一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置，属于冷泵领域。防震缓冲结构包括连接管体；连接管体包括依次连接的直管段和波纹管段；连接管体设有沿其圆周表面间隔设置的连接部，连接部与连接管体的外表面连接；连接部分别位于波纹管段的上侧和下侧；连接部设有通孔，通孔内设有缓冲件，缓冲件的外表面与通孔的壁面相贴合，缓冲件设有螺杆连接孔。冷泵装置包括真空腔室、冷泵、连接螺栓及如上所述的防震缓冲结构；真空腔室、防震缓冲结构与冷泵依次连通；直管段与真空腔室连接；连接螺栓穿过上下两个螺杆连接孔并与冷泵连接。本实用新型专利技术能有效缓冲冷泵在工作时所产生的震动，避免真空设备的对位精度或检测精度受到震动影响而下降。

【技术实现步骤摘要】
一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置
本技术涉及冷泵
，特别涉及一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置。
技术介绍
冷泵是各类真空设备常用的一种真空泵，冷泵(或称低温泵)的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，冷泵的低温介质来自于压缩机的液氮，通过活塞的往复运动将液氮送到一级冷头，再转递到相连的冷伞，使气体在冷伞上冷凝。目前，在市面上冷泵的安装方式都是直接和设备相连，如图1所示，冷泵300、真空阀200与真空腔室100依次连接且相连通，以便冷泵300对真空腔室100进行抽气，真空阀200采用刚性结构，并不具备缓冲作用，那么，冷泵300在工作时将活塞运动造成的震动通过真空阀200传递到设备上，对设备的精度造成影响，比如冷泵安装在蒸镀设备上，会让对位时间延长，造成对位失败，影响对位精度，或者造成速率检测系统检测精度下降。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种防震缓冲结构，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。另外，本技术还提供一种具有该防震缓冲结构的冷泵装置。为解决上述技术问题所采用的技术方案：本技术第一方面提供一种防震缓冲结构，其包括连接管体；所述连接管体包括依次连接的直管段和波纹管段；所述连接管体设有连接部，所述连接部沿着连接管体的圆周表面间隔设置，并且，所述连接部与所述连接管体的外表面连接；所述连接部分别位于所述波纹管段的上侧和下侧；所述连接部设有通孔，所述通孔内设有缓冲件，所述缓冲件的外表面与所述通孔的壁面相贴合，所述缓冲件设有螺杆连接孔。采用该连接管体设计，可使冷泵与真空腔室能连通，方便冷泵对真空腔室进行抽气操作。另外，在连接管体上设置波纹管段，以缓冲冷泵工作时产生的震动，避免震动传递至真空腔室处而导致真空设备的对位精度或检测精度受影响；并且，在连接管体的连接部设有缓冲件，缓冲件设有螺杆连接孔，通过螺杆将防震缓冲结构与冷泵连接，可以有效防止冷泵引起的震动通过螺杆传递到真空腔室处。在波纹管段上侧和下侧分别设置连接部，可实现波纹管段的松紧程度调节。连接部沿着连接管体的圆周表面间隔设置，能够加强连接管体与冷泵之间的连接强度，提高密封性。作为上述技术方案的进一步改进，所述直管段的端部往外水平延伸形成连接块，所述连接块设有螺杆安装孔。设置螺杆安装孔，方便采用螺杆将该防震缓冲结构与真空腔室连接，方便拆装。作为上述技术方案的进一步改进，所述缓冲件为缓冲垫圈，容易获得，安装简便，成本低，且缓冲减震效果佳。本技术第二方面提供一种冷泵装置，包括真空腔室、冷泵，其中，所述冷泵装置还包括连接螺栓以及如上所述的防震缓冲结构；所述真空腔室、防震缓冲结构与冷泵依次连通；所述直管段与所述真空腔室连接；所述连接螺栓穿过上下两个螺杆连接孔并与冷泵连接。在真空腔室与冷泵之间设置防震缓冲结构，使用连接螺栓依次穿过上下两个螺杆连接孔与冷泵进行连接，不仅使冷泵可对真空腔室进行抽气操作，而且，能够有效避免冷泵工作时所产生的震动传递至真空腔室，从而保证真空设备的对位精度或检测精度不受影响。作为上述技术方案的进一步改进，所述冷泵装置还包括真空阀；所述真空阀的进口和出口分别与所述冷泵、所述防震缓冲结构连接。将真空阀设置在冷泵与防震缓冲结构之间，利用防震缓冲结构的缓冲作用，有效缓冲真空阀在开合过程中所产生的震动传递至真空腔室处。本技术的有益效果：本技术提供了一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置，设计新颖，使用简便，制造容易，能够有效缓冲冷泵在工作时所产生的震动，避免真空设备的对位精度或检测精度受到震动影响而下降。附图说明下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明；图1是现有技术所提供的冷泵装置的结构示意图；图2是本技术所提供的冷泵装置，其一实施例的结构示意图；图3是本技术所提供的防震缓冲结构，其一实施例的结构示意图；图4是图3中A部分的放大示意图。附图中标记如下：100、真空腔室；200、真空阀；300、冷泵；400、防震缓冲结构；410、连接管体；420、连接块；430、波纹管段；440、连接部；450、螺杆连接孔；460、缓冲件；470、直管段；500、连接螺栓。具体实施方式本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，如果具有“若干”之类的词汇描述，其含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二、第三只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。如图1所示，冷泵300、真空阀200与真空腔室100依次连接且相连通，以便冷泵300对真空腔室100进行抽气，真空阀200采用刚性结构，并不具备缓冲作用，那么，冷泵300在工作时将活塞运动造成的震动通过真空阀200传递到设备上，对设备的精度造成影响，比如冷泵安装在蒸镀设备上，会让对位时间延长，造成对位失败，影响对位精度，或者造成速率检测系统检测精度下降。因此，本技术设计了一种防震缓冲结构。参照图2至4，下面对本技术的防震缓冲结构及具有其的冷泵装置举出若干实施例。如图3、图4所示，本技术一实施例提供一种防震缓冲结构，所述防震缓冲结构包括连接管体410；所述连接管体410包括依次连接的直管段470和波纹管段430。连接管体410由金属材质制成，连接管体410为圆管。直管段470与波纹管段430一体成型。所述连接管体410设有连接部440，所述连接部440沿着连接管体410的圆周表面间隔设置，具体的，连接部440可以设置两个、三个或四个以上，且可以呈圆周均匀设置，有利于加强连接管体410与冷泵之间的连接强度，提高密封性。并且，所述连接部440与所述连接管体410的外表面连接，具体的，连接部440呈水平设置且与连接管体410一体成型，以增强连接部400与连接管体410的连接强度。另外，所述连接部440分别位于所述波纹管段430的上侧和下侧。所述连接部440设有通孔，所述通孔内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防震缓冲结构，其特征在于，包括连接管体(410)；所述连接管体(410)包括依次连接的直管段(470)和波纹管段(430)；所述连接管体(410)设有连接部(440)，所述连接部(440)沿着连接管体(410)的圆周表面间隔设置，并且，所述连接部(440)与所述连接管体(410)的外表面连接；所述连接部(440)分别位于所述波纹管段(430)的上侧和下侧；所述连接部(440)设有通孔，所述通孔内设有缓冲件(460)，所述缓冲件(460)的外表面与所述通孔的壁面相贴合，所述缓冲件(460)设有螺杆连接孔(450)。/n

【技术特征摘要】
1.一种防震缓冲结构，其特征在于，包括连接管体(410)；所述连接管体(410)包括依次连接的直管段(470)和波纹管段(430)；所述连接管体(410)设有连接部(440)，所述连接部(440)沿着连接管体(410)的圆周表面间隔设置，并且，所述连接部(440)与所述连接管体(410)的外表面连接；所述连接部(440)分别位于所述波纹管段(430)的上侧和下侧；所述连接部(440)设有通孔，所述通孔内设有缓冲件(460)，所述缓冲件(460)的外表面与所述通孔的壁面相贴合，所述缓冲件(460)设有螺杆连接孔(450)。


2.根据权利要求1所述的防震缓冲结构，其特征在于，所述直管段(470)的端部往外水平延伸形成连接块(420)，所述连接块(420)设有螺杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳小非，裴磊，鄢亮亮，赵伟明，戴雷，蔡丽菲，
申请(专利权)人：四川阿格瑞新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51