一种石英玻璃生产加工用退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英玻璃生产加工用退火炉，包括退火炉本体，退火炉本体包括一个箱体，箱体的顶端设置箱盖，箱盖的位于箱体顶端的一侧设置有控制面板，箱体的内部设置有内炉体，内炉体的内部设置有若干个发热电极板。本实用新型专利技术一种石英玻璃生产加工用退火炉，通过在内炉体内设有的多个发热电极板，使其形成多个可供放置石英玻璃的放置槽，使其可一次对多个石英玻璃进行退火处理，退火完毕后，通过设有的两个移动板相置于内炉体和多个发热电极板两侧开设的移动槽的内部，使其对内炉体内的石英玻璃进行上升运动将其取出，此种石英玻璃生产加工用退火炉，结构简单，制造成本低，适用于石英玻璃退火处理工作中使用。

【技术实现步骤摘要】
一种石英玻璃生产加工用退火炉
本技术涉及一种退火炉
，具体为一种石英玻璃生产加工用退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。目前石英玻璃在使用使用过程中会产生炸裂的现象，继而降低石英玻璃的使用寿命，因此需要石英玻璃进行退火处理，以增强其使用寿命，传统的石英玻璃退火炉一侧只能对单个石英玻璃进行退火处理，且退火完毕后，比较难以对石英玻璃取出，从而导致工作效率低。因此我们对此做出改进，提出一种石英玻璃生产加工用退火炉。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种石英玻璃生产加工用退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体包括一个箱体，所述箱体的顶端设置箱盖，所述箱盖的位于箱体顶端的一侧设置有控制面板，所述箱体的内部设置有内炉体，所述内炉体的内部设置有若干个发热电极板，所述内炉体的两个均设置有倒U形板，两个所述倒U形板的内部均设置有螺纹杆，两个所述螺纹杆的外部均设置有滑板，两个所述滑板之间设置有两个移动板，所述内炉体的底端位于箱体内部的底端设置有隔板，所述隔板的底端设置有若干个固定板，若干个所述固定板的一侧设置有冷风扇。作为本技术的一种优选技术方案，所述箱盖的一侧通过若干个铰链与箱体顶端的一侧活动铰接，所述箱盖的设置有把手。作为本技术的一种优选技术方案，所述控制面板固定安装在箱体顶端的一侧，若干个发热电极板均与控制面板电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述内炉体的外部与箱体的内部固定连接，若干个所述发热电极板两侧均与内炉体内壁的两侧固定连接，所述内炉体和若干个发热电极板两侧均开设有移动槽。作为本技术的一种优选技术方案，两个所述倒U形板的一侧均通过连接板在内炉体的两侧位于箱体内部的两侧固定连接，两个所述螺纹杆的两端均与两个倒U形板内部的顶端和底端转动连接，两个倒U形板的电均固定安装有驱动电机，两个所述驱动电机的输出轴均穿过两个倒U形板的底端与两个螺纹杆的底端固定连接，两个所述滑板均与套设在两个螺纹杆的外部，两个所述移动板的两端均与两个滑板的一侧固定连接，两个所述移动板均相置于内炉体和若干个发热电极板两侧开设的移动槽的内部，所述驱动电机与控制面板电性连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述隔板开设有若干个透气孔，所述隔板的顶端与内炉体的底端固定连接，所述冷风扇的一侧均与若干个固定板底端一侧固定连接，若干个所述固定板的顶端均与隔板的底端固定连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体底端的四个边角均设置有万向轮，四个所述万向轮上均设置有轮刹。本技术的有益效果是：该种石英玻璃生产加工用退火炉，通过在内炉体内设有的多个发热电极板，使其形成多个可供放置石英玻璃的放置槽，使其可一次对多个石英玻璃进行退火处理，退火完毕后，通过设有的两个移动板相置于内炉体和多个发热电极板两侧开设的移动槽的内部，使其两个移动板通过驱动电机带动螺纹杆进行上升运动，使其对内炉体内的石英玻璃进行上升运动将其取出，从而提高对石英玻璃退火处理的工作效率，此种石英玻璃生产加工用退火炉，结构简单，制造成本低，适用于石英玻璃退火处理工作中使用。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术一种石英玻璃生产加工用退火炉的结构示意图；图2是本技术一种石英玻璃生产加工用退火炉的内炉体结构示意图；图3是本技术一种石英玻璃生产加工用退火炉的冷风扇结构示意图。图中：1、退火炉本体；2、箱体；3、箱盖；4、控制面板；5、内炉体；6、发热电极板；7、倒U形板；8、螺纹杆；9、滑板；10、移动板；11、隔板；12、固定板；13、冷风扇；14、把手；15、移动槽；16、驱动电机；17、万向轮。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例：如图1-图3所示，本技术一种石英玻璃生产加工用退火炉，包括退火炉本体1，退火炉本体1包括一个箱体2，箱体2的顶端设置箱盖3，箱盖3的位于箱体2顶端的一侧设置有控制面板4，箱体2的内部设置有内炉体5，内炉体5的内部设置有若干个发热电极板6，内炉体5的两个均设置有倒U形板7，两个倒U形板7的内部均设置有螺纹杆8，两个螺纹杆8的外部均设置有滑板9，两个滑板9之间设置有两个移动板10，内炉体5的底端位于箱体2内部的底端设置有隔板11，隔板11的底端设置有若干个固定板12，若干个固定板12的一侧设置有冷风扇13。其中，箱盖3的一侧通过若干个铰链与箱体2顶端的一侧活动铰接，箱盖3的设置有把手14，通过箱体2顶端设有的箱盖3以及把手14，使其握住把手14打开箱盖3，将需要退火处理的石英玻璃放置到内炉体5的内部。其中，控制面板4固定安装在箱体2顶端的一侧，若干个发热电极板6均与控制面板4电性连接，通过若干个发热电极板6均与控制面板4电性连接，使其控制面板4控制若干个发热电极板6对石英玻璃的加热速度。其中，内炉体5的外部与箱体2的内部固定连接，若干个发热电极板6两侧均与内炉体5内壁的两侧固定连接，内炉体5和若干个发热电极板6两侧均开设有移动槽15，通过若干个发热电极板6两侧均与内炉体5内壁的两侧固定连接，使其放置在其内部的石英玻璃通过若干个发热电极板6进行均匀加热，以消除应力，增加石英玻璃的使用寿命。其中，两个倒U形板7的一侧均通过连接板在内炉体5的两侧位于箱体2内部的两侧固定连接，两个螺纹杆8的两端均与两个倒U形板7内部的顶端和底端转动连接，两个倒U形板7的电均固定安装有驱动电机16，两个驱动电机16的输出轴均穿过两个倒U形板7的底端与两个螺纹杆8的底端固定连接，两个滑板9均与套设在两个螺纹杆8的外部，两个移动板10的两端均与两个滑板9的一侧固定连接，两个移动板10均相置于内炉体5和若干个发热电极板6两侧开设的移动槽15的内部，驱动电机16与控制面板4电性连接，通过设有的两个移动板10相置于内炉体5和多个发热电极板6两侧开设的移动槽15的内部，使其两个移动板10通过驱动电机16带动螺纹杆8进行上升运动，使其对内炉体5内的石英玻璃进行上升运动将其取出。其中，隔板11开设有若干个透气孔，隔板11的顶端与内炉体5的底端固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英玻璃生产加工用退火炉，包括退火炉本体(1)，其特征在于，所述退火炉本体(1)包括一个箱体(2)，所述箱体(2)的顶端设置箱盖(3)，所述箱盖(3)的位于箱体(2)顶端的一侧设置有控制面板(4)，所述箱体(2)的内部设置有内炉体(5)，所述内炉体(5)的内部设置有发热电极板(6)，所述内炉体(5)的两个均设置有倒U形板(7)，两个所述倒U形板(7)的内部均设置有螺纹杆(8)，两个所述螺纹杆(8)的外部均设置有滑板(9)，两个所述滑板(9)之间设置有两个移动板(10)，所述内炉体(5)的底端位于箱体(2)内部的底端设置有隔板(11)，所述隔板(11)的底端设置有若干个固定板(12)，若干个所述固定板(12)的一侧设置有冷风扇(13)。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃生产加工用退火炉，包括退火炉本体(1)，其特征在于，所述退火炉本体(1)包括一个箱体(2)，所述箱体(2)的顶端设置箱盖(3)，所述箱盖(3)的位于箱体(2)顶端的一侧设置有控制面板(4)，所述箱体(2)的内部设置有内炉体(5)，所述内炉体(5)的内部设置有发热电极板(6)，所述内炉体(5)的两个均设置有倒U形板(7)，两个所述倒U形板(7)的内部均设置有螺纹杆(8)，两个所述螺纹杆(8)的外部均设置有滑板(9)，两个所述滑板(9)之间设置有两个移动板(10)，所述内炉体(5)的底端位于箱体(2)内部的底端设置有隔板(11)，所述隔板(11)的底端设置有若干个固定板(12)，若干个所述固定板(12)的一侧设置有冷风扇(13)。


2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃生产加工用退火炉，其特征在于，所述箱盖(3)的一侧通过若干个铰链与箱体(2)顶端的一侧活动铰接，所述箱盖(3)的设置有把手(14)。


3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃生产加工用退火炉，其特征在于，所述控制面板(4)固定安装在箱体(2)顶端的一侧，所述发热电极板(6)均与控制面板(4)电性连接。


4.根据权利要求1所述的一种石英玻璃生产加工用退火炉，其特征在于，所述内炉体(5)的外部与箱体(2)的内部固定连接，所述发热电极板(6)两侧均与内炉体(5)内壁的两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：许开港，刁开放，陈运柏，
申请(专利权)人：连云港睿晶石英材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32