本实用新型专利技术公开了光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母。该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱和功能箱内部的吹风机构、吸尘机构和清洗机构组成的一套清扫装置，可以对光刻机载片台进行吹尘、吸尘和酒精清洗消毒的组合操作，通过设置清洁箱的下表面为开口结构，可以方便将清洁箱通过滑轮移动到载片台的上方位置，使得载片台位于清洁箱的内腔中，使得清洗环境处于半封闭的状态，提高了清扫的效果。提高了清扫的效果。提高了清扫的效果。
【技术实现步骤摘要】
光刻机载片台清扫装置
[0001]本技术涉及清扫装置
，具体为光刻机载片台清扫装置。
技术介绍
[0002]光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩模对准光刻机，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，光刻的意思是用光来制作一个图形工艺，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程，在芯片制造漫长的产业链中，光刻机是最为耀眼的明珠，它代表了人类科技发展的顶级水平(另一个是航空发动机)，它是芯片制造中必不可少的精密设备。
[0003]光刻机在光刻过程中，光刻机的载片台如果受到微尘污染，就可能导致产品局部损坏等问题，严重情况下甚至会造成产品报废，给企业带来经济损失。
[0004]为此，我们提供了光刻机载片台清扫装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供光刻机载片台清扫装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱，所述清洁箱的下表面为开口结构，所述清洁箱的右、右侧壁分别开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝，两个所述螺纹顶丝的相对端的延伸至清洁箱的内腔，所述螺纹顶丝的外表面螺纹连接有固定螺母，所述螺纹顶丝远离固定螺母的一端通过转轴转动连接有固定块，所述固定块远离螺纹顶丝的一侧固定连接有橡胶块，两个所述橡胶块的相对面之间设置有载片台，所述清洁箱的上表面固定连接有功能箱，所述功能箱的内腔分别设置有吹风机构、吸尘机构和清洗机构，所述吹风机构包括固鼓风机，所述吸尘机构包括微型吸尘器，所述清洗机构包括喷雾瓶。
[0007]优选的，所述清洁箱左侧壁位于螺纹孔上部的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有进风管，所述进风管的左侧进风端固定连接有第一橡胶软管，所述第一橡胶软管远离进风管的一端固定连接有出风管，所述出风管远离第一橡胶软管的一端贯穿功能箱的左侧壁且与鼓风机的出风端固定连接，所述进风管的出风端延伸至载片台左侧且靠近载片台上表面的位置。
[0008]优选的，所述清洁箱右侧壁靠近内顶壁的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有第一吸气管，所述第一吸气管的左端贯穿清洁箱的右侧壁且固定连接有喇叭斗，所述第一吸气管远离喇叭斗的一端固定连接有第二橡胶软管，所述第二橡胶软管远离第一吸气管的一端固定连接有第二吸气管，所述第二吸气管的左端贯穿功能箱的右侧壁且与微型吸尘器的吸气端固定连接。
[0009]优选的，所述清洁箱的上表面开设有通孔，通孔的内壁固定连接有竖管，所述竖管
的底部延伸至清洁箱的内腔且固定连接有喷雾管，所述喷雾管的下表面固定连接有喷雾头，所述喷雾头的数量为若干个，所述竖管的顶端固定连接有透明软管，所述透明软管远离竖管的一端与喷雾瓶的输出端固定连接，所述喷雾管位于载片台正上方的位置。
[0010]优选的，所述清洁箱的下表面四个角分别固定连接有连接杆，所述连接杆的底部通过转轴转动连接有滑轮。
[0011]优选的，所述功能箱的左侧外壁固定连接有开关面板，所述开关面板的外表面分别设置有鼓风机开关和微型吸尘器开关，所述开关面板和鼓风机、微型吸尘器均通过导线电性连接，所述开关面板通过电线插头连接外部供电。
[0012]优选的，所述清洁箱的正面通过阻尼转轴转动连接有第一柜门，所述第一柜门的外表面开设有观察窗，所述第一柜门背面的左、右两侧均固定连接有磁条，所述清洁箱右、右内侧壁底部靠近第一柜门的位置均固定连接有磁条，两组对应位置的磁条均磁性相吸。
[0013]优选的，所述功能箱的正面通过合页转动连接有第二柜门，所述第二柜门的数量为两个，所述第二柜门的正面均开设有条形散热孔，所述条形散热孔的数量为八个，所述功能箱的上表面通过转轴转动连接有把手。
[0014]优选的，所述喷雾瓶的内腔盛放有酒精消毒液，所述微型吸尘器的内部设置有空气滤芯。
[0015]有益效果
[0016]本技术提供了光刻机载片台清扫装置，具备以下有益效果：
[0017]1.该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱和功能箱内部的吹风机构、吸尘机构和清洗机构组成的一套清扫装置，可以对光刻机载片台进行吹尘、吸尘和酒精清洗消毒的组合操作，通过设置清洁箱的下表面为开口结构，可以方便将清洁箱通过滑轮移动到载片台的上方位置，使得载片台位于清洁箱的内腔中，使得清洗环境处于半封闭的状态，提高了清扫的效果。
[0018]2.该光刻机载片台清扫装置，通过设置清洁箱内部的螺纹顶丝、固定块、固定螺母和橡胶块组成的夹紧机构，可以将载片台与清洁箱进行固定，不受其他轻微震动的影响，增加了清洗过程中的稳定性，通过设置第一柜门外表面的观察窗，可以方便边清洗边查看清洗进度，通过设置清洁箱上表面的把手，方便了该清扫装置的携带，且提高了实用性。
附图说明
[0019]图1为本技术正剖结构示意图；
[0020]图2为本技术正视结构示意图；
[0021]图3为本技术侧视结构示意图；
[0022]图4为图1中A处放大结构示意图；
[0023]图5为图1中B处放大结构示意图。
[0024]图中：1清洁箱、2螺纹孔、3螺纹顶丝、4固定螺母、5固定块、6橡胶块、7载片台、8功能箱、9鼓风机、10微型吸尘器、11喷雾瓶、12进风管、13第一橡胶软管、14出风管、15第一吸气管、16喇叭斗、17第二橡胶软管、18第二吸气管、19竖管、20喷雾管、21喷雾头、22透明软管、23连接杆、24滑轮、25开关面板、26第一柜门、27观察窗、28第二柜门、29把手、30条形散热孔。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱1，清洁箱1的下表面为开口结构，清洁箱1的右、右侧壁分别开设有螺纹孔2，螺纹孔2的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝3，两个螺纹顶丝3的相对端的延伸至清洁箱1的内腔，螺纹顶丝3的外表面螺纹连接有固定螺母4，螺纹顶丝3远离固定螺母4的一端通过转轴转动连接有固定块5，固定块5远离螺纹顶丝3的一侧固定连接有橡胶块6，两个橡胶块6的相对面之间设置有载片台7。
[0027]清洁箱1左侧壁位于螺纹孔2上部的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有进风管12，进风管12的左侧进风端固定连接有第一橡胶软管13，第一橡胶软管13远离进风管12的一端固定连接有出风管14，出风管14远离第一橡胶软管13的一端贯穿功能箱8的左侧壁且与鼓风本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.光刻机载片台清扫装置，包括清洁箱(1)，其特征在于：所述清洁箱(1)的下表面为开口结构，所述清洁箱(1)的右、右侧壁分别开设有螺纹孔(2)，所述螺纹孔(2)的内壁分别螺纹连接有螺纹顶丝(3)，两个所述螺纹顶丝(3)的相对端的延伸至清洁箱(1)的内腔，所述螺纹顶丝(3)的外表面螺纹连接有固定螺母(4)，所述螺纹顶丝(3)远离固定螺母(4)的一端通过转轴转动连接有固定块(5)，所述固定块(5)远离螺纹顶丝(3)的一侧固定连接有橡胶块(6)，两个所述橡胶块(6)的相对面之间设置有载片台(7)，所述清洁箱(1)的上表面固定连接有功能箱(8)，所述功能箱(8)的内腔分别设置有吹风机构、吸尘机构和清洗机构，所述吹风机构包括固鼓风机(9)，所述吸尘机构包括微型吸尘器(10)，所述清洗机构包括喷雾瓶(11)。2.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)左侧壁位于螺纹孔(2)上部的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有进风管(12)，所述进风管(12)的左侧进风端固定连接有第一橡胶软管(13)，所述第一橡胶软管(13)远离进风管(12)的一端固定连接有出风管(14)，所述出风管(14)远离第一橡胶软管(13)的一端贯穿功能箱(8)的左侧壁且与鼓风机(9)的出风端固定连接，所述进风管(12)的出风端延伸至载片台(7)左侧且靠近载片台(7)上表面的位置。3.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装置，其特征在于：所述清洁箱(1)右侧壁靠近内顶壁的位置开设有通孔，通孔的内壁固定连接有第一吸气管(15)，所述第一吸气管(15)的左端贯穿清洁箱(1)的右侧壁且固定连接有喇叭斗(16)，所述第一吸气管(15)远离喇叭斗(16)的一端固定连接有第二橡胶软管(17)，所述第二橡胶软管(17)远离第一吸气管(15)的一端固定连接有第二吸气管(18)，所述第二吸气管(18)的左端贯穿功能箱(8)的右侧壁且与微型吸尘器(10)的吸气端固定连接。4.根据权利要求1所述的光刻机载片台清扫装...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊杰，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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