一种真空蒸镀机的修正板系统技术方案

本申请提供一种真空蒸镀机的修正板系统，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构，所述修正板结构包括：竖杆、与竖杆的下部连接并水平设置的横杆、位于横杆的前部并水平设置的柳叶形的修正叶，所述修正叶与横杆固定，横杆与竖杆固定，所述横杆位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆带动横杆和修正叶以竖杆为中心水平旋转和/或上下运动。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的修正板系统
本专利技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的修正板系统。
技术介绍
真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的工件上的膜层较厚，而位于上层圈(靠近镀锅中心)的被镀膜工件与位于下层圈(靠近镀锅边缘)的被镀件上的膜层较薄。因此，现有技术在坩埚与镀锅之间的修正板，修正板上设置有柳叶形的修正叶，修正叶用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正镀锅上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。但是，由于各种被镀件采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同，各种被镀件对修正板的形状的要求也不同，通常一种膜料对应一种具有固定形状的修正板，这种修正板不能适用多种膜料，通用性差，蒸镀不同的膜料需要更换不同的修改板，加工效率低、成本高。有鉴于此，本专利技术提供一种真空蒸镀机的修正板系统，所述修正板系统的通用性强，能够满足各种膜料及被镀膜工件，不用更换修正板，提高加工效率并且降低成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种真空蒸镀机的修正板系统，所述修正板系统的通用性强，能够满足各种膜料及被镀膜工件，不用更换修正板，提高加工效率并且降低成本。本申请的真空蒸镀机的修正板系统，由分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构组成，每个修正板结构的结构相同，均具有竖杆、与竖杆的末端连接并水平设置的横杆、位于横杆的前端并水平设置的柳叶形的修正叶，横杆位于坩埚与镀锅之间起到修正的作用，一个修正板结构通过一个驱动轴和一个提供动能的部件进行旋转和/或上下运动。其中四个横杆的打开个数可调，从横杆的打开个数进行排列组合即有13种排列组合的方式，即有13种修正模式，并且，横杆打开的角度也可调，并且，横杆还能搞上下运动，因此具有很多很多种修正模式，能够满足各种膜料及被镀膜工件的修正需求，从此不再需要更换修正板结构，提高了加工效率并且降低了成本。本申请人在此基础上完成了本申请。一种真空蒸镀机的修正板系统，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构1，所述修正板结构1包括：竖杆11、与竖杆11的下部连接并水平设置的横杆12、位于横杆12的前部并水平设置的柳叶形的修正叶13，所述修正叶13与横杆12固定，横杆12与竖杆11固定，所述横杆11位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆11的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆11能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆11带动横杆12和修正叶13以竖杆11为中心水平旋转和/或上下运动。在一些实施方式中，所述竖杆11能够进行旋转或者竖杆11能够进行旋转和上下运动。进一步优选的，所述竖杆11能够进行旋转和上下运动，并且竖杆11的旋转和上下运动不同时进行。在一些实施方式中，在不镀膜时，所述四个修正板结构1的横杆12与真空蒸镀机的主腔体的侧壁平行，在镀膜时，所述四个修正板结构1的部分或者全部的横杆12打开，横杆12打开则修正叶13靠近主腔室的中心。进一步的，所述四个修正板结构1的部分的横杆12打开，为其中的一个、二个、三个横杆12打开。进一步的，多个横杆12能够同步打开或者交替打开。进一步的，真空蒸镀机的主腔体为中空的正方形、长方形或者圆柱体中的一种。在一些实施方式中，所述四个修正板结构1打开时的角度相同或者不相同。进一步的，所述四个修正板结构1打开时的角度固定或者不固定。进一步的，所述修正板结构1的竖杆11、横杆12和修正叶13均为不锈钢材质。在一些实施方式中，所述竖杆11的长度大于镀锅的高度，所述竖杆11的长度为镀锅高度的1.2倍-3倍。进一步的，竖杆11的下端与横杆12固定，竖杆11为圆柱体，竖杆11的下端具有两个相对设置的切面以及一个水平设置的螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将竖杆11与横杆12固定。在一些实施方式中，所述横杆12为长方体，修正叶13设置在横杆12的上表面上，修正叶13通过两个螺钉与横杆12的上表面固定。进一步的，横杆12的后端具有一个竖直设置的通孔并且通孔内具有两个切面，用于放置竖杆11的下端，横杆12的后端还设置有一个水平的螺丝孔，该螺丝孔与竖杆11的下端的水平设置的螺丝孔位置相对应。在一些实施方式中，所述竖杆11的顶端与磁流体密封驱动轴2连接，所述磁流体密封驱动轴2设置在真空蒸镀机的主腔体的上面板上，所述磁流体密封驱动轴2与电机或者气缸连接，电机或者气缸提供动能使得磁流体密封驱动轴2的旋转轴旋转和/或上下运动，从而带动竖杆11、横杆12和修正叶13转动和/或上下运动。进一步的，所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴穿过真空镀膜机的主腔体的上面板，磁流体密封驱动轴2的上部分在所述上面板上，磁流体密封驱动轴2的下部分在所述上面板下，并且磁流体密封驱动轴2的末端与所述修正板结构1的竖杆11的顶端固定。进一步的，所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴外套设有磁流体密封套，磁流体密封套底部套设有法兰，法兰与主腔体的上面板固定，旋转轴的顶端通过齿轮与电机或者气缸连接。附图说明结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本申请内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式，因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图，本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。图1为本申请的真空蒸镀机的修正板系统及主腔室的结构示意图。图2为本申请的真空蒸镀机的修正板系统的不镀膜时的立体图。图3为本申请的真空蒸镀机的修正板系统的修正板结构和磁流体密封驱动轴的结构的主视图。图4为本申请的真空蒸镀机的修正板系统的横杆和修正叶的结构示意图。主要元件符号说明：修正板结构1、竖杆11、横杆12、修正叶13、磁流体密封驱动轴2。具体实施方式描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。同时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀机的修正板系统，其特征在于，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构(1)，所述修正板结构(1)包括：竖杆(11)、与竖杆(11)的下部连接并水平设置的横杆(12)、位于横杆(12)的前部并水平设置的柳叶形的修正叶(13)，所述修正叶(13)与横杆(12)固定，横杆(12)与竖杆(11)固定，所述横杆(12)位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆(11)的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆(11)能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆(11)带动横杆(12)和修正叶(13)以竖杆(11)为中心水平旋转和/或上下运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的修正板系统，其特征在于，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构(1)，所述修正板结构(1)包括：竖杆(11)、与竖杆(11)的下部连接并水平设置的横杆(12)、位于横杆(12)的前部并水平设置的柳叶形的修正叶(13)，所述修正叶(13)与横杆(12)固定，横杆(12)与竖杆(11)固定，所述横杆(12)位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆(11)的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆(11)能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆(11)带动横杆(12)和修正叶(13)以竖杆(11)为中心水平旋转和/或上下运动。


2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板系统，其特征在于，所述竖杆(11)能够进行旋转或者竖杆(11)能够进行旋转和上下运动。


3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的修正板系统，其特征在于，所述竖杆(11)能够进行旋转和上下运动，并且竖杆(11)的旋转和上下运动不同时进行。


4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板系统，其特征在于，在不镀膜时，所述四个修正板结构(1)的横杆(12)与真空蒸镀机的主腔体的侧壁平行，在镀膜时，所述四个修正板结构(1)的部分或者全部的横杆(12)打开，横杆(12)打开则修正叶(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32