一种光刻设备的环境监测系统技术方案

本发明专利技术提供一种光刻设备的环境监测系统，包括主控模块、以及连接主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块；警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报；显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示；本发明专利技术通过对光刻设备所处环境的数据采集，便于通过数据的综合判断对产品良率进行预测。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻设备的环境监测系统
本专利技术涉及光刻机
，具体为一种光刻设备的环境监测系统。
技术介绍
在半导体生产领域，硅片曝光是光刻设备将掩模版上的集成电路图形印刷到硅片上的过程。曝光过程中，光刻设备运行时对其内部的温度恒定性和空气洁净度有严格的要求。如果光刻设备运行时，其内部的温度产生漂移，则使半导体芯片的套刻精度降低；而光刻设备的空气洁净度低时，直接影响半导体芯片的良品率。光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应；再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶)，使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上；最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。光刻机的运行环境要求比较严格，而目前现有光刻机无法实现对产品的良率进行预测。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种光刻设备的环境监测系统，以解决上述技术背景中现有光刻机无法实现对产品的良率进行预测的缺点。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光刻设备的环境监测系统，包括主控模块、以及连接所述主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；所述主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；所述环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块；所述警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报；所述显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示。优选的，所述环境采集模块连接灰尘传感器、湿度传感器、温度传感器以及光强传感器，所述灰尘传感器、所述湿度传感器、所述温度传感器以及所述光强传感器用于采集光刻设备所处环境的灰尘、温度、湿度和光强的数据，并通过环境采集模块将数据发送至主控模块。优选的，所述显示模块连接液晶显示屏，用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示。优选的，所述警报模块连接警报器和通信模块，所述警报器用于执行主控模块发出的指令发出警报；所述通信模块中采用无线通信方式和有线通信方式。优选的，还包括连接主控模块的图像采集模块和储存模块，所述图像采集模块连接摄像机，所述摄像机用于采集光刻设备所处环境的图像数据采集，并通过图像采集模块发送至主控模块；所述储存模块，用于对数据进行储存，以及主控模块在储存模块内进行调取数据。与现有技术相比，本专利技术提供了一种光刻设备的环境监测系统，具备以下有益效果：本专利技术中通过环境采集模块便于对光刻机所处环境内灰尘、温度、湿度和光强的数据进行采集，并发送至主控模块内进行计算，通过与主控模块连接的显示模块，便于显示主控模块接收的数据及处理后的数据，以便于对环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据进行直观的查看，通过灰尘采集的数据便于得出洁净度，通过洁净度的高低便于判断产品良率是否有影响、通过温度和湿度采集的数据判断电路板是否结露，从而通过对各个因素进行综合判断预测产品良率情况，其中当产品良率超出阈值后，主控模块会发送指令至警报模块发出警报，避免了光刻机在环境不符合的情况下进行工作和设备发送故障。附图说明附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制，在附图中：图1为本专利技术提出的光刻设备的环境监测系统简易结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本专利技术，但下述实施例仅为本专利技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本专利技术的保护范围。请参阅图1，一种光刻设备的环境监测系统，包括主控模块、以及连接主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；供电模块采用蓄电池进行供电，通过环境采集模块便于对光刻设备所处环境内灰尘、湿度、温度和光强进行数据采集，并通过采集的数据在主控模块内进行计算，从而通过各个因素对产品良率进行预测。主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块，光刻设备所处环境中采集的灰尘数据可以用于判断产品良率等级，当洁净度越高的情况下对产品良率越没有影响、采集的温度数据可以判断光刻精度，采集的湿度数据可以判断电路板上是否结露，从而通过灰尘洁净度、温度和湿度的数据经过主控模块进行技术按后，便于通过计算数据对产品良率进行预测，警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报，当主控模块对环境采集模块采集的数据经过计算后与阈值比对超过后，此时主控模块会对警报模块发出指令，通过警报模块发出警报；显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示。环境采集模块连接灰尘传感器、湿度传感器、温度传感器以及光强传感器，灰尘传感器、湿度传感器、温度传感器以及光强传感器用于采集光刻设备所处环境的灰尘、温度、湿度和光强的数据，并通过环境采集模块将数据发送至主控模块；灰尘传感器采用勒夫迈粉尘传感器，灰尘浓度传感器的原理：微粒和分子在光的照射下会产生光的散射现象，与此同时，还吸收部分照射光的能量。当一束平行单色光入射到被测颗粒场时，会受到颗粒周围散射和吸收的影响，光强将被衰减。如此一来便可求得入射光通过待测浓度场的相对衰减率。而相对衰减率的大小基本上能线性反应待测场灰尘的相对浓度。光强的大小与经光电转换的电信号强弱成正比，通过测得电信号就可以求得相对衰减率；湿度传感器采用线性频率输出集成湿度传感器典型产品为HF3223型。它采用模块式结构，属于频率输出式集成湿度传感器，在55％RH时的输出频率为8750Hz(型值)，当相对湿度从10％变化到95％时，输出频率就从9560Hz减小到8030Hz。这种传感器具有线性度好、抗干扰能力强、便于配数字电路或单片机、价格低等优点；温度传感器采用非接触式它的敏感元件与被测对象互不接触，又称非接触式测温仪表。这种仪表可用来测量运动物体、小目标和热容量小或温度变化迅速(瞬变)对象的表面温度，也可用于测量温度场的温度分布。显示模块连接液晶显示屏，用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示。警报模块连接警报器和通信模块，警报器用于执行主控模块发出的指令发出警报；通信模块中采用无线通信方式和有线通信方式，无线通信方式采用无线485/422数据通信，工业级设计，适用室外恶劣环境；内置软硬件看门狗，不死机，不掉线，当警报器接收主控模块发送的指令时，与警报模块连接的通信模块会发出信号至操作者所在的人机界面处，使操作者得知光刻设备的产品良率超过阈值，使操作者避免对产品进行加工，从而产生对资源的浪费。还包括连接主控模块的图像采集模块和储存模块，图像采集模块连接摄像机，摄像机用于采本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻设备的环境监测系统，其特征在于，包括主控模块、以及连接所述主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；/n所述主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；所述环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块；所述警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报；所述显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻设备的环境监测系统，其特征在于，包括主控模块、以及连接所述主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；
所述主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；所述环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块；所述警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报；所述显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示。


2.根据权利要求1所述的一种光刻设备的环境监测系统，其特征在于：所述环境采集模块连接灰尘传感器、湿度传感器、温度传感器以及光强传感器，所述灰尘传感器、所述湿度传感器、所述温度传感器以及所述光强传感器用于采集光刻设备所处环境的灰尘、温度、湿度和光强的数据，并通过环境采集模块将数据发...

【专利技术属性】
技术研发人员：章广飞，王运钢，薛业保，李文静，
申请(专利权)人：安徽国芯智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34