激光加工设备上料系统技术方案

本实用新型专利技术提供激光加工设备上料系统，包括：检测组件、运动组件、计算组件；运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置；检测组件用于检测待加工基板位置信息，并将检测结果传递至计算组件；计算组件用于对检测结果进行数据处理，并根据数据处理结果控制运动组件；计算组件将检测结果与标准模板进行对比，得出待加工基板与标准模板间的角度偏差值和空间偏差值，根据角度偏差值和空间偏差值计算出角度修正方案和空间修正方案，并通过运动组件进行角度修正和空间修正。本实用新型专利技术通过采用无夹持系统，避免了因夹持动作产生的基片损伤，减少了因夹持误差导致的废片产生，大大提升了放料的稳定性和整机的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
激光加工设备上料系统
本技术涉及激光加工设备领域，特别涉及激光加工设备上料系统。
技术介绍
在目前的激光加工领域，市场上百分之九十以上的激光加工设备使用的上料系统是带有培林(bearing，轴承)的夹持定位工作台，很少一部分使用的上料系统是可自动识别上料的无培林工作台，带有自动识别功能的上料工作台多为进口设备，且价格较高。原有带夹持的上料系统工作模式如下：取料机械手从料仓中取出基板，然后由运动电机带动取料机械手，将基板运送到放料位置，取料机械手下降，将基板放置到工作台面，然后取料机械手抬起，运动电机带着取料机械手运动到待定位置，工作平台的夹持系统通过气缸控制，带动夹持轮夹紧基板，此时基板处于夹持轮与固定轮之间，通过这种方式实现基板定位，然后工作台吸附真空，夹持轮复位，进行后续运动。现有的带培林夹持定位工作台在上料过程中经常会出现基片暗裂，夹持动作偏差导致废片等问题，且定位轮与动轮均属于耗材，需定期维护更换。
技术实现思路
本技术为解决上述现有带培林夹持定位工作台的缺陷，提供以下激光加工设备上料系统。为实现上述目的，本技术采用以下具体技术方案：激光加工设备上料系统，包括：检测组件、运动组件、计算组件；运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置；检测组件用于检测待加工基板位置信息，并将检测结果传递至计算组件；计算组件用于对检测结果进行数据处理，并根据数据处理结果控制运动组件；计算组件将检测结果与标准模板进行对比，得出待加工基板与标准模板间的角度偏差值和空间偏差值，根据角度偏差值和空间偏差值计算出角度修正方案和空间修正方案，并通过运动组件进行角度修正和空间修正。优选地，检测组件包括：识别相机和照明光源；运动组件移动待加工基板至设定检测位置，照明光源提供照明，识别相机进行图形采集。优选地，运动组件包括：机械手、用于控制机械手的一号微型电机、用于控制工作台的二号电机；机械手夹取并移动待加工基板；一号微型电机驱动机械手进行角度移动或位置移动；二号电机驱动工作台进行位置移动。优选地，一号微型电机为小型伺服电机。本技术能够取得以下技术效果：(1)通过采用无夹持系统，避免了因夹持动作产生的基片损伤，减少了因夹持误差导致的废片产生，大大提升了放料的稳定性和整机的工作效率，也间接提升了产品的合格率，减少了工作中废片的产生。(2)取消了夹持机构，进而减少了设备日常维护的人员成本和资金成本。(3)无夹持机构的研发对于激光加工设备的品质提升有很大的帮助，也为激光加工设备日后的市场前景打下了坚实的基础，为未来不同的半导体设备的改良提供了帮助。附图说明图1是根据本技术实施例的激光加工设备上料系统三维示意图；图2是图1所示实施例的激光加工设备上料系统三维示意图的主视图；图3是图1所示实施例的激光加工设备上料系统三维示意图的右视图；图4是图1所示实施例的激光加工设备上料系统三维示意图的俯视图。其中的附图标记包括：检测组件1、识别相机101、照明光源102、运动组件2、机械手201、一号微型电机202。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，而不构成对本技术的限制。如图1所示，本技术实施例提供的激光加工设备上料系统，包括：检测组件1、运动组件2、计算组件。检测组件1包括检测器、检测环境提供装置，运动组件2移动待加工基板至检测组件1检测区域后，传递信号至检测组件1，检测环境提供装置开启，为检测器提供其正常工作所需环境，检测器开始工作，得到检测结果并将检测结果传递至计算组件。计算组件对检测组件传递的检测结果进行数据处理，根据数据处理结果进行方案设计，并将设计好的方案传递至运动组件，控制运动组件2进行运动。运动组件2包括移动待加工基板的机械手、控制机械手的一号电机、控制工作台的二号电机，一号电机和二号电机均可通过程序控制运动，从而可以按照计算组件设计的方案进行运动。在本技术的一个实施例中，运动组件2包括用于角度偏差修正的旋转电机和用于空间偏差修正的直线电机，通过旋转电机转动角度修正机械手的角度偏差，通过直线电机对工作台进行水平和垂直修正。如图2-4所示，在本技术的一个实施例中，检测组件1包括：识别相机101、照明光源102，运动组件2包括：机械手201、用于控制机械手的一号微型电机202。在本技术的一个实施例中，一号微型电机202选用小型伺服电机，小型伺服电机对比常用的步进电机，具有运动控制更为精准的优点，可以更为有效地进行精准定位。下面结合图1-4对本技术的具体工作方式进行详细说明：(1)一号微型电机202控制机械手201进行返回设定起始点操作，保证机械手201初始位置固定。(2)一号微型电机202控制机械手201移动至料仓进行取片动作，并在取片动作完成后，将机械手201和待加工基板一同移动设定检测区域。移动完成后，一号微型电机202传递移动到位信号至运动控制卡，运动控制卡在接收到移动到位信号后，开启照明光源102并启动识别相机101进行图像采集。(3)计算组件将采集到的图像与标准模板进行对比，得出代加工基板与标准模板间的角度偏差值，根据角度偏差值计算出角度修正方案，并根据角度修正方案通过一号微型电机202控制机械手201进行角度修正。在修正结束后，一号微型电机202传递修正完成信号至运动控制卡，运动控制卡在接收到修正完成信号后，再次启动识别相机101进行图像采集。(4)重复(3)步骤，直至待加工基板与标准模板无角度偏差。(5)计算组件根据(3)或(4)步骤中最后一次采集到的图像与标准模板进行对比，得出最终的待加工基板与标准模板间的空间偏差值，根据空间偏差值计算出空间修正方案，并根据空间修正方案通过二号电机移动工作台进行空间修正，保持工作台与待加工基板空间位置关系固定。(6)根据预设行动，一号微型电机202控制机械手201精准移动待加工基板至工作台上表面设定放料位置，完成一次上料操作。本技术提供的无夹持系统相对边定位夹持系统，有一定的品质提升方面的优势，可提高定位的精准度，进而减少因定位不准确而形成的废片导致的产率下降与生产成本增加。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光加工设备上料系统，其特征在于，包括：检测组件、运动组件、计算组件；/n所述运动组件用于移动待加工基板至所述检测组件检测区域、调整工作台的位置；/n所述检测组件用于检测所述待加工基板位置信息，并将检测结果传递至所述计算组件；/n所述计算组件用于对检测结果进行数据处理，并根据数据处理结果控制所述运动组件。/n

【技术特征摘要】
1.激光加工设备上料系统，其特征在于，包括：检测组件、运动组件、计算组件；
所述运动组件用于移动待加工基板至所述检测组件检测区域、调整工作台的位置；
所述检测组件用于检测所述待加工基板位置信息，并将检测结果传递至所述计算组件；
所述计算组件用于对检测结果进行数据处理，并根据数据处理结果控制所述运动组件。


2.如权利要求1所述的激光加工设备上料系统，其特征在于，所述检测组件包括：识别相机和照明光源；所述运动组件移动所述待加工基板至...

【专利技术属性】
技术研发人员：张男男，何艳，邢鹏展，吴梦晗，常丰吉，梁崑，李华，刘遵明，陈治衡，
申请(专利权)人：长春光华微电子设备工程中心有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22