例：一种柱面母线直线度高精度测量装置，如图1所示，包括气浮导轨101、气浮滑块102、支撑组件、电感位移传感器301以及测量终端303。气浮滑块102与气浮导轨101活动连接，且气浮滑块102与气浮导轨101中配置的驱动丝杠套接，气浮滑块102的顶部设置有定位座103。支撑组件与气浮导轨101固定连接，电感位移传感器301与支撑组件连接，电感位移传感器301的端部设有位于定位座103上方的柱面测头302。柱面测头302的轴线方向与驱动丝杠的轴线方向相互垂直。电感位移传感器301与测量终端303电性连接。
[0029]如图1所示，测量终端303包括数据处理单元304和显示单元305。数据处理单元304，用于将电感位移传感器301采集的测量信号转换成直线度测量结果。显示单元305，用于对直线度测量结果进行显示。
[0030]如图1所示，支撑组件包括立柱201和用于夹持电感位移传感器301的夹持件，夹持件与立柱201套接，且通过锁紧螺钉205固定。夹持件可灵活调整电感位移传感器301在竖直
方向的高度。
[0031]如图1所示，夹持件包括分别与立柱201、电感位移传感器301连接的夹套202、侧头夹204，夹套202、侧头夹204之间通过螺柱203转动连接，侧头夹204与电感位移传感器301通过锁紧螺钉205固定。夹套202、侧头夹204构成夹持件，使得可沿螺柱203圆周方向转动侧头夹204，从而调整柱面测头302的位置，可适用于多曲柱面的测量。
[0032]如图2所示，定位座103表面设有沿驱动丝杠轴线方向设置的放置凹槽105。需要注意的是，定位座103的下表面为平面，当待检测的柱面工件104的底面为平面时，可将定位座103翻转后水平放置柱面工件104。
[0033]如图2所示，在本实施例中，放置凹槽105为V型槽。V型槽在放置高精度圆柱校准、柱面工件104监测时能够限制自转，整体操作的稳定性强，有效减小了测量误差。
[0034]如图1所示，在本实施例中，定位座103底面的平面度小于1μm，上表面是高精度V形结构，即放置圆柱度小于1μm的高精度圆柱于V型槽中，高精度圆柱母线对定位座103底面的基准面的平行度小于1μm。
[0035]如图1所示，上述测量装置的具体测量方法由本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柱面母线直线度高精度测量装置，其特征是，包括气浮导轨(101)、气浮滑块(102)、支撑组件、电感位移传感器(301)以及测量终端(303)；气浮滑块(102)与气浮导轨(101)活动连接，且气浮滑块(102)与气浮导轨(101)中配置的驱动丝杠套接，气浮滑块(102)的顶部设置有定位座(103)；支撑组件与气浮导轨(101)固定连接，电感位移传感器(301)与支撑组件连接，电感位移传感器(301)的端部设有位于定位座(103)上方的柱面测头(302)；柱面测头(302)的轴线方向与驱动丝杠的轴线方向相互垂直；电感位移传感器(301)与测量终端(303)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种柱面母线直线度高精度测量装置，其特征是，所述测量终端(303)包括数据处理单元(304)和显示单元(305)；数据处理单元(304)，用于将电感位移传感器(301)采集的测量信号转换成直线度测量结果；...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋家东，雷天才，任松，钟文勇，杨维川，刘波，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：新型
国别省市：
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