一种高精度光控使用的比较片换位装置制造方法及图纸

技术编号:29917975 阅读:11 留言:0更新日期:2021-09-04 13:47
本实用新型专利技术公开了一种高精度光控使用的比较片换位装置,包括换位装置固定座本体,所述换位装置固定座本体一侧设有光纤固定腔,所述光纤固定腔内底端设有光纤头卡座,所述光纤固定腔内卡装有光纤,所述光纤的端部卡装于光纤头卡座内,所述换位装置固定座本体中部纵向开设有转筒安置腔,所述转筒安置腔内套装有转筒,所述转筒顶端的外壁上设有从动齿轮,所述转筒顶端设有定位传感器,所述换位装置固定座本体顶端的一侧靠近转筒处设有电机。本实用新型专利技术结构简单,操作方便,很好的与工件盘的转动部件完整的结合在一起,工作时互不影响,有效的提高了比较片的稳定性和精度。的提高了比较片的稳定性和精度。的提高了比较片的稳定性和精度。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度光控使用的比较片换位装置


[0001]本技术属于光学设备
,具体涉及一种高精度光控使用的比较片换位装置。

技术介绍

[0002]在公知的技术中,针对非规整膜系的需要,镀膜膜厚监控系统一般是通过一个或几个比较片的切换,分别用不同的监控波长信号对膜系各层的光学厚度进行监控。随着膜系的复杂化设计,要在一个或几个比较片上完成整个膜系的控制,是无法实现的,必须在十几个或几十个比较片上进行切换才能完成,因此要求监控系统的比较片上能够容纳和切换更多的监控点。现代的镀膜机上都装备了比较片切换装置,当进行切换时,须从下方取出、放入比较片或比较片托盘。这种切换装置不仅操作麻烦,工作人员容易被烫伤,而且造成蒸镀效率低,质量得不到保证。还有一种镀膜比较片装置为拨盘式单片切换结构,它是将镀膜比较片叠摞置放在一个上筒体内,切换时比较片通 过拨盘拨动一个工位,上筒体内落下一个比较片,同时被切换的比较片随工位转动落到一个下筒体内,每切换一片,拨动一个工位。由于拨盘转动完全 是靠机械转动,其定位精度低,转动位置不易到位,比较片也容易摩擦损坏, 而且操作环节多、工作效率低,动作可靠性差。另外,在比较片的定位控制 方面,一般是利用接近开关、霍尔开关或光耦等控制元件进行手动控制,由于手动控制定位精度低,造成每切换一个比较片,监控投射光斑与比较片都会产生偏离,并在完成整个膜系蒸镀过程中不断形成积累误差,使比较片托盘转动一周,投射光斑有时会偏离半个比较片,光斑的重复性差,加之定位元器件体积的限制,比较片的片位不能太多,而且安装起来又比较麻烦,需 要反复调整定位元件,因此切换时定位的准确与否取决于操作员的熟练程度, 导致镀膜监控的精度低,可靠性差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供了一种能够较好的解决传统的比较片换位后,反射光偏移、导致镀膜厚度测量不准的结构性缺陷的高精度光控使用的比较片换位装置。
[0004]为了达到上述设计目的,本技术所采用的技术方案是:一种高精度光控使用的比较片换位装置,包括换位装置固定座本体,所述换位装置固定座本体一侧设有光纤固定腔,所述光纤固定腔内底端设有光纤头卡座,所述光纤固定腔内卡装有光纤,所述光纤的端部卡装于光纤头卡座内,所述换位装置固定座本体中部纵向开设有转筒安置腔,所述转筒安置腔内套装有转筒,所述转筒顶端的外壁上设有从动齿轮,所述转筒顶端设有定位传感器,所述换位装置固定座本体顶端的一侧靠近转筒处设有电机,所述电机的输出转轴上设有与所述转筒顶端外壁上的从动齿轮相配合的主驱动齿轮,所述转筒底部设有比较片卡座,所述比较片卡座上卡装有比较片。
[0005]所述换位装置固定座本体一侧的光纤固定腔底端开设有透光孔。
[0006]所述光纤头卡座可根据实际生产需求来调节上下高度。
[0007]本技术有益效果:本新型采用先进的光纤导入技术直接将光线入射到比较片上,由于此种入射光斑比较小,能量损耗少;因此能够实现比较片的多位转换;另外此种结构比较片的定位精度不受传动机构的影响,因此能够较好的解决传统的比较片换位后,反射光偏移、导致镀膜厚度测量不准的结构性缺陷。本技术结构简单,操作方便,很好的与工件盘的转动部件完整的结合在一起,工作时互不影响,有效的提高了比较片的稳定性和精度。
附图说明
[0008]图 1 为本技术一种高精度光控使用的比较片换位装置结构示意图。
具体实施方式
[0009]下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细描述。如图1所示的:一种高精度光控使用的比较片换位装置,包括换位装置固定座本体1,所述换位装置固定座本体1一侧设有光纤固定腔2,所述光纤固定腔2内底端设有光纤头卡座3,所述光纤固定腔2内卡装有光纤4,所述光纤4的端部卡装于光纤头卡座3内,所述换位装置固定座本体1中部纵向开设有转筒安置腔5,所述转筒安置腔5内套装有转筒6,所述转筒6顶端的外壁上设有从动齿轮7,所述转筒6顶端设有定位传感器8,所述换位装置固定座本体1顶端的一侧靠近转筒处设有电机9,所述电机9的输出转轴上设有与所述转筒6顶端外壁上的从动齿轮7相配合的主驱动齿轮10,所述转筒6底部设有比较片卡座,所述比较片卡座上卡装有比较片。
[0010]所述换位装置固定座本体1一侧的光纤固定腔底端开设有透光孔。
[0011]所述光纤头卡座3可根据实际生产需求来调节上下高度。
[0012]本技术使用时:将光纤穿入到光纤固定腔2内,并将光纤头固定于光纤头卡座3内,开启电机9电源,随后将比较片卡装于转筒6底部设置的比较片卡座上,电机9通过驱动齿轮组件旋转转筒6,转筒6下部和比较片相连接,从而实现了比较片的换位,在换位过程中通过转筒6顶端设置的定位传感器8来检测比较片换位时的原点位置,在实际生产过程中,通过调节光纤头卡座3的上下高度来改变光纤4的高低位置,即可对光纤4和比较片的距离进行微调从而达到最好的检测效果。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度光控使用的比较片换位装置,其特征在于:包括换位装置固定座本体,所述换位装置固定座本体一侧设有光纤固定腔,所述光纤固定腔内底端设有光纤头卡座,所述光纤固定腔内卡装有光纤,所述光纤的端部卡装于光纤头卡座内,所述换位装置固定座本体中部纵向开设有转筒安置腔,所述转筒安置腔内套装有转筒,所述转筒顶端的外壁上设有从动齿轮,所述转筒顶端设有定位传感器,所述换位装置固定座本体顶端的一侧靠近转筒处设有...

【专利技术属性】
技术研发人员:任海宾马文鹏党亚军
申请(专利权)人:南阳清水科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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