一种单晶炉用环形分水汇装置及单晶炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉用环形分水汇装置，包括单晶炉盖、位于单晶炉盖上的若干视窗、与单晶炉盖内部连通的进水口及出水口；所述每个视窗上同样设有进水口及出水口；还包括一个圆弧形的进水汇及一个圆弧形的出水汇，将冷却液的进水管均汇总到进水汇，由进水汇的出水口统一给需要进冷却液的回路进水，同样的出水端汇总到出水汇，从而使冷却液在炉盖上的布线具有调理且主要集中于进水汇、出水汇中，进水汇、出水汇可以单独取下修整，便于冷却液回路的检修维护。回路的检修维护。回路的检修维护。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用环形分水汇装置及单晶炉


[0001]本技术属于硅晶体材料单晶炉


技术介绍

[0002]现有技术的半导体
中，需要使用硅单晶炉通过提拉法制备硅片。在现有的单晶炉盖上，需要设置炉盖的冷却液回路。同时，炉盖上需要设置若干观察窗口用以观察炉内工况，这些观察窗口内也需要设置对应冷却液回路以避免窗口过热炸裂。故在单晶炉盖上，每个观察窗口及炉盖本体上需要设置的冷却液进口与出口非常多，所需要设置的外接管路也非常多，管路较杂乱，对于检修维护非常不便。
[0003]故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]技术目的：本技术的目的是提供一种单晶炉用环形分水汇装置，用以解决单晶炉盖上冷却液布线杂乱的问题。
[0005]本技术还提供了具有该环形分水汇装置的单晶炉。
[0006]技术方案：为达到上述目的，本技术水冷套对中组件可采用如下技术方案：
[0007]一种单晶炉用环形分水汇装置，包括单晶炉盖、位于单晶炉盖上的若干视窗、与单晶炉盖内部连通的进水口及出水口；所述每个视窗上同样设有进水口及出水口；还包括一个圆弧形的进水汇及一个圆弧形的出水汇，单晶炉盖顶部中央位置设有向上凸伸的圆柱形凸台；所述进水汇及出水汇均安装在凸台的外壁上；进水汇包括主进水管及若干出水管，每个出水管一一对应连接上述每个进水口；出水汇包括主出水管及若干进水管，每个进水管一一对应连接上述每个出水口。
[0008]进一步的，所述进水汇及出水汇上下堆叠排列。
[0009]进一步的，所述进水汇与出水汇相背安装且处于同一高度。
[0010]进一步的，所述主进水管、出水管、主出水管及进水管为弯折向下延伸。
[0011]有益效果：本技术提供的环形分水汇装置通过设置进水汇及出水汇，将冷却液的进水管均汇总到进水汇，由进水汇的出水口统一给需要进冷却液的回路进水，同样的出水端汇总到出水汇，从而使冷却液在炉盖上的布线具有调理且主要集中于进水汇、出水汇中，进水汇、出水汇可以单独取下修整，便于冷却液回路的检修维护。
[0012]本技术还提供了一种单晶炉的技术方案，具有上述的环形分水汇装置。
附图说明
[0013]图1是本技术单晶炉用环形分水汇装置实施例一侧视图。
[0014]图2是本技术单晶炉用环形分水汇装置实施例一俯视图。
[0015]图3是实施例一中出水汇结构示意图。
[0016]图4是本技术单晶炉用环形分水汇装置实施例二俯视图。
具体实施方式
[0017]实施例一
[0018]请结合图1至图3所示，本实施例公开一种单晶炉用环形分水汇装置，包括单晶炉盖。该单晶炉盖上设有视窗A、视窗B、视窗C、视窗D、视窗F用以从不同位置及角度观察炉盖内工况。与单晶炉盖上设有两个进水口31、41及分别对应两个进水口的出水口32、42。所述每个视窗上同样设有进水口及出水口，即视窗A的进水口A1、出水口A2；视窗B的进水口B1、出水口B2；视窗C的进水口C1、出水口C2；视窗D的进水口D1、出水口D2；视窗F的进水口F1、出水口F2。
[0019]本实施例中通过一个圆弧形的进水汇100及一个圆弧形的出水汇200将进水管路与出水管路汇总。单晶炉盖顶部中央位置设有向上凸伸的圆柱形凸台11；所述进水汇100及出水汇200均安装在凸台11的外壁上。进水汇100包括主进水管101及若干出水管1、2、3、4、5、6、7、8。每个出水管1、2、3、4、5、6、7、8一一对应连接上述每个进水口31、41、A1、B1、C1、D1、E1、F1(连接的管路未在图中示出)；出水汇200包括主出水管201及若干进水管1
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，每个进水管1
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一一对应连接上述每个出水口32、42、A2、B2、C2、D2、E2、F2(连接的管路未在图中示出)。所述进水汇100及出水汇200上下堆叠排列。主进水管101、出水管1、2、3、4、5、6、7、8、主出水管201及进水管1
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为弯折向下延伸便于接水管。
[0020]实施例二
[0021]请结合图4所示，该实施例二的结构与实施例一大致相同，唯一不同的是进水汇与出水汇不是上下排列安装的。在本实施例中，所述进水汇100与出水汇200相背安装且处于同一高度。
[0022]本技术具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本技术的优选实施方式。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用环形分水汇装置，包括单晶炉盖、位于单晶炉盖上的若干视窗、与单晶炉盖内部连通的进水口及出水口；所述每个视窗上同样设有进水口及出水口；其特征在于，还包括一个圆弧形的进水汇及一个圆弧形的出水汇，单晶炉盖顶部中央位置设有向上凸伸的圆柱形凸台；所述进水汇及出水汇均安装在凸台的外壁上；进水汇包括主进水管及若干出水管，每个出水管一一对应连接上述每个进水口；出水汇包括主出水管及若干进水管，每个进水管一一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴春生，姜宏伟，郭志强，
申请(专利权)人：南京晶能半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：