一种碳毡保温性能持续性监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种碳毡保温性能持续性监控装置，属于化学气相沉积技术领域，装置包括碳毡保温桶和钨铼热电偶，碳毡保温桶包括套筒和炉壳，炉壳套装于套筒外侧，炉壳内安装钨铼热电偶，钨铼热电偶连接无纸记录仪。本实用新型专利技术可不间断对碳毡保温性能进行监控，方便、精准的测量不同部位的碳毡保温数据，数据科学、准确、误差少，确保产品及设备安全。确保产品及设备安全。确保产品及设备安全。

【技术实现步骤摘要】
一种碳毡保温性能持续性监控装置


[0001]本技术涉及一种碳毡保温性能持续性监控装置，属于化学气相沉积


技术介绍

[0002]目前生产热解氮化硼的CVD设备炉内生产温度在1800℃
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2000℃左右，由于炉内高温，现采用碳毡保温桶作为保温材料，因炉内生产需要通入各类有腐蚀性的气体进行化学反应沉积，碳毡保温桶不可避免的受到腐蚀，造成保温效果下降，炉内温度积极性下降，散热增加，碳毡外表面温度增高，威胁炉壳及其他部件的运行安全，现缺乏对碳毡保温性能变化的实时监控，不能在碳毡性能下降之前进行更换，无法确保产品质量及运行安全。有鉴于此，研发一种可不间断对碳毡保温性能进行监控，确保产品及设备安全的装置是十分有必要的。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供一种碳毡保温性能持续性监控装置，可不间断对碳毡保温性能进行监控，确保产品及设备安全。
[0004]本技术的技术方案如下：
[0005]一种碳毡保温性能持续性监控装置，包括碳毡保温桶和钨铼热电偶，碳毡保温桶包括套筒和炉壳，炉壳套装于套筒外侧，炉壳内安装钨铼热电偶，钨铼热电偶连接无纸记录仪。
[0006]优选的，炉壳内上部、下部和中部分别安装钨铼热电偶，通过三处不同位置的测量得到准确的温度数据，避免只对一处位置测量时出现误差。
[0007]优选的，碳毡保温桶内反应区高度为1000mm，钨铼热电偶分别安装于反应区高度300mm、500mm和800mm处的炉壳上。
[0008]优选的，钨铼热电偶为可伸缩式钨铼热电偶W
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Re5/26，利用0.5MPa压缩气驱动，钨铼热电偶伸缩行程≥300mm，通过钨铼热电偶的伸缩测量套筒内温度和套筒与炉壳之间的温度。
[0009]本装置的使用过程如下：
[0010]在炉子达到高温阶段恒温时，钨铼热电偶同时伸入套筒内50mm，测得反应区内温度数值，待数值稳定后钨铼热电偶退回至炉壳与套筒之间，钨铼热电偶距离炉壳内壁20mm，测量此处温度。
[0011]无纸记录仪根据测量结果生成数据和温度变化曲线，如果三处钨铼热电偶测量的温度差达到30℃以上，反应区内温度均匀性超出标准，会影响产品质量，需要对套筒进行更换；如果炉壳与套筒之间测温≥400℃时说明碳毡保温性能超出标准范围，高温会对炉壳造成损害，需要对套筒进行更换。
[0012]本技术的有益效果在于：
[0013]1、本技术可不间断对碳毡保温性能进行监控，方便、精准的测量不同部位的碳毡保温数据，数据科学、准确、误差少，确保产品及设备安全。
[0014]2、本技术可有效避免靠经验、靠产品反推等方法来判定碳毡性能，避免判定失误造成损失。
[0015]3、本技术通过数据精准记录形成趋势图，可快速、直观的确定碳毡性能的变化趋势，为后期更换、技改等提供数据支持。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]其中：1、钨铼热电偶；2、碳毡保温桶；3、套筒；4、炉壳；5、无纸记录仪；6、反应区。
具体实施方式
[0018]下面通过实施例并结合附图对本技术做进一步说明，但不限于此。
[0019]实施例1：
[0020]如图1所示，本实施例提供一种碳毡保温性能持续性监控装置，包括碳毡保温桶2和钨铼热电偶1，碳毡保温桶2包括套筒3和炉壳4，炉壳4套装于套筒3外侧，炉壳4内安装钨铼热电偶1，钨铼热电偶1连接无纸记录仪5。
[0021]实施例2：
[0022]一种碳毡保温性能持续性监控装置，结构如实施例1所述，不同之处在于，炉壳4内上部、下部和中部分别安装钨铼热电偶1，通过三处不同位置的测量得到准确的温度数据，避免只对一处位置测量时出现误差。
[0023]实施例3：
[0024]一种碳毡保温性能持续性监控装置，结构如实施例2所述，不同之处在于，碳毡保温桶2内反应区6高度为1000mm，钨铼热电偶分别安装于反应区高度300mm、500mm和800mm处的炉壳4上。
[0025]实施例4：
[0026]一种碳毡保温性能持续性监控装置，结构如实施例3所述，不同之处在于，钨铼热电偶1为可伸缩式钨铼热电偶W
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Re5/26，利用0.5MPa压缩气驱动，钨铼热电偶伸缩行程≥300mm，通过钨铼热电偶的伸缩测量套筒内温度和套筒与炉壳之间的温度。
[0027]本装置的使用过程如下：
[0028]在炉子达到高温阶段恒温时，钨铼热电偶1同时伸入套筒3内50mm，测得反应区内温度数值，待数值稳定后钨铼热电偶1退回至炉壳4与套筒3之间，钨铼热电偶1距离炉壳4内壁20mm，测量此处温度。
[0029]无纸记录仪5根据测量结果生成数据和温度变化曲线，如果三处钨铼热电偶测量的温度差达到30℃以上，反应区内温度均匀性超出标准，会影响产品质量，需要对套筒进行更换；如果炉壳与套筒之间测温≥400℃时说明碳毡保温性能超出标准范围，高温会对炉壳造成损害，需要对套筒进行更换。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳毡保温性能持续性监控装置，其特征在于，包括碳毡保温桶和钨铼热电偶，碳毡保温桶包括套筒和炉壳，炉壳套装于套筒外侧，炉壳内安装钨铼热电偶，钨铼热电偶连接无纸记录仪，炉壳内上部、下部和中部分别安装钨铼热电偶，钨铼热电偶为可伸缩式钨铼热电偶W
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘汝强，王殿春，宋琪，周清波，
申请(专利权)人：山东国晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：