一种靶体磁铁防腐保护结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶体磁铁防腐保护结构，包括：靶管、轭铁、磁铁、第一端盖、第二端盖和套管；轭铁限定出第一水流通道，磁铁固定安装在轭铁的外周壁上；轭铁的轴向一端设有第一端盖，第一端盖上设有进水孔，进水孔与第一水流通道连通；轭铁的轴向另一端设有第二端盖，第二端盖上设有出水孔，出水孔与第一水流通道连通；套管同轴外套在轭铁上，磁铁位于套筒内且与套筒的内周壁抵接，套管的轴向一端与第一端盖密封连接，套管的轴向另一端与第二端盖密封连接，以密封磁铁，套管的外周壁与靶管的内周壁间隔开以限定出第二水流通道，第二水流通道与出水孔连通。设置的套管可避免冷却水与磁铁直接接触而腐蚀磁铁。

【技术实现步骤摘要】
一种靶体磁铁防腐保护结构
本技术涉及真空溅射镀膜领域，尤其是涉及一种靶体磁铁防腐保护结构。
技术介绍
目前真空溅射镀膜生产的设备中大多采用平面溅射阴极靶材这种方式，其工作原理是：将需镀膜的基材送入真空镀膜室内，真空镀膜室内通入一定高纯的氩气以及一些需要的反应气体(例如氧气、氮气、乙炔等)；当靶通电后，在空间中的游离电子会在电磁场的作用下对氩气等气体进行电离，并产生辉光放电。而氩气是由氩原子组成，氩原子电离后产生氩离子，在电磁场的作用下变成高能氩离子会向阴极靶面飞去，且与靶面原子或分子进行碰撞，溅射出靶材原子或分子等粒子，并飞向基材表面形成膜层。为了增加溅射率，可通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度来实现，从而实现高速率溅射的过程，而由于大量高能氩离子碰撞靶材表面产生溅射的同时会给靶材带来大量热量，为了防止靶材变形，一般在靶材背面的靶体内进行通入冷却水进行冷却。现有技术中的一些靶体为圆柱形结构，在这种结构形式的靶体中，磁铁通常与冷却水直接接触而被腐蚀，长时间使用后，磁铁表面会粘满污垢，并且腐蚀后磁感强度遂渐下降，此外磁铁腐蚀后底部容易剥离并被邻侧异性磁铁吸引倾倒，导至磁道紊乱，存在改进之处。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的第一个目的在于提供一种靶体磁铁防腐保护结构，便于轭铁和磁铁的拆装。本技术的技术方案如下：一种靶体磁铁防腐保护结构，包括：靶管、轭铁、磁铁、第一端盖、第二端盖和套管；所述轭铁被构造成两端敞开的管状结构以限定出第一水流通道，所述磁铁固定安装在所述轭铁的外周壁上，所述磁铁为多个，多个所述磁铁间隔排布；所述轭铁的轴向一端设有所述第一端盖，所述第一端盖上设有进水孔，所述进水孔与所述第一水流通道连通；所述轭铁的轴向另一端设有所述第二端盖，所述第二端盖上设有出水孔，所述出水孔与所述第一水流通道连通；所述套管同轴外套在所述轭铁上，所述磁铁位于所述套筒内且与所述套筒的内周壁抵接，所述套管的轴向一端与所述第一端盖密封连接，所述套管的轴向另一端与所述第二端盖密封连接，以密封所述磁铁；所述轭铁安装在所述靶管内，所述套管的外周壁与所述靶管的内周壁间隔开以限定出第二水流通道，所述第二水流通道与所述出水孔连通。进一步地，所述第一端盖与所述轭铁固定连接。进一步地，所述第一端盖的外周壁上设有第一台阶部，所述第一台阶部沿所述第一端盖的周向延伸成圆环形，所述第一台阶部上设有第一密封圈，所述套管的轴向一端外套在所述第一台阶部上并与所述第一密封圈紧密抵接。进一步地，所述第二端盖包括盖板和压板，所述盖板与所述轭铁固定连接，所述盖板上设有所述出水孔，所述压板设于所述盖板的远离所述轭铁的一侧并与所述盖板可拆卸相连；所述盖板的外径小于所述压板的外径，所述盖板与所述压板之间设有第二密封圈；所述套管的轴向另一端外套在所述盖板上并与所述第二密封圈紧密抵接。进一步地，所述盖板的远离所述轭铁的一侧设有第二台阶部，所述第二台阶部沿所述盖板的周向延伸成圆环形，所述密封圈和所述压板均为圆环形，所述密封圈和所述压板外套在所述第二台阶部上。进一步地，所述压板上设有安装孔，所述密封圈上设有避让孔，所述盖板上设有螺纹孔，螺钉依次穿过所述安装孔和所述避让孔与所述螺纹孔螺纹连接。和现有技术相比，本技术的有益效果如下：套管套设在磁铁外且两端分别与第一端盖和第二端盖密封连接，从而可对磁铁进行密封，避免冷却水与磁铁直接接触而腐蚀磁铁，此外套管的内周壁与磁铁抵接，从而可对磁铁进行限位，避免某个磁铁被邻侧的异性磁铁吸引而倾倒，导至磁道紊乱。本装置可延长磁铁的使用寿命，使得靶体的工作性能稳定，降低维护保养成本。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：图1是本技术的靶管的剖视图；图2是本技术的轭铁的剖视图。附图标记：1、靶管；2、轭铁；3、磁铁；4、第一端盖；5、第二端盖；6、套管；7、第一水流通道；8、进水孔；9、出水孔；10、第二水流通道；11、第一台阶部；12、第一密封圈；13、盖板；14、压板；15、第二密封圈；16、第二台阶部；17、螺钉。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“竖向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。下面参考附图描述根据本技术实施例的一种靶体磁铁3防腐保护结构，该装置包括靶管1、轭铁2、磁铁3、第一端盖4、第二端盖5和套管6。如图1和图2所示，轭铁2被构造成两端敞开的管状结构以限定出第一水流通道7，磁铁3固定安装在轭铁2的外周壁上，具体而言，本实施例中的磁铁3嵌设安装在轭铁2的外周壁上，磁铁3为多个，多个磁铁3间隔排布，需要说明的是，磁铁3的具体排布形式根据所需的磁场强度设置，这里不做限制。如图2所示，轭铁2的轴向一端设有第一端盖4，第一端盖4上设有进水孔8，进水孔8与第一水流通道7连通；轭铁2的轴向另一端设有第二端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶体磁铁防腐保护结构，其特征在于，包括：靶管、轭铁、磁铁、第一端盖、第二端盖和套管；/n所述轭铁被构造成两端敞开的管状结构以限定出第一水流通道，所述磁铁固定安装在所述轭铁的外周壁上，所述磁铁为多个，多个所述磁铁间隔排布；/n所述轭铁的轴向一端设有所述第一端盖，所述第一端盖上设有进水孔，所述进水孔与所述第一水流通道连通；/n所述轭铁的轴向另一端设有所述第二端盖，所述第二端盖上设有出水孔，所述出水孔与所述第一水流通道连通；/n所述套管同轴外套在所述轭铁上，所述磁铁位于套筒内且与所述套筒的内周壁抵接，所述套管的轴向一端与所述第一端盖密封连接，所述套管的轴向另一端与所述第二端盖密封连接，以密封所述磁铁；/n所述轭铁安装在所述靶管内，所述套管的外周壁与所述靶管的内周壁间隔开以限定出第二水流通道，所述第二水流通道与所述出水孔连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶体磁铁防腐保护结构，其特征在于，包括：靶管、轭铁、磁铁、第一端盖、第二端盖和套管；
所述轭铁被构造成两端敞开的管状结构以限定出第一水流通道，所述磁铁固定安装在所述轭铁的外周壁上，所述磁铁为多个，多个所述磁铁间隔排布；
所述轭铁的轴向一端设有所述第一端盖，所述第一端盖上设有进水孔，所述进水孔与所述第一水流通道连通；
所述轭铁的轴向另一端设有所述第二端盖，所述第二端盖上设有出水孔，所述出水孔与所述第一水流通道连通；
所述套管同轴外套在所述轭铁上，所述磁铁位于套筒内且与所述套筒的内周壁抵接，所述套管的轴向一端与所述第一端盖密封连接，所述套管的轴向另一端与所述第二端盖密封连接，以密封所述磁铁；
所述轭铁安装在所述靶管内，所述套管的外周壁与所述靶管的内周壁间隔开以限定出第二水流通道，所述第二水流通道与所述出水孔连通。


2.根据权利要求1所述的靶体磁铁防腐保护结构，其特征在于，所述第一端盖与所述轭铁固定连接。


3.根据权利要求1所述的靶体磁铁防腐保护结构，其特征在于，所述第一端盖的外周壁上设有第一台...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪选林，
申请(专利权)人：深圳森丰真空镀膜有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44