一种抗高温退火炉用电器柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种抗高温退火炉用电器柜，包括柜体，柜体的两个相对侧面对称开设有通风口，通风口内部固定连接有安装筒，安装筒内部固定设置有风扇，风扇的两侧设置有与安装筒固定连接的防尘网，防尘网相互远离的一侧设置有除尘组件，安装筒远离柜体的一端铰接设置有若干挡片，安装筒的底部开设有漏出口，漏出口位于除尘组件下方，且安装筒底部设置有用于对灰尘进行收集的收集组件，本实用新型专利技术结构合理，具有方便热量的排出，风扇不工作时避免灰尘的进入，保证安全，增强安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种抗高温退火炉用电器柜
本技术涉及退火炉设备
，特别涉及一种抗高温退火炉用电器柜。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉在使用时会散发热量，散发的热量会进入退火炉的电器柜内部，电器柜内部的热量不能及时排除容易照成危险，传统的电器柜在不工作时，通风处处于打开状态，会导致灰尘的进入，也容易发生危险，针对以上问题以下提出一种解决方案。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种抗高温退火炉用电器柜，具有方便热量的排出，风扇不工作时避免灰尘的进入，保证安全，增强安全性的优点。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种抗高温退火炉用电器柜，包括柜体，所述柜体的两个相对侧面对称开设有通风口，所述通风口内部固定连接有安装筒，所述安装筒内部固定设置有风扇，所述风扇的两侧设置有与安装筒固定连接的防尘网，所述防尘网相互远离的一侧设置有除尘组件，所述安装筒远离柜体的一端铰接设置有若干挡片，所述挡片靠近防尘网的一侧设置有与安装筒固定连接的气缸，所述气缸的输出端固定连接有滑动环，所述滑动环靠近挡片的一侧设置有若干L形推杆，所述L形推杆与挡片的数量位置一一对应，且所述挡片靠近L形推杆的一侧开设有转槽，所述L形推杆的端位于转槽内部，且所述L形推杆和转槽转动配合，所述安装筒的底部开设有漏出口，所述漏出口位于除尘组件下方，且所述安装筒底部设置有用于对灰尘进行收集的收集组件。采用上述技术方案，使用时候，当风扇通电转动时，气缸和风扇同时启动，气缸同步启动，气缸启动带动滑动环运动，滑动环同步带动L形推杆同步移动，L形推杆作用在挡片上，使得L形推杆推动挡片进行转动，滑动环同时控制所有的挡片打开，风扇工作将柜体内部的热空气抽出，通过安装筒输送到柜体的外面，两层的防尘网将对安装筒进行保护，避免灰尘的通过安装筒进入到柜体内部，当风扇停止工作时候，气缸收回，气缸带动滑动环收回，滑动环带动L形推杆收回，从而L形推杆带动若干挡片收回，通过若干挡片对安装筒进行阻挡，减少灰尘的直接进入，保证清洁，减少危险的发生，当防尘网上的灰尘积攒较多时，使用者启动除尘组件，除尘组件对防尘网进行清洁，防尘网上的灰尘会通过安装筒上的漏出口漏入到收集组价内部进行收集，当灰尘收集过多的时，取下收集组件进行更换清洁。作为优选，所述除尘组件包括安装架、毛刷、齿轮、齿条和复位组件，所述安装架布置到防尘网的一侧与安装筒固定连接，所述齿条固定在安装架的一侧侧面，所述复位组件固定在安装架靠近齿条的一侧，且所述复位组件和齿条相互平行，所述毛刷与复位组件转动配合，所述齿轮固定在毛刷的另一端，且所述齿轮和齿条相互啮合。采用上述技术方案，拉动复位组件，复位组件带动毛刷运动，毛刷运动会带动齿轮移动，由于齿轮和齿条相互啮合，导致当齿轮受力时候，齿轮顺着齿条发生转动，齿轮发生转动带动毛刷发生转动，毛刷转动时可以更好的对防尘网进行清洁，增加除尘效果，当松开复位组件是，复位组件自动复位，方便使用。作为优选，所述复位组件包括导块、滑块、弹簧一和拉绳，所述导块固定在安装架上，所述导块靠近齿条的一端开设有滑槽，所述滑块滑动布置在滑槽内部，所述滑块上开设有用于毛刷转动的卡槽，所述弹簧一布置在滑槽内部，且所述弹簧一的两端分别与滑块和滑槽的一端固定连接，所述拉绳的一端固定滑块上，且所述拉绳的另一端依次穿过弹簧一、导块和安装筒伸出到柜体的外部。采用上述技术方案，拉动拉绳，拉绳带动滑块运动，滑块带动毛刷运动，滑槽会对滑块起到限制作用，使得滑块运动更加稳定，同时滑块在运动时会压缩弹簧一，使得弹簧一产生弹力，弹簧一的弹力可以带动滑块的自动复位，避免人工复位的麻烦。作为优选，所述收集组件包括收集盒、限位块和握把，所述限位块对称布置在收集盒的上端面，所述安装筒的底部开设有与限位块相互适配的限位槽，所述限位块和限位槽滑动配合，所述握把固定连接在收集盒位于柜体外部的一端。采用上述技术方案，限位块和限位槽之间的配合对收集盒和安装筒之间起到连接作用，避免分离导致收集盒内部的灰尘洒出，同时握把方便使用者进行拉出收集盒。作为优选，所述漏出口上铰接设置有挡板，所述挡板上设置有用于挡板复位的弹簧二，所述弹簧二的两端分别和挡板与安装筒固定连接，所述除尘组件上固定设置有用于推动挡板的推块。采用上述技术方案，挡板和起到对漏出口起到阻挡作用，避免收集组件内部的灰尘被风扇吹出的风吸出，当除尘组件运动时会带动推块运动，推块将挡板顶开，使得灰尘顺着挡板滑落到收集组件内部，同时弹簧二的弹力方便挡板的自动复位。作为优选，所述滑槽的两侧开设有稳定槽，所述稳定槽的内部滑动设置有稳定块，所述稳定块与滑块固定连接。采用上述技术方案，稳定槽对稳定块起到限位效果，从而使得稳定块移动更加稳定，从而使得滑块移动更加稳定，且稳定块和稳定槽之间的配合避免了滑块从滑槽内部掉出。附图说明图1为实施例的结构示意图；图2为安装筒的侧面剖视图；图3为安装筒的正面剖视图；图4为实施例用于展示L形推杆和转槽的结构示意图。附图标记：1、柜体；2、通风口；3、安装筒；4、风扇；5、防尘网；6、除尘组件；7、挡片；8、气缸；9、滑动环；10、L形推杆；11、转槽；12、漏出口；13、收集组件；14、安装架；15、毛刷；16、齿轮；17、齿条；18、复位组件；19、导块；20、滑块；21、弹簧一；22、拉绳；23、滑槽；24、卡槽；25、收集盒；26、限位块；27、握把；28、挡板；29、弹簧二；30、推块；31、稳定槽；32、稳定块；33、限位槽。具体实施方式以下所述仅是本技术的优选实施方式，保护范围并不仅局限于该实施例，凡属于本技术思路下的技术方案应当属于本技术的保护范围。同时应当指出，对于本
的普通技术人员而言，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。如图1至图4所示，一种抗高温退火炉用电器柜，包括柜体1，柜体1的两个相对侧面对称开设有通风口2，通风口2内部固定连接有安装筒3，安装筒3内部固定设置有风扇4，安装筒3远离柜体1的一端铰接设置有若干挡片7，挡片7靠近风扇4的一侧设置有与安装筒3固定连接的气缸8，气缸8的输出端固定连接有滑动环9，滑动环9靠近挡片7的一侧设置有若干L形推杆10，L形推杆10与挡片7的数量位置一一对应，且挡片7靠近L形推杆10的一侧开设有转槽11，L形推杆10的端位于转槽11内部，且L形推杆10和转槽11转动配合。使用时候，当风扇4通电转动时，气缸8和风扇4同时启动，气缸8同步启动，气缸8启动带动滑动环9运动，滑动环9同步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抗高温退火炉用电器柜，包括柜体(1)，其特征在于，所述柜体(1)的两个相对侧面对称开设有通风口(2)，所述通风口(2)内部固定连接有安装筒(3)，所述安装筒(3)内部固定设置有风扇(4)，所述风扇(4)的两侧设置有与安装筒(3)固定连接的防尘网(5)，所述防尘网(5)相互远离的一侧设置有除尘组件(6)，所述安装筒(3)远离柜体(1)的一端铰接设置有若干挡片(7)，所述挡片(7)靠近防尘网(5)的一侧设置有与安装筒(3)固定连接的气缸(8)，所述气缸(8)的输出端固定连接有滑动环(9)，所述滑动环(9)靠近挡片(7)的一侧设置有若干L形推杆(10)，所述L形推杆(10)与挡片(7)的数量位置一一对应，且所述挡片(7)靠近L形推杆(10)的一侧开设有转槽(11)，所述L形推杆(10)的端位于转槽(11)内部，且所述L形推杆(10)和转槽(11)转动配合，所述安装筒(3)的底部开设有漏出口(12)，所述漏出口(12)位于除尘组件(6)下方，且所述安装筒(3)底部设置有用于对灰尘进行收集的收集组件(13)。/n

【技术特征摘要】
1.一种抗高温退火炉用电器柜，包括柜体(1)，其特征在于，所述柜体(1)的两个相对侧面对称开设有通风口(2)，所述通风口(2)内部固定连接有安装筒(3)，所述安装筒(3)内部固定设置有风扇(4)，所述风扇(4)的两侧设置有与安装筒(3)固定连接的防尘网(5)，所述防尘网(5)相互远离的一侧设置有除尘组件(6)，所述安装筒(3)远离柜体(1)的一端铰接设置有若干挡片(7)，所述挡片(7)靠近防尘网(5)的一侧设置有与安装筒(3)固定连接的气缸(8)，所述气缸(8)的输出端固定连接有滑动环(9)，所述滑动环(9)靠近挡片(7)的一侧设置有若干L形推杆(10)，所述L形推杆(10)与挡片(7)的数量位置一一对应，且所述挡片(7)靠近L形推杆(10)的一侧开设有转槽(11)，所述L形推杆(10)的端位于转槽(11)内部，且所述L形推杆(10)和转槽(11)转动配合，所述安装筒(3)的底部开设有漏出口(12)，所述漏出口(12)位于除尘组件(6)下方，且所述安装筒(3)底部设置有用于对灰尘进行收集的收集组件(13)。


2.根据权利要求1所述的一种抗高温退火炉用电器柜，其特征在于，所述除尘组件(6)包括安装架(14)、毛刷(15)、齿轮(16)、齿条(17)和复位组件(18)，所述安装架(14)布置到防尘网(5)的一侧与安装筒(3)固定连接，所述齿条(17)固定在安装架(14)的一侧侧面，所述复位组件(18)固定在安装架(14)靠近齿条(17)的一侧，且所述复位组件(18)和齿条(17)相互平行，所述毛刷(15)与复位组件(18)转动配合，所述齿轮(16)固定在毛刷(15)的另一端，且所述齿轮(16)和齿条(17)相互啮合。


3.根据权利要求2所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁同杰，
申请(专利权)人：杭州杰耀电力设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33