一种节能环保型连续式扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能环保型连续式扩散炉，包括气柜、散热底柜、反应柜和炉体，所述散热底柜顶端的一端安装有气柜，且气柜一侧的散热底柜顶端安装有反应柜，所述反应柜的内部均匀设置有炉体，且炉体的顶端和底端均安装有加热管，所述反应柜内部靠近气柜的一侧均匀安装有泄压结构，且反应柜一侧的散热底柜顶端安装有送料柜，所述送料柜一侧的散热底柜顶端安装有电柜，且电柜的一端均匀安装有PLC控制器，所述电柜内部远离气柜的一侧均匀安装有气动伸缩杆。本实用新型专利技术通过连接管将炉体内部的气体排入气筒内部并推动活塞使得弹性弹簧发生弹性形变缩短，直至活塞越过出气管，从而气体从出气管排出，完成自动泄压。完成自动泄压。完成自动泄压。

【技术实现步骤摘要】
一种节能环保型连续式扩散炉


[0001]本技术涉及扩散炉
，具体为一种节能环保型连续式扩散炉。

技术介绍

[0002]半导体生产的过程中有一道扩散工艺，其过程是通过将半导体放入扩散炉中，再通入反应气体，实现化学反应和分子沉积成膜，成膜以后可以通过加热进行高温扩散，从而实现半导体或光伏原材料表面掺杂的功能，但是现有的扩散炉还存在很多问题或缺陷：
[0003]第一，传统的扩散炉密封性能不高，在炉盖关闭的地方常常由于内部压力过大导致发生泄漏。
[0004]第二，传统的扩散炉缺少泄压结构，内部常常由于压强过高导致内部零件发生损伤，甚至发生爆炸。
[0005]第三，传统的扩散炉缺少对尾气的处理，尾气直接排放会污染周边的环境和影响工作人员的健康。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种节能环保型连续式扩散炉，以解决上述
技术介绍
中提出的密封性能不高、缺少泄压结构和缺少对尾气的处理的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种节能环保型连续式扩散炉，包括气柜、散热底柜、反应柜和炉体，所述散热底柜顶端的一端安装有气柜，且气柜一侧的散热底柜顶端安装有反应柜，所述反应柜的内部均匀设置有炉体，且炉体的顶端和底端均安装有加热管，所述反应柜内部靠近气柜的一侧均匀安装有泄压结构，且反应柜一侧的散热底柜顶端安装有送料柜，所述送料柜一侧的散热底柜顶端安装有电柜，且电柜的一端均匀安装有PLC控制器，所述电柜内部远离气柜的一侧均匀安装有气动伸缩杆，且气动伸缩杆的输出端均安装有推板，所述推板远离气动伸缩杆的一侧均设置有内盖，且内盖远离推板一侧的下端均水平安装有放料板。
[0008]优选的，所述气柜内部的底端安装有净化罐，且净化罐内部两侧的下端均匀安装有缓速板，所述净化罐内部两侧的上端安装有过滤层，且过滤层上方的净化罐内部两侧安装有吸附层，所述净化罐的顶端安装有贯穿气柜的排气管。
[0009]优选的，所述气柜一侧的上端安装有通风机，且通风机的输出端安装有通气总管，所述通气总管远离通风机的一侧均匀安装有贯穿至炉体内部的通气管，且通气管远离通风机的一侧均匀开设有通孔。
[0010]优选的，所述泄压结构包括出气总管、气筒、出气管、弹性弹簧、连接管和活塞，所述气筒均安装在反应柜内部靠近气柜的一侧，且气筒一侧的上端均安装有贯穿炉体的连接管，所述气筒的底端均安装有弹性弹簧，且弹性弹簧的顶端均滑动连接有活塞，所述气筒一侧的下端均安装有贯穿反应柜的出气管，且出气管的一侧安装有贯穿净化罐的出气总管。
[0011]优选的，所述送料柜的内部均匀水平安装有滑道，且滑道上方的推板底端均通过
滑块与滑道相连。
[0012]优选的，所述内盖的一侧开设有凹槽，且凹槽的内部滑动连接有滑板，所述滑板靠近推板的一侧均匀安装有与推板相连接的压缩弹簧，且滑板远离推板的一侧均安装有密封圈。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]（1）通过设置有气动伸缩杆、推板、内盖、炉体、压缩弹簧、滑板、凹槽和密封圈，通过气动伸缩杆工作推动推板运动，使得内盖将炉体关闭，同时带动压缩弹簧推动滑板在凹槽内部滑动，从而使得密封圈与炉体之间构成密封，在压缩弹簧的弹性作用下使得密封性能更佳，大大的提高了该扩散炉的密封性能；
[0015]（2）通过设置有炉体、连接管、气筒、活塞、弹性弹簧和出气管，反应过程中炉体内部的气体压强增大，然后气体通过连接管排入气筒内部并推动活塞使得弹性弹簧发生弹性形变缩短，直至活塞越过出气管，从而气体从出气管排出，完成自动泄压；
[0016]（3）通过设置有出气总管、净化罐、缓速板、过滤层、吸附层和排气管，泄压的气体通过出气总管通入净化罐内部，经过缓速板的缓冲减速后，再经过过滤层和吸附层的过滤和吸附处理后将有毒物质排除，最终处理后的气体通过排气管排出，从而避免有毒气体污染环境和危害工作人员的健康。
附图说明
[0017]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0018]图2为本技术的正视结构示意图；
[0019]图3为本技术的侧视剖面结构示意图；
[0020]图4为本技术泄压结构的正视剖面放大结构示意图；
[0021]图5为本技术图1的A部放大结构示意图。
[0022]图中：1、气柜；2、排气管；3、净化罐；4、吸附层；5、过滤层；6、缓速板；7、散热底柜；8、泄压结构；801、出气总管；802、气筒；803、出气管；804、弹性弹簧；805、连接管；806、活塞；9、反应柜；10、送料柜；11、放料板；12、内盖；13、电柜；14、气动伸缩杆；15、滑道；16、滑块；17、推板；18、炉体；19、加热管；20、通孔；21、通气管；22、通气总管；23、通风机；24、PLC控制器；25、凹槽；26、密封圈；27、滑板；28、压缩弹簧。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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5，本技术提供的一种实施例：具体的，如图1和图2所示，使用该结构时，首先一种节能环保型连续式扩散炉，包括气柜1、散热底柜7、反应柜9和炉体18，散热底柜7顶端的一端安装有气柜1，且气柜1一侧的散热底柜7顶端安装有反应柜9，反应柜9的内部均匀设置有炉体18，且炉体18的顶端和底端均安装有加热管19；
[0025]气柜1内部的底端安装有净化罐3，且净化罐3内部两侧的下端均匀安装有缓速板
6，净化罐3内部两侧的上端安装有过滤层5，且过滤层5上方的净化罐3内部两侧安装有吸附层4，净化罐3的顶端安装有贯穿气柜1的排气管2；
[0026]具体的，如图1和图3所示，使用该结构时，首先气体通过出气总管801通入净化罐3内部，经过缓速板6的缓冲减速后，再经过过滤层5和吸附层4的过滤和吸附处理后将有毒物质排除，最终处理后的气体通过排气管2排出，从而避免有毒气体污染环境和危害工作人员的健康；
[0027]气柜1一侧的上端安装有通风机23，且通风机23的输出端安装有通气总管22，通气总管22远离通风机23的一侧均匀安装有贯穿至炉体18内部的通气管21，且通气管21远离通风机23的一侧均匀开设有通孔20；
[0028]具体的，如图1和图3所示，使用该结构时，首先通风机23工作将反应气体依次通过通气总管22、通气管21和通孔20均匀的通入炉体18内部与半导体反应，使得气体通入更为均匀；
[0029]反应柜9内部靠近气柜1的一侧均匀安装有泄压结构8，且反应柜9一侧的散热底柜7顶端安装有送料柜10；
[0030]泄压结构8包括出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能环保型连续式扩散炉，包括气柜（1）、散热底柜（7）、反应柜（9）和炉体（18），其特征在于：所述散热底柜（7）顶端的一端安装有气柜（1），且气柜（1）一侧的散热底柜（7）顶端安装有反应柜（9），所述反应柜（9）的内部均匀设置有炉体（18），且炉体（18）的顶端和底端均安装有加热管（19），所述反应柜（9）内部靠近气柜（1）的一侧均匀安装有泄压结构（8），且反应柜（9）一侧的散热底柜（7）顶端安装有送料柜（10），所述送料柜（10）一侧的散热底柜（7）顶端安装有电柜（13），且电柜（13）的一端均匀安装有PLC控制器（24），所述电柜（13）内部远离气柜（1）的一侧均匀安装有气动伸缩杆（14），且气动伸缩杆（14）的输出端均安装有推板（17），所述推板（17）远离气动伸缩杆（14）的一侧均设置有内盖（12），且内盖（12）远离推板（17）一侧的下端均水平安装有放料板（11）。2.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉，其特征在于：所述气柜（1）内部的底端安装有净化罐（3），且净化罐（3）内部两侧的下端均匀安装有缓速板（6），所述净化罐（3）内部两侧的上端安装有过滤层（5），且过滤层（5）上方的净化罐（3）内部两侧安装有吸附层（4），所述净化罐（3）的顶端安装有贯穿气柜（1）的排气管（2）。3.根据权利要求1所述的一种节能环保型连续式扩散炉，其特征在于：所述气柜（1）一侧的上端安装有通风机（23），且通风机（23）的输出端...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙婧琦，
申请(专利权)人：江苏金圣硅基新材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：