本实用新型专利技术公开了一种滚轮带液背腐蚀刻边装置，包括硅片输送机和顶部敞口的刻蚀槽，硅片输送机包括驱动组件和多个并排分布于刻蚀槽内的滚轮，驱动组件驱动滚轮沿相同方向转动，滚轮为漂浮滚轮，漂浮的滚轮上部抵接设置有下压件，漂浮的滚轮组成水平的硅片输送面。该滚轮带液背腐蚀刻边装置通过将滚轮漂浮在刻蚀槽的刻蚀液液面上，并利用下压件作用于滚轮上部，保证滚轮形成水平的硅片传输面，从而实现硅片稳定的传输和可靠的背面刻蚀；此外，该装置无需安装感应器，进一步保证了刻蚀的可靠性并降低了成本。靠性并降低了成本。靠性并降低了成本。
【技术实现步骤摘要】
一种滚轮带液背腐蚀刻边装置
[0001]本技术涉及太阳能电池生产
，尤其是涉及一种滚轮带液背腐蚀刻边装置。
技术介绍
[0002]在对硅片进行扩散处理后，为了去除硅片背面的PN结，防止正面收集的光生电子沿着边缘有磷的区域流到背面从而造成短路，通常采用滚轮带液湿法刻蚀的方法，使用氢氟酸和硝酸的混合酸液去除硅片侧边和背面的磷。在生产时通常在硅片正面铺上水膜，避免硅片正面被刻蚀，若滚轮不平，则会导致水膜流下，硅片正面被刻蚀，即过刻。因此，滚轮带液技术中对滚轮的水平性要求较高。
[0003]如公告号为CN108682620B的中国专利技术专利公开了一种改善滚轮带液刻蚀过刻的装置，包括滚轮带液刻蚀设备，滚轮下方设置有平板，平板与滚轮相互贴合；平板上平行设置有多组安装槽，安装槽与滚轮相互垂直，且安装槽与滚轮连接处设置有感应器，感应器包括电性连接的按钮开关和报警器，按钮开关与滚轮活动连接。该装置能够有效避免由于滚轮不平造成的过刻，减少由于刻蚀过程中过刻造成效率降低情况。
[0004]但是上述背刻蚀装置使用时，需要使用到大量的感应器，造成装置成本增加，并且该背刻蚀装置中的感应器在酸性溶液中使用，极易受到腐蚀而损坏，导致滚轮不平时感应器中的报警器无法计时发出报警信号，影响了装置的可靠性。
[0005]因此，有必要对现有技术中的滚轮带液背刻蚀装置进行改进。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种成本低且可靠性高的滚轮带液背腐蚀刻边装置。
[0007]为实现上述技术效果，本技术的技术方案为：一种滚轮带液背腐蚀刻边装置，包括硅片输送机和顶部敞口的刻蚀槽，所述硅片输送机包括驱动组件和多个并排分布于刻蚀槽内的滚轮，所述驱动组件驱动所述滚轮沿相同方向转动，所述滚轮为漂浮滚轮，漂浮的滚轮上部抵接设置有下压件，所述漂浮的滚轮组成水平的硅片输送面。
[0008]优选的，为了实现滚轮漂浮在刻蚀液液面上并使滚轮抵接于下压件下方，所述滚轮为中空结构。
[0009]优选的，为了实现滚轮漂浮在刻蚀液液面上并使滚轮抵接于下压件下方，所述滚轮的下部抵接设置有悬浮支撑件，所述刻蚀槽内固定设置有导向件，所述悬浮支撑件与所述导向件沿竖直方向滑动配合。
[0010]优选的，为了减小滚轮沿垂直于其轴心线的水平方向偏移程度，所述下压件上设置有容纳所述滚轮的凹陷部。
[0011]优选的，为了便于调节滚轮相对于刻蚀液液面的位置，保证滚轮对硅片的刻蚀效果，所述下压件连接有升降装置。
[0012]优选的，为了实现硅片的稳定传输，所述滚轮外套设有导向环，所述导向环与所述滚轮配合组合成若干输送通道，所述输送通道的传输方向与所述滚轮的轴心线方向垂直。
[0013]优选的，为了避免过刻，所述导向环的环宽小于硅片的厚度。
[0014]优选的，为了实现各个滚轮的同步转动，所述滚轮固定连接有从动件；所述驱动组件包括链条和多个转动件，所述转动件与所述从动件一一对应，所述转动件用于驱动所述从动件转动，所述转动件固定连接有链轮，所述链轮与所述链条相啮合；所述驱动组件还包括电机，所述电机的输出端与其中一个链轮固定连接。
[0015]优选的，为了防止滚轮沿其轴心线滑动，所述滚轮的两端设置有限位件，所述限位件与所述滚轮的端面相接触。
[0016]综上所述，本技术滚轮带液背腐蚀刻边装置通过将滚轮漂浮在刻蚀槽的刻蚀液液面上，并利用下压件作用于滚轮上部，保证滚轮形成水平的硅片传输面，从而实现硅片稳定的传输和可靠的背面刻蚀；此外，该装置无需安装感应器，进一步保证了刻蚀的可靠性并降低了成本。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例1的结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例1的俯视图；
[0019]图3是图2的A部放大图；
[0020]图4是本技术实施例1的局部剖面图；
[0021]图5是本技术实施例2的局部剖面图；
[0022]图6是本技术实施例3的局部剖面图；
[0023]图中：1.刻蚀槽,2.驱动组件,2a.链条，2b.链轮，2c.转动件， 2d.从动件，2e.电机，2f.同心轴,3.滚轮,4.下压件,5.悬浮支撑件， 5
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1.导向孔,6.导向环,7.限位件,8.硅片,9.导向件，10.升降装置。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0025]实施例1
[0026]如图1
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图4所示，实施例1的滚轮带液背腐蚀刻边装置，包括硅片输送机和顶部敞口的刻蚀槽1；输送机包括驱动组件2和多个并排分布于刻蚀槽1内的滚轮3，滚轮3为中空结构的漂浮滚轮，使其能够漂浮于刻蚀槽1内的刻蚀液液面上，驱动组件2驱动各滚轮3沿相同方向转动；刻蚀槽1内固定有两个条形的下压件4，下压件4的两端分布于刻蚀槽1长度方向的两个内侧壁固定连接，且下压件4水平设置，漂浮的滚轮3的顶部抵接于下压件4的下方，从而使漂浮的滚轮3组成水平的硅片输送面；滚轮3上设置有六个导向环6，各导向环6沿滚轮3的长度方向间隔分布，导向环6的内缘与滚轮3的外缘固定连接，导向环6 的环面与滚轮3的轴心线相垂直且导向环6的环宽小于硅片的厚度，导向环6与滚轮3组合成三个输送通道，输送通道的传输方向与滚轮3的轴心线垂直；驱动组件2共有两个，分设于滚轮3的两端，
驱动组件包括链条2a和转动设置于链条2a内侧的多个链轮2b，链条2a设置于刻蚀槽1的外侧，链轮2b与滚轮3一一对应，链轮2b通过同心轴2f固定有转动件2c，同心轴2f穿设于刻蚀槽1一侧的内壁且穿设处密封设置，转动件2c为朝向滚轮3的套管，套管的端部固定有与其轴心线平行的转动杆，滚轮3固定连接有从动件2d，从动件2d包括与滚轮3同轴心线的转轴，转轴设置于套管内，转轴固定有凸杆，转动件2c的转动路径与从动件2d相交，即转动件2c中的套管转动后，其中一个转动杆与凸杆接触后，带动转轴转动，从而通过从动件2d实现滚轮3的转动(即转动件2c带动从动件2d转动)，驱动组件2还包括与刻蚀槽1固定连接的电机2e，电机2e的输出端与其中一个链轮2b固定连接。
[0027]该实施例使用时，在硅片8正面铺上水膜后，将其置于滚轮3上，使硅片8位于两个导向环6之间，以固定硅片8的移动方向，防止硅片8 运输过程中在滚轮3轴心线方向滑动。而后电机2e启动，驱动其中一个链轮2b转动，该链轮2b通过链条2a带动其他链轮2b转动，同时这些链轮2b通过同心轴2f带动刻蚀槽1内的转动件2c转动，转动件2c与从动件2d接触，通过从动件2d带动滚轮3转动，从而实现硅片8的输送，由于滚轮3转动过程中，带动刻蚀槽1内的刻蚀液1与硅片8的背面接触，从而对硅片8的背面刻蚀。
[0028]刻蚀槽1内，滚轮3漂浮与刻蚀本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种滚轮带液背腐蚀刻边装置，包括硅片输送机和顶部敞口的刻蚀槽（1），所述硅片输送机包括驱动组件（2）和多个并排分布于刻蚀槽（1）内的滚轮（3），所述驱动组件（2）驱动所述滚轮（3）沿相同方向转动，其特征在于：所述滚轮（3）为漂浮滚轮，漂浮的滚轮（3）上部抵接设置有下压件（4），所述漂浮的滚轮（3）组成水平的硅片输送面。2.根据权利要求1所述的滚轮带液背腐蚀刻边装置，其特征在于：所述滚轮（3）为中空结构。3.根据权利要求1所述的滚轮带液背腐蚀刻边装置，其特征在于：所述滚轮（3）的下部抵接设置有悬浮支撑件（5），所述刻蚀槽内固定设置有导向件（9），所述悬浮支撑件（5）与所述导向件（9）沿竖直方向滑动配合。4.根据权利要求1所述的滚轮带液背腐蚀刻边装置，其特征在于：所述下压件（4）上设置有容纳所述滚轮（3）上部的凹陷部。5.根据权利要求1所述的滚轮带液背腐蚀刻边装置，其特征在于：所述下压件（4）连接有升降装置（10）。6.根据权利要求1所述的滚轮带液背腐...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨冬生，胡燕，陈志杰，刘丹磊，
申请(专利权)人：中建材浚鑫科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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