一种坩埚搬运夹爪机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种坩埚搬运夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板、旋转组件；所述夹爪安装板用于安装夹爪，夹爪安装板底部固定有导轨，基础安装板顶部设有与导轨对应的滑块；所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪机构旋转。本实用新型专利技术所述的一种坩埚搬运夹爪机构，可实现夹爪旋转45°的自动上料机构，降低了工人劳动强度，提高了坩埚上料效率，避免人体与坩埚物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚搬运夹爪机构
本技术属于硅料自动搬运
，尤其是涉及一种坩埚搬运夹爪机构。
技术介绍
近年来，在产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下，国内芯片产业的成长势头迅猛，产业维持高速增长。目前，在石英坩埚搬运生产工艺中，大多需要人工进行取料搬运。人工取料搬运坩埚时，因为人体的接触，容易出现危险，人身安全系数低，对坩埚材质本身可能造成污染，随着技术发展，要求坩埚尺寸越来越大。人工取料增加了安全隐患，增加了人工数量，增大了生产成本。所以自动坩埚搬运上料机的出现是很有必要的。市场上现有的坩埚搬运上料机构，大部分都是简单的结构，只能简单的实现物料的夹取，且大部分的夹取装置，只能夹取平面机构，不能适应不同大小的坩埚夹取，由于使用环境的要求，大多数现有的坩埚搬运上料机构，不具有旋转功能。简单的上料机构，不能系统的、不间断的形成坩埚的上料生产。因此，在这种情况下，需要一种适用于多种尺寸坩埚的自动上料机，来解决以上产生的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种坩埚搬运夹爪机构，实现生产线的坩埚自动上料，避免人体与坩埚物料直接接触，该设备降低了工人劳动强度，提高了坩埚上料效率，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种坩埚搬运夹爪机构，包括基础安装板、夹爪安装板、旋转组件；所述夹爪安装板用于安装夹爪，夹爪安装板底部固定有第一导轨，基础安装板顶部设有与第一导轨对应的第一滑块；所述基础安装板上还设有用于驱动两个所述夹爪安装板运动的驱动组件；所述驱动组件包括伺服电机、第一齿轮、第一齿条；所述伺服电机安装于基础安装板上，用于带动第一齿轮转动；所述第一齿条与第一齿轮啮合；两个所述第一齿条对称设置分别与两个所述夹爪安装板固定，用于实现夹爪开闭；所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪机构旋转。进一步的，所述夹爪安装板包括第一固定板、第二固定板；所述第一固定板与第一齿条固定，第二固定板用于安装夹爪；所述第一固定板和第二固定板分别固定于导轨两端；所述第一固定板和第二固定板顶部还设有加强筋。进一步的，两个所述夹爪端部还设有仿行夹爪和扶正块。进一步的，两个所述夹爪上还设有用于检测坩埚有无的传感器。进一步的，两个所述第一齿条远离第一齿轮的一侧还设有随动轴承，随动轴承与第一齿条相切。进一步的，所述旋转组件包括旋转齿轮安装板、旋转轴、支柱、第二齿轮、角接触球轴承、深沟球轴承、推力轴承、轴承座、Z轴移动机构、气缸连接板、气缸、第二齿条、齿条安装板；所述旋转齿轮安装板通过支柱与基础安装板连接；所述第二齿轮安装在旋转齿轮安装板上，角接触球轴承、深沟球轴承、推力轴承安装在旋转轴上，轴承座与Z轴移动机构连接；所述第二齿条与第二齿轮啮合；所述第二齿条固定于齿条安装板上，齿条安装板还设有第二导轨，气缸连接板上设有与第二导轨对应的第二滑块，使齿条安装板与气缸连接板滑动连接；所述气缸的活塞杆一端与齿条安装板连接，用于推动第二齿条左右移动，从而实现夹爪机构旋转。进一步的，所述气缸连接板上还设有用于调整齿条移动行程的阻挡块和缓冲器；所述缓冲器安装于气缸连接板上；所述阻挡块一端与齿条安装板固定，另一端置于两个缓冲器之间。进一步的，包括限位组件；所述限位组件包括调整块、调整杆；所述调整块上设有与调整杆外径对应的导向孔，调整块固定于第一固定板顶部；所述调整杆一端与旋转齿轮安装板固定，另一端置于导向孔内；所述导向杆上设有限位螺母，限位螺母的外径大于导向孔的内径。相对于现有技术，本技术具有以下优势：可实现夹爪旋转45°的自动上料机构，该设备降低了工人劳动强度，提高了坩埚上料效率，避免人体与坩埚物料接触，保证了人身安全，提高了工厂自动化、信息化、智能化水平。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的坩埚搬运夹爪机构示意图；图2为本技术实施例所述的夹爪驱动部分示意图；图3为本技术实施例所述的夹爪机构底部示意图；图4为本技术实施例所述的夹爪机构示意图二；图5为本技术实施例所述的旋转组件部分示意图；图6为本技术实施例所述的夹爪机构剖视图示意图。附图标记说明：1、安装基础板；2、夹爪安装板；3、第一固定板；4、型材；5、导轨挡板；6、旋转齿轮安装板；7、夹爪；8、仿行夹爪安装板；9、仿行夹爪；10、导轨加强筋；11、加强筋；12、随动轴承安装块；13、随动轴承调整块；14、螺母；15、旋转轴；16、第二齿轮；17、轴承座；18、支柱；19、第一齿条；20、随动轴承；21、止动螺钉；22、垫片；23、扶正块安装板；24、扶正块；25、调整块；26、螺杆；27、锁紧螺帽；28、防落块；29、第二齿条；30、缓冲器；31、调速阀；32、第二导轨；33、第一滑块；34、气缸；35、导轨安装块；36、气缸连接板；37、阻挡；38、阻挡安装板；39、传感器安装板；40、第一导轨；41、伺服电机；42、推力轴承；43、传感器；44、极限接近开关；45、原点接近开关；46、角接触球轴承；47、深沟球轴承；48、第一齿轮。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1-6所示，一种适用于多种尺寸坩埚的坩埚搬运夹爪机构，可实现夹爪旋转45°旋转。第一导轨40与第一滑块33安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：包括基础安装板、夹爪安装板(2)、旋转组件；/n所述夹爪安装板用于安装夹爪(7)，夹爪安装板底部固定有第一导轨(40)，基础安装板顶部设有与第一导轨(40)对应的第一滑块(33)；/n所述基础安装板上还设有用于驱动两个夹爪安装板运动的驱动组件；所述驱动组件包括伺服电机(41)、第一齿轮(48)、第一齿条(19)；所述伺服电机(41)安装于基础安装板上，用于带动第一齿轮(48)转动；所述第一齿条(19)与第一齿轮(48)啮合；两个所述第一齿条(19)对称设置分别与两个所述夹爪安装板(2)固定，用于实现夹爪(7)开闭；/n所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪(7)机构旋转。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：包括基础安装板、夹爪安装板(2)、旋转组件；
所述夹爪安装板用于安装夹爪(7)，夹爪安装板底部固定有第一导轨(40)，基础安装板顶部设有与第一导轨(40)对应的第一滑块(33)；
所述基础安装板上还设有用于驱动两个夹爪安装板运动的驱动组件；所述驱动组件包括伺服电机(41)、第一齿轮(48)、第一齿条(19)；所述伺服电机(41)安装于基础安装板上，用于带动第一齿轮(48)转动；所述第一齿条(19)与第一齿轮(48)啮合；两个所述第一齿条(19)对称设置分别与两个所述夹爪安装板(2)固定，用于实现夹爪(7)开闭；
所述旋转组件用于带动基础安装板旋转，从而实现夹爪(7)机构旋转。


2.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：所述夹爪(7)安装板包括第一固定板(3)、第二固定板；
所述第一固定板(3)与第一齿条(19)固定，第二固定板用于安装夹爪(7)；所述第一固定板(3)和第二固定板分别固定于导轨两端；所述第一固定板(3)和第二固定板顶部还设有加强筋(11)。


3.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：两个所述夹爪(7)端部还设有仿行夹爪(9)和扶正块(24)。


4.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：两个所述夹爪(7)上还设有用于检测坩埚有无的传感器(43)。


5.根据权利要求1所述的一种坩埚搬运夹爪机构，其特征在于：两个所述第一齿条(19)远离第一齿轮(48)的一侧还设有随动轴承(20)，随动轴承(20)与第一齿条(19)相切。


6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨亮，王键，任志高，朱伟亮，尹擎，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：天津;12