一种大型真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种大型真空镀膜设备，包括外机和排气泵，所述外机的上部固定有显示屏，且显示屏的下部安置有操作台，所述外机的底部前段安装有溅射镀膜点，所述排气泵的左端安置有电机。该种大型真空镀膜设备通过结构的改进，使本装置在实际使用时，密封性增强，不容易导致空气进入，使其在镀膜过程中避免受空气影响导致镀膜时产生气泡，镀膜质量较高，并且本大型真空镀膜设备镀膜在机器工作时不容易出现镀膜不均匀的现象，避免因镀膜不均匀而影响镀膜质量，可靠性强。

【技术实现步骤摘要】
一种大型真空镀膜设备
本技术涉及镀膜设备
，尤其是涉及一种大型真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。然而目前的大型真空镀膜设备密封性不强，导致空气进入，使其在镀膜过程中因受空气影响导致镀膜时产生气泡，镀膜质量较差，并且现有的大型真空镀膜设备镀膜在机器工作时容易出现镀膜不均匀的现象，影响镀膜质量，可靠性差。因此，需要在现有大型真空镀膜设备的基础上进行升级和改造，以克服现有问题和不足。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种大型真空镀膜设备，以解决现有技术中存在的缺点。上述目的通过以下技术方案来解决：一种大型真空镀膜设备，包括外机和第一排气泵，所述外机的上部固定有显示屏，且显示屏的下部安置有操作台，所述外机的底部前段安装有溅射镀膜点，所述第一排气泵的左端安置有电机。优选的，所述第一排气泵包括第一排气口、叶轮、水环、橡胶球、阀门、第一进气口，且阀门固定于橡胶球的上端，且叶轮固定于橡胶球，且水环固定于第一排气泵底部，且第一排气口固定于第一排气泵侧壁，第一进气口固定于第一排气泵上部。优选的，所述阀门开启通过叶轮将空气排出，所述水环浮力将阀门关闭完成排气。优选的，所述溅射镀膜点包括阴极靶、溅射原子、基片、接地阳极、第二排气口、第二进气口，且基片固定于接地阳极上端。优选的，所述阴极靶和接地阳极发生反应，使溅射原子满布于基片上。优选的，所述第二排气泵、置物台和电机位于所述外机的内部，其空间安排更加紧凑合理。有益效果：(1)该种大型真空镀膜设备通过结构的改进，使本装置在实际使用时，密封性增强，不容易导致空气进入，使其在镀膜过程中避免受空气影响导致镀膜时产生气泡，镀膜质量较高，并且本大型真空镀膜设备镀膜在机器工作时不容易出现镀膜不均匀的现象，避免因镀膜不均匀而影响镀膜质量，可靠性强。(2)该种大型真空镀膜设备之优点在于：由于通过设置自动化的进料门，在按下镀膜机的开关时，排气泵收到指令开始工作，水环控制阀门打开，同时叶轮转动将空气排入排气口，在空气排干净后，水环带动阀门关闭，使空气无法在进入，符合了当代自动化设备的技术特点，实用性强。(3)其次：由于通过设置物台，使阴极靶(301)和接地阳极(304)发生反应使溅射原子(302)满布于基片(303)上，使镀膜更加均匀，实用性强。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。图2为本技术的进料门局部结构示意图。图3为本技术的外壳内部结构示意图。图4为本技术的抽气泵结构示意图。图1-4中：1、外机；103、电机；101、第二排气泵；102、置物台；2、第一排气泵；201、第一排气口；202、叶轮；203、水环；204、橡胶球；205、阀门；206、第一进气口；3、溅射镀膜点；301、阴极靶；302、溅射原子；303、基片；304、接地阳极；305、第二排气口；306、第二进气口；4、显示屏；5、操作台。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例：请一并参考图1至图4：本实施例提供的一种大型真空镀膜设备，包括外机1和第一排气泵2，其特征在于：外机1的上部固定有显示屏4，且显示屏4的下部安置有操作台5，外机1的底部前段安装有溅射镀膜点3，第一排气泵2的左端安置有电机103。具体地，第一排气泵2包括第一排气口201、叶轮202、水环203、橡胶球204、阀门205、第一进气口206，且阀门205固定于橡胶球204的上端，且叶轮202固定于橡胶球204，且水环203固定于第一排气泵2底部，且第一排气口201固定于第一排气泵2侧壁，第一进气口206固定于第一排气泵2上部，通过叶轮202的旋转抽取真空镀膜机内的空气，且阀门205可防止空气回流至真空镀膜机内，造成镀膜失败。具体地，阀门205开启通过叶轮202将空气排出，水环203浮力将阀门205关闭完成排气，其优势在于利用水的密封性使其更好的保持真空，避免空气进入其中，影响镀膜质量。具体地，溅射镀膜点3包括阴极靶301、溅射原子302、基片303、接地阳极304、第二排气口305、第二进气口306，且基片303固定于接地阳极304上端，通过设置溅射镀膜点3阴，阴极靶301和阳极304产生溅射原子302，使镀膜更加均匀，避免因镀膜不均使材料表面起泡，影响镀膜质量，可靠性强。工作原理：在使用本实施例提供的一种大型真空镀膜设备时，先检查本产品各部件之间连接的紧固性与密闭性，随后将本设备放置于水平的干燥地面，通过开启操作台5，使装置工作，这时第一排气泵101开始工作，水环203控制阀门205打开，叶轮202将空气排入第一排气口201，空气排出后，水环203控制阀门205关闭，通过水的隔空气性阻止空气进入装置，使其在镀膜过程中避免受空气影响导致镀膜时产生气泡，镀膜质量较高，同时通过设置溅射镀膜点3，其中的阴极靶301和阳极304产生溅射原子302，将其喷向基片303表面，使镀膜更加均匀，避免因镀膜不均使材料表面起泡，影响镀膜质量，通过观察显示屏4，观察装置内的结构是否正常运行，可靠性强。虽然本技术已由较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟知此技艺者，在不脱离本技术的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，因此本技术的保护范围当视权利要求书所要求保护的范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大型真空镀膜设备，包括外机(1)和第一排气泵(2)，其特征在于：所述外机(1)的上部固定有显示屏(4)，且显示屏(4)的下部安置有操作台(5)，所述外机(1)的底部前段安装有溅射镀膜点(3)，所述第一排气泵(2)的左端安置有电机(103)。/n

【技术特征摘要】
1.一种大型真空镀膜设备，包括外机(1)和第一排气泵(2)，其特征在于：所述外机(1)的上部固定有显示屏(4)，且显示屏(4)的下部安置有操作台(5)，所述外机(1)的底部前段安装有溅射镀膜点(3)，所述第一排气泵(2)的左端安置有电机(103)。


2.根据权利要求1所述的大型真空镀膜设备，其特征在于，所述第一排气泵(2)包括第一排气口(201)、叶轮(202)、水环(203)、橡胶球(204)、阀门(205)、第一进气口(206)，且阀门(205)固定于橡胶球(204)的上端，且叶轮(202)固定于橡胶球(204)，且水环(203)固定于第一排气泵(2)底部，且第一排气口(201)固定于第一排气泵(2)侧壁，第一进气口(206)固定于第一排气泵(2)上部。


3.根据权利要求2所述的大型真空镀膜设备，其特征在于，所述阀门(205)开启通过叶轮(202)将空气排出，所述水环(203)浮力将阀门(205)关闭完成排气...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹刚，张华静，
申请(专利权)人：肇庆市龙泽真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44