一种温场循环晶体除杂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种温场循环晶体除杂装置，包括高温烧结炉，所述高温烧结炉的内壁安装有电阻丝固位支架，所述电阻丝固位支架上安装有多圈电阻丝，每圈电阻丝的直径从里向外依次递增；所述高温烧结炉的顶部固定连接有投放过渡炉，所述投放过渡炉的外壁分别固定连接有进气管与出气管，所述投放过渡炉的顶部可拆卸连接有炉盖，所述炉盖上安装有用于带动晶体升降的升降装置。本实用新型专利技术，有效的降低晶体内部许多的杂质缺陷，从而减少晶体内部的缺陷密度，使晶体的性能得到改善。使晶体的性能得到改善。使晶体的性能得到改善。

【技术实现步骤摘要】
一种温场循环晶体除杂装置


[0001]本技术涉及晶体除杂
，具体为一种温场循环晶体除杂装置。

技术介绍

[0002]在晶体生长过程中，难免会遇到许多非故意掺入的杂质。尤其是半导体行业，一些杂质的引入会严重的影响生长出晶体的电导率，缺陷密度，以及晶体尺寸，对这些杂质的去除也就变得尤为关键。
[0003]目前已有的除杂装置主要有离子束除杂、高温烧结等，但是这些方法的除杂效率不是很高，而且条件比较苛刻，价格也比较昂贵，为了优化晶体除杂效率，降低晶体除杂的成本，本技术推出了一种温场循环晶体除杂装置，通过循环温场的构建来使样品内层的杂质浓度降低到一个很低的程度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种温场循环晶体除杂装置，有效的降低晶体内部许多的杂质缺陷，从而减少晶体内部的缺陷密度，使晶体的性能得到改善，解决了
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种温场循环晶体除杂装置，包括高温烧结炉，所述高温烧结炉的内壁安装有电阻丝固位支架，所述电阻丝固位支架上安装有多圈电阻丝，每圈电阻丝的直径从里向外依次递增；所述高温烧结炉的顶部固定连接有投放过渡炉，所述投放过渡炉的外壁分别固定连接有进气管与出气管，所述投放过渡炉的顶部可拆卸连接有炉盖，所述炉盖上安装有用于带动晶体升降的升降装置。
[0006]优选的，所述投放过渡炉的外壁转动连接有L型板，所述L型板上螺纹连接有限位螺钉，所述限位螺钉与所述炉盖的顶部相抵。
[0007]优选的，所述升降装置包括第一管体、第一轴承、第二管体、第一锥齿轮、螺杆、电机、安装座、第二锥齿轮，所述第一管体固定连接在所述炉盖的顶部，所述第一轴承安装在所述第一管体的内壁，所述第二管体套接在所述第一轴承的轴心，所述第一锥齿轮固定连接在所述第二管体的顶部，并且其内壁设置有内螺纹，所述内螺纹与所述螺杆螺纹连接，所述电机通过安装座安装在所述炉盖的顶部，并且其轴上套接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮相啮合，所述螺杆的内部空心，并且其中设置有用于带动晶体旋转的旋转装置。
[0008]优选的，所述第二管体的内壁固定连接有凸起，所述螺杆的表面开设有凹槽，所述凸起穿在所述凹槽中。
[0009]优选的，所述旋转装置包括转杆、第二轴承、第三锥齿轮，所述第二轴承安装在所述螺杆的内壁，所述转杆套接在所述第二轴承的轴心，所述转杆的上端套接有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮与所述第二锥齿轮相啮合，所述转杆穿出所述螺杆的下端安装有用于夹持晶体的夹持装置。
[0010]优选的，所述夹持装置包括固定板、侧板、夹持螺钉、夹板，所述固定板固定连接在所述转杆的下端，所述侧板分别固定连接在所述固定板两端的底部，所述夹持螺钉螺纹连接在所述侧板上，所述夹板固定连接在所述夹持螺钉穿进所述侧板内侧的一端上。
[0011]优选的，所述螺杆的外壁固定连接有顶板，所述顶板的底部固定连接有弹簧，所述投放过渡炉的内壁固定连接有底板。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术，通过改善炉体内电阻丝的加热方式，利用由内而外循环加热法，来使晶体内的杂质聚集到晶体的边缘，再对晶体进行切削加工后，就能够有效的降低晶体内部许多的杂质缺陷，从而减少晶体内部的缺陷密度，使晶体的性能得到改善。
附图说明
[0013]图1为本技术出气管与投放过渡炉连通的立体图；
[0014]图2为本技术进气管与投放过渡炉连通的立体图；
[0015]图3为本技术高温烧结炉的侧视图；
[0016]图4为本技术沿图3中A
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A的剖视图；
[0017]图5为本技术沿图4中B
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B的剖视图；
[0018]图6为本技术沿图4中C
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C的剖视图；
[0019]图7为本技术沿图4中D
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D的剖视图。
[0020]图中：1、高温烧结炉；2、电阻丝固位支架；3、电阻丝；4、投放过渡炉；5、进气管；6、出气管；7、炉盖；8、L型板；9、限位螺钉；10、第一管体；11、第一轴承；12、第二管体；13、第一锥齿轮；14、螺杆；15、电机；16、安装座；17、第二锥齿轮；18、凸起；19、凹槽；20、转杆；21、第二轴承；22、第三锥齿轮；23、固定板；24、侧板；25、夹持螺钉；26、夹板；27、顶板；28、弹簧；29、底板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1至图7，本技术提供一种技术方案：一种温场循环晶体除杂装置，包括高温烧结炉1，高温烧结炉1的内壁安装有电阻丝固位支架2，电阻丝固位支架2上安装有多圈电阻丝3，每圈电阻丝3的直径从里向外依次递增，电阻丝3共计约15
‑
20圈，每圈需要加热的电阻丝3都需要通过电路连接到控制器上，通过控制器调节温场，使其形成一种稳定的温度区间在400℃～1000℃之间的由内向外的扩散型温场，一次温场循环大概在5s～10s左右，同时，根据晶体尺寸的大小，可以重新确定循环周期以及循环圈数，通过此设计，改善炉体内电阻丝3的加热方式，利用由内而外循环加热法，来使晶体内的杂质聚集到晶体的边缘，再对晶体进行切削加工后，就能够有效的降低晶体内部许多的杂质缺陷，从而减少晶体内部的缺陷密度，使晶体的性能得到改善。
[0023]晶体高温烧结的温度很高，所以本案中所有的结构、装置、设备等均满足耐高温条
件进行相应设置的。
[0024]高温烧结炉1的顶部固定连接有投放过渡炉4，投放过渡炉4的外壁分别固定连接有进气管5与出气管6，晶体高温烧结，一般是要在惰性气氛下进行的，所以通过进气管5可以向炉内通入惰性气体，通过出气管6将炉内混合气体排出，排出不是排往外界环境中，要进行净化，满足环保后才能排放；投放过渡炉4的顶部可拆卸连接有炉盖7，可拆卸连接的方式是：投放过渡炉4的外壁转动连接有L型板8，L型板8上螺纹连接有限位螺钉9，限位螺钉9与炉盖7的顶部相抵，通过此设计，使得炉盖7安装和拆卸更加便捷，进而为晶体的投放和取出提供了便利。
[0025]炉盖7上安装有用于带动晶体升降的升降装置，具体地，升降装置包括第一管体10、第一轴承11、第二管体12、第一锥齿轮13、螺杆14、电机15、安装座16、第二锥齿轮17，第一管体10固定连接在炉盖7的顶部，第一轴承11安装在第一管体10的内壁，第二管体12套接在第一轴承11的轴心，第一锥齿轮13固定连接在第二管体12的顶部，并且其内壁设置有内螺纹，内螺纹与螺杆14螺纹连接，电机15通过安装座16安装在炉盖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温场循环晶体除杂装置，包括高温烧结炉(1)，其特征在于：所述高温烧结炉(1)的内壁安装有电阻丝固位支架(2)，所述电阻丝固位支架(2)上安装有多圈电阻丝(3)，每圈电阻丝(3)的直径从里向外依次递增；所述高温烧结炉(1)的顶部固定连接有投放过渡炉(4)，所述投放过渡炉(4)的外壁分别固定连接有进气管(5)与出气管(6)，所述投放过渡炉(4)的顶部可拆卸连接有炉盖(7)，所述炉盖(7)上安装有用于带动晶体升降的升降装置。2.根据权利要求1所述的温场循环晶体除杂装置，其特征在于：所述投放过渡炉(4)的外壁转动连接有L型板(8)，所述L型板(8)上螺纹连接有限位螺钉(9)，所述限位螺钉(9)与所述炉盖(7)的顶部相抵。3.根据权利要求1所述的温场循环晶体除杂装置，其特征在于：所述升降装置包括第一管体(10)、第一轴承(11)、第二管体(12)、第一锥齿轮(13)、螺杆(14)、电机(15)、安装座(16)、第二锥齿轮(17)，所述第一管体(10)固定连接在所述炉盖(7)的顶部，所述第一轴承(11)安装在所述第一管体(10)的内壁，所述第二管体(12)套接在所述第一轴承(11)的轴心，所述第一锥齿轮(13)固定连接在所述第二管体(12)的顶部，并且其内壁设置有内螺纹，所述内螺纹与所述螺杆(14)螺纹连接，所述电机(15)通过安装座(16)安装在所述炉盖(7)的顶部，并且其轴上套接有第二锥齿轮(17)，所述第二锥齿轮(17)与所述第一锥齿轮(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永帅，
申请(专利权)人：深圳天成先进材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：